The invention provides an exhaust gas treatment device, which comprises a shell, an air inlet part, an exhaust part and a filter part and a bracket part arranged in the shell body. In the direction from the top of the shell to the bottom of the shell, the tail gas treatment device is provided with n sub filter sections with filter apertures increasing in turn, so that in the process of the waste gas to be treated moving from the bottom to the top in the tail gas treatment device, the filter section can successively intercept the solid particles with different particle sizes in the waste gas to be treated and reduce the gas operation process It can reduce the energy consumption and maintenance times of the vacuum pump and improve the production efficiency. In addition, the bottom support of the support part makes the lower end surface of the filter part higher than the top horizontal surface of the air inlet, and the radial dimension of each sub filter part is suitable for the inner diameter of the shell, so as to ensure the effective filtering treatment of all the waste gas to be treated.
【技术实现步骤摘要】
尾气处理装置
本专利技术涉及半导体加工
,尤其涉及一种尾气处理装置。
技术介绍
在太阳能电池硅片制造过程中,以原子层沉积(AtomicLayerDeposition,ALD)工艺为例,将两种或两种以上的前驱气体在流量控制和脉冲控制下导入工艺腔,并对工艺腔内进行温度控制和压力控制,使基板的表面发生物理吸附和表面化学反应,以控制生成的功能膜,例如氧化铝或氧化硅等场效应钝化膜的厚度和均匀度,有效弥补基板表面的缺陷。然而,由于沉积反应在真空条件下进行,前驱体之间发生化学反应生成的产和副产物,以及工艺腔内的粉尘等固态颗粒会被设置在工艺腔外的真空泵抽出,未反应的前驱气体经真空泵抽出工艺腔后,由于腔外的温度和压力变化也会转变为固态颗粒。这些固态颗粒一旦进入真空泵的泵体内,会影响真空泵的使用寿命。真空泵一旦反复出现故障,停机检修不仅会增加维护成本,更重要的是会影响整个生产线的生产效率。公告号为CN104107601A的中国专利技术专利申请公开了一种颗粒收集装置,该颗粒收集装置内部设置有滤网,以拦截尾气中的固态颗粒。然而,该颗粒收集装置的各层滤网均为80目规格,一旦尾气中的固态颗粒的平均粒径分布很宽,且排放量加大,气体在真空泵的抽力作用下自下而上流经滤网的过程中遇到的阻力明显加大,从而增加真空泵的能耗,并影响真空泵的使用寿命。因此,需要开发一种新型的尾气处理装置以避免现有技术中存在的上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种尾气处理装置,以用于在有效拦截待处理废气中的固态颗 ...
【技术保护点】
1.一种尾气处理装置,其特征在于,用于拦截待处理废气中的固态颗粒,所述尾气处理装置包括壳体、进气部、排气部以及设置在所述壳体内的过滤部和支架部,所述支架部包括底部支架;/n所述进气部通过所述壳体侧壁的进气口与所述壳体内部相通,所述排气部贯穿所述壳体的顶部以与所述壳体内部相通;/n所述底部支架设置于所述壳体的底部与所述过滤部之间,以支撑所述过滤部,使所述过滤部的下端面高于所述进气口的顶端水平面;/n所述过滤部包括沿所述壳体的第一轴向方向依次设置,且相互平行的第一子过滤部至第N子过滤部,N为大于等于3的自然数;/n每个子过滤部的径向尺寸与所述壳体的内径相适应;/n不同子过滤部的过滤孔径沿所述壳体的第一轴向方向依次增加,所述壳体的第一轴向方向自所述壳体的顶部指向所述壳体的底部。/n
【技术特征摘要】
1.一种尾气处理装置,其特征在于,用于拦截待处理废气中的固态颗粒,所述尾气处理装置包括壳体、进气部、排气部以及设置在所述壳体内的过滤部和支架部,所述支架部包括底部支架;
所述进气部通过所述壳体侧壁的进气口与所述壳体内部相通,所述排气部贯穿所述壳体的顶部以与所述壳体内部相通;
所述底部支架设置于所述壳体的底部与所述过滤部之间,以支撑所述过滤部,使所述过滤部的下端面高于所述进气口的顶端水平面;
所述过滤部包括沿所述壳体的第一轴向方向依次设置,且相互平行的第一子过滤部至第N子过滤部,N为大于等于3的自然数;
每个子过滤部的径向尺寸与所述壳体的内径相适应;
不同子过滤部的过滤孔径沿所述壳体的第一轴向方向依次增加,所述壳体的第一轴向方向自所述壳体的顶部指向所述壳体的底部。
2.根据权利要求1所述的尾气处理装置,其特征在于,所述第一子过滤部的过滤孔径为1-1.5毫米,所述第N子过滤部的过滤孔径为4-6毫米。
3.根据权利要求1所述的尾气处理装置,其特征在于,每个所述子过滤部包括相互平行,且过滤孔径相同的M层过滤网,M为大于等于1的自然数。
4.根据权利要求3所述的尾气处理装置,其特征在于,所述支架部还包括支撑支架,相邻所述过滤网之间或相邻所述子过滤部之间设置有所述支撑支架。
5.根据权利要求3所述的尾气处理装置,其特征在于,所述过滤网包括复数个过滤网孔,相邻所述过滤网孔的最小边距为1.5-3.5毫米。
6.根据权利要求5所述的尾气处理装置,其特征在于,复数个所述过滤网孔沿所述过滤网的中心以...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡兵,王祥,
申请(专利权)人:理想晶延半导体设备上海有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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