液体喷出头和液体喷出头的制造方法技术

本发明专利技术公开了液体喷出头和液体喷出头的制造方法。提供了其分辨率可以在不使配线间距变窄的情况下被增强的液体喷出头及其制造方法。为此，集成电路被布置在与压电元件的基板相同的基板上。

Manufacturing method of liquid spout head and liquid spout head

The invention discloses a manufacturing method of a liquid jet head and a liquid jet head. A liquid spout head whose resolution can be enhanced without narrowing the wire spacing and a manufacturing method thereof are provided. For this purpose, the integrated circuit is arranged on the same substrate as the substrate of the piezoelectric element.

【技术实现步骤摘要】
液体喷出头和液体喷出头的制造方法
本专利技术涉及被配置为从多个喷出端口喷出液体的液体喷出头和液体喷出头的制造方法。
技术介绍
已知一种方法：该方法使用作为用于使液体从液体喷出头的喷出端口喷出的设备的喷出能量产生元件在压力室中产生压力，并且使用压力使压力室中的液体从形成在压力室的一端的喷出端口喷出。在每个压电元件和加热元件上具有电接点并且被连接到产生驱动信号的集成电路的这样的液体喷出头通过利用驱动信号驱动诸如压电元件或加热元件的能量产生元件来执行喷出。另外，这样的液体喷出头通常被配置为使得集成电路经由柔性印刷电路(在下文中称为FPC)连接到液体喷出头上的配线。然而，以高的密度在液体喷出头之上布置喷出端口以便以高的精度执行打印导致FPC和液体喷出头的配线之间的连接区域的减小，从而其实现变得困难。日本专利公开No.2011-520670在其中已公开了一种液体喷出头，该液体喷出头包括：夹在供给流路和回收流路之间的压力室；提供在回收流路的上部的连接能量产生元件和集成电路的电配线；以及提供在基板的端部并且连接到电配线的集成电路。因此，来自每个电接点的电配线仅需要在液体喷出头内走线(route)，从而变得能够容易地提供连接，即使在FPC和液体喷出头之间的连接区域窄的情况下。然而，在通过日本专利公开No.2011-520670的方法以高得多的分辨率增强液体喷出头的情况下，由于可用于配线的区域有限，所以电配线的数量以及喷出端口的数量的增加要求较窄的配线间距以在基板上将电配线从每个喷出端口引回到集成电路。
技术实现思路
因此，本专利技术提供其分辨率可以在不使配线间距变窄的情况下被增强的液体喷出头及其制造方法。为此，本专利技术的液体喷出头包括：多个喷出端口，所述多个喷出端口被配置为喷出液体；能量产生设备，所述能量产生设备被配置为产生要被用于使液体从喷出端口喷出的能量；以及集成电路，所述集成电路被配置为向所述能量产生设备传送用于驱动所述能量产生设备的电信号，其中，所述喷出端口和能量产生设备分别被布置为列，并且所述集成电路和能量产生设备被提供在同一基板上。根据本专利技术，能够实现其分辨率可以在不使配线间距变窄的情况下被增强的液体喷出头及其制造方法。从以下参考附图的示例性实施例的描述，本专利技术的进一步特征将变得清楚。附图说明图1A是喷出单元的截面图；图1B是包括喷出端口的表面的平面图；图2是液体喷出头的透视平面图；图3是液体喷出头的放大图；图4是集成电路的框图；图5示出了使用液体喷出头的行式头(linehead)；图6以处理的次序示出了液体喷出头的制造方法；图7以处理的次序示出了液体喷出头的制造方法；图8是示出液体喷出头的透视平面图；以及图9是示出另一个示例的液体喷出头的透视平面图。具体实施方式(第一实施例)在下文中，将参考附图描述本专利技术的第一实施例。图1A是可应用本实施例的液体喷出头100的喷出单元的截面图，并且图1B是包括喷出端口101的表面的透视平面图。具有基于压电元件110的能量产生机构的液体喷出头100通过单独(individual)电极111、压电元件110、共用(common)电极109和振动板107的叠层形成。在流路基板106上形成的振动板107形成压力室102的壁表面。压力室102具有通过挤压部分103从共用墨水供给流路114向其供给的墨水。在向单独电极111施加电压时，压电元件110的形变(distort)使振动板107弯曲。因此，产生用于使压力室102中的墨水喷出的能量。压力室102经由连通端口104与共用墨水回收流路115连通，使得墨水在其中循环。此外，在喷出端口基板105上形成的喷出端口101与连通端口104连通，并且由压电元件110产生的压力直接作用在压力室102上以使墨水从喷出端口101喷出，从而在打印介质上执行打印。多个喷出端口101被布置为喷出端口列，喷出端口列沿着共用墨水供给流路114和共用墨水回收流路115提供。另外，与喷出端口101对应地提供的压电元件110也布置为列。压力室102以在与其上形成喷出端口101的表面垂直的方向上与共用墨水供给流路114的一部分重叠的方式形成，由此能够以高的密度布置喷出端口101。流路基板106具有在其上提供的集成电路116，集成电路116中的每一个通过引出配线112连接到单独电极111。另外，集成电路116在与其上形成喷出端口101的表面垂直的方向上、在压力室102的附近与共用墨水回收流路115重叠的位置处形成。换句话说，集成电路116沿着压电元件110的列布置。集成电路116与共用墨水供给流路114或共用墨水回收流路115中的至少一个重叠就足够了。共用电极109和引出配线112通过绝缘膜117电绝缘。绝缘膜117具有经由粘合剂113与其接合的支撑基板108，该支撑基板108具有用于保护压电元件110并且调节振动板107的变形区域的腔。在本实施例中，集成电路116和包括共用电极109、压电元件110以及单独电极111的压电元件单元夹着振动板107彼此邻近地提供，使得集成电路116和压电元件单元两者提供在振动板107上。如此所述，集成电路116和压电元件单元安装在同一基板上，并且集成电路116沿着压电元件110的列提供。因此，变得不必要在基板上引回连接集成电路116和压电元件单元的引出配线112，从而显著减小了引回配线所需的面积。支撑基板108具有在喷出端口列的端部提供在其上的用于向共用墨水供给流路114供给墨水的共用墨水供给端口以及用于从共用墨水回收流路回收墨水的供给墨水回收端口，其被配管到液体喷出头100的外部以便使墨水循环。集成电路116具有从液体喷出头100的外部向其输入的用于驱动压电元件110的电压、以及用于选择与执行喷出的喷出端口101中的一个或多个对应的压电元件110中的一个或多个的选择信号。具有包括与压电元件110中的每一个对应的晶体管的开关电路的集成电路116可以基于选择信号向压电元件110中的所选择的一个或多个施加电压。喷出端口101形成在由图1B中的箭头α所指示的方向上对齐的喷出端口列，其中共用墨水供给流路114和共用墨水回收流路115沿着喷出端口列提供。在喷出端口列中，喷出端口101根据打印分辨率以在由图1B中的箭头β所指示的方向上相对于彼此偏移的方式布置。在例如具有2400dpi的分辨率的液体喷出头的情况下，喷出端口101相对于彼此偏移10.6μm。图2是液体喷出头100的透视平面图，并且图3是液体喷出头100的放大图。液体喷出头100具有沿着喷出端口列在其上形成的共用墨水供给流路114和共用墨水回收流路115。从共用墨水供给流路114中的每一个，墨水被供给到两个喷出端口列，并且墨水旨在从两个喷出端口列被回收到共用墨水回收流路115中的每一个。喷出端口列以在由箭头α所指示的方向上在液体喷出头100的中央部分处分成上部块和下部块的方式提供。...

