The invention discloses a treatment method of fluorine-containing reuse water, and the specific steps are as follows: (1) pretreatment; (2) flocculation and sedimentation; (3) filtration \u2011 reverse osmosis membrane filtration; (4) TOC degradation and UV sterilization; (5) EDI treatment; (6) TOC degradation and UV sterilization; (7) precision filtration; the advantages of the invention are that the water quality of the effluent can reach the ultra pure water standard, and the fluorine removal efficiency is high, and the waste water recycling rate is high Low operating cost.
【技术实现步骤摘要】
一种含氟回用水的处理方法
本专利技术属于废水处理领域,更具体地说,涉及一种电子行业含氟回用水的处理方法。
技术介绍
随着电子产品近年来的迅猛发展,电子行业的废水排放量日益增加,此外由于电子行业制备工艺日趋复杂,电子废水的处理难度也不断增加。目前电子废水的主要来源有打磨、化学刻蚀、黑/棕氧化、去毛边、除胶渣、镀通孔、镀锡、镀铜、剥锡、防焊绿漆、显影及成型清洗等工序,因此电子废水中含有多种需要处理的对环境有负面效应的物质,其中包括氟离子。以光伏电池制造、电子厂等半导体工业单位为例,晶圆刻蚀和石英清洗时会使用大量氢氟酸,其中湿刻蚀工序所使用的刻蚀液中含有氢氟酸和氟化铵,在清洗环节中氟离子会随着纯水进入电子废水中,生成的含氟酸性废水中氟浓度可达1000mg/L以上。氟对于人及动物的健康都会构成巨大威胁,严重时会造成人的死亡,因此直接排放这些含氟废水可能对环境构成巨大威胁,为了避免地下水、土壤、地表水的污染,电子废水排放前必须经过除氟处理使其达到排放限值,如上海市现行的《半导体行业污染物排放标准》(DB31/445-2006)规定氟离子排放限值为20mg/L,北京市现行的《水污染物综合排放标准》(DB11/307-2013)规定排入公共污水处理系统的氟化物限值为10mg/L,世界卫生组织建议,饮用水中氟化物的浓度限值为1.5mg/L。现有含氟废水的处理方法主要有沉淀法、吸附法、电化学法及膜处理法。沉淀法主要是在废水中投加具有凝聚能力或与氟化物产生沉淀的物质(石灰、中性钙盐、铝盐、铁盐及PAM等),形成大量胶体物质或沉淀 ...
【技术保护点】
1.一种含氟回用水的处理方法,其特征在于,包含如下步骤:/n(1)预处理,向pH值为8~9的含氟废水中引入过量氢氧化钙和氯化钙;/n(2)絮凝沉淀,向预处理后的水体中加入混凝剂,然后,调节废水的pH值为6-7,再引入絮凝剂;/n(3)过滤,絮凝沉淀后的废水取上清液,过滤,然后,利用反渗透膜进行反渗透处理;/n(4)TOC降解及紫外线杀菌,对反渗透膜出水进行TOC降解及紫外线照射杀菌处理;/n(5)EDI处理,通过电去离子系统对紫外线照射杀菌处理后的水体进行处理,所述电去离子系统中填充的树脂为负载有纳米水合氧化锆的多孔聚苯乙烯树脂;/n(6)TOC降解及紫外线杀菌,对EDI出水进行TOC降解处理,再经紫外线照射杀菌处理;/n(7)精密过滤,经紫外线照射处理后水体利用精密过滤器进行过滤。/n
【技术特征摘要】
1.一种含氟回用水的处理方法,其特征在于,包含如下步骤:
(1)预处理,向pH值为8~9的含氟废水中引入过量氢氧化钙和氯化钙;
(2)絮凝沉淀,向预处理后的水体中加入混凝剂,然后,调节废水的pH值为6-7,再引入絮凝剂;
(3)过滤,絮凝沉淀后的废水取上清液,过滤,然后,利用反渗透膜进行反渗透处理;
(4)TOC降解及紫外线杀菌,对反渗透膜出水进行TOC降解及紫外线照射杀菌处理;
(5)EDI处理,通过电去离子系统对紫外线照射杀菌处理后的水体进行处理,所述电去离子系统中填充的树脂为负载有纳米水合氧化锆的多孔聚苯乙烯树脂;
(6)TOC降解及紫外线杀菌,对EDI出水进行TOC降解处理,再经紫外线照射杀菌处理;
(7)精密过滤,经紫外线照射处理后水体利用精密过滤器进行过滤。
2.根据权利要求1所述的含氟回用水的处理方法,其特征在于,步骤(1)中,以水体中氟的质量浓度为基准,所述氢氧化钙的投加量为氯化钙的投加量为
3.根据权利要求1所述的含氟回用水的处理方法,其特征在于,步骤(2)中,所述混凝剂为PAC,以水体中氟的质量浓度为基准,其投加量为CPAC...
【专利技术属性】
技术研发人员:张炜铭,贾如雪,张孝林,张延扬,潘丙才,吕路,
申请(专利权)人:南京大学,江苏南大环保科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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