【技术保护点】
1.一种液体喷出头，包括：/n多个喷出端口，所述多个喷出端口被配置为喷出液体；/n能量产生设备，所述能量产生设备被配置为产生要被用于使液体从喷出端口喷出的能量；以及/n集成电路，所述集成电路被配置为向所述能量产生设备传送用于驱动所述能量产生设备的电信号，其中，/n所述喷出端口和能量产生设备分别被布置为列，并且所述集成电路和能量产生设备被提供在同一基板上。/n

【技术特征摘要】
20180508 JP 2018-0901341.一种液体喷出头，包括：
多个喷出端口，所述多个喷出端口被配置为喷出液体；
能量产生设备，所述能量产生设备被配置为产生要被用于使液体从喷出端口喷出的能量；以及
集成电路，所述集成电路被配置为向所述能量产生设备传送用于驱动所述能量产生设备的电信号，其中，
所述喷出端口和能量产生设备分别被布置为列，并且所述集成电路和能量产生设备被提供在同一基板上。


2.根据权利要求1所述的液体喷出头，还包括流路基板，所述流路基板在其上形成有：
流路，所述流路用于使液体循环；以及
压力室，由所述能量产生设备产生的能量直接作用在所述压力室上，并且所述压力室与所述喷出端口连通，其中，
所述流路是用于将液体供给到所述压力室的供给流路和用于从所述压力室回收液体的回收流路。


3.根据权利要求2所述的液体喷出头，其中，
所述集成电路沿着所述能量产生设备的列布置，并且
所述供给流路和回收流路沿着所述喷出端口的列布置。


4.根据权利要求2所述的液体喷出头，其中，所述集成电路的至少一部分在与形成有所述喷出端口的表面垂直的方向上与所述供给流路或回收流路中的至少一个重叠。


5.根据权利要求4所述的液体喷出头，其中，所述集成电路在与形成有所述喷出端口的表面垂直的方向上与所述回收流路重叠。


6.根据权利要求2所述的液体喷出头，其中，所述供给流路的一部分和所述压力室在与形成有所述喷...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村阳平，中洼亨，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP