一种MEMS压电传感器前置放大器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种MEMS压电传感器前置放大器，其包括运算放大器，所述运算放大器电连接于压电传感器的后端，所述的运算放大器与压电传感器之间设置有阻抗匹配网络电路，所述的阻抗匹配网络电路由多个电阻和电容组成；该MEMS压电传感器前置放大器能有效地提高MEMS压电传感器的低频响应能力和宽带响应能力。

A preamplifier for MEMS piezoelectric sensor

The utility model discloses a MEMS piezoelectric sensor preamplifier, which includes an operational amplifier, the operational amplifier is electrically connected to the back end of the piezoelectric sensor, an impedance matching network circuit is arranged between the operational amplifier and the piezoelectric sensor, and the impedance matching network circuit is composed of a plurality of resistors and capacitors; the MEMS piezoelectric sensor preamplifier can have The low frequency response ability and wide band response ability of MEMS piezoelectric sensors are effectively improved.

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS压电传感器前置放大器
本技术涉及放大器
，具体涉及一种MEMS压电传感器前置放大器。
技术介绍
目前MEMS压电传感器是一种新技术产品，MEMS压电传感器输出阻抗很大，输出信号微弱，需要进行阻抗匹配并放大后才能被提取和采集。目前一般的传感器的前置运算放大器采用运算放大器进行放大，运算放大器是用于压电传感器的后端，到压电传感器收到变化的压力时，会产生与压力同频率的电荷在压电传感器的两个电极之间变化，变化的电荷需要通过一个负载（负载就是这个运算放大器）来接收，接收的电荷信号通过阻抗器件转换为电压，同时负载的阻抗和传感器的阻抗不能失配，如果传感器阻抗比负载高很多，那么传感器产生的电荷就无法有效传输到负载上，从而无法做到低频信号和宽带放大，导致低频响应能力和宽带响应能力不足。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种MEMS压电传感器前置放大器，其能有效地提高MEMS压电传感器的低频响应能力和宽带响应能力。本技术所要解决的上述技术问题通过以下技术方案予以实现：一种MEMS压电传感器前置放大器，其包括运算放大器，所述运算放大器电连接于压电传感器的后端，所述的运算放大器与压电传感器之间设置有阻抗匹配网络电路，所述的阻抗匹配网络电路由多个电阻和电容组成。优选地，所述的阻抗匹配网络电路包括电阻R1、R2、R3、R4、R5和电容C1、C2、C3、C4；所述电容C1连接于连接端的正极和运算放大器的引脚3之间，所述电阻R3和电容C4分别并联于连接端的正负极两端，所述的电阻R2一端连接连接端的负极，所述电阻R2的另一端接地，所述电阻R1一端连接于电源，所述的电阻R1的另一端连接于连接端的负极，所述的电阻R4的一端连接连接端的负极，所述的电阻R4的另一端分别连接有电阻R6与电容C2的并联电路和电阻R5与电容C3的并联电路，所述电阻R6与电容C2的并联电路的另一端连接于运算放大器的引脚2，所述的电阻R5和电容C3的并联电路的另一端连接于输出端，所述的运算放大器的引脚4接地，所述的运算放大器的引脚7连接于电源。有益效果：采用本技术所述的结构后,由于运算放大器与压电传感器之间设置有阻抗匹配网络电路，基于运算放大器比例放大为基础，输入端能进行阻抗匹配，把传感器的阻抗输出降低到可以和运算放大器相匹配，从而保证传感器绝大多数信号能输出到运算放大器，有效地提高MEMS压电传感器的低频响应能力和宽带响应能力。附图说明图1为本技术所述的MEMS压电传感器前置放大器的电路原理图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细的说明，但实施例对本专利技术不做任何形式的限定。实施例1如图1所示的MEMS压电传感器前置放大器，其包括运算放大器，所述运算放大器电连接于压电传感器的后端，所述的运算放大器与压电传感器之间设置有阻抗匹配网络电路，所述的阻抗匹配网络电路由多个电阻和电容组成。所述的阻抗匹配网络电路包括电阻R1、R2、R3、R4、R5和电容C1、C2、C3、C4；所述电容C1连接于连接端的正极和运算放大器的引脚3之间，所述电阻R3和电容C4分别并联于连接端的正负极两端，所述的电阻R2一端连接连接端的负极，所述电阻R2的另一端接地，所述电阻R1一端连接于电源，所述的电阻R1的另一端连接于连接端的负极，所述的电阻R4的一端连接连接端的负极，所述的电阻R4的另一端分别连接有电阻R6与电容C2的并联电路和电阻R5与电容C3的并联电路，所述电阻R6与电容C2的并联电路的另一端连接于运算放大器的引脚2，所述的电阻R5和电容C3的并联电路的另一端连接于输出端，所述的运算放大器的引脚4接地，所述的运算放大器的引脚7连接于电源。本实例中，运算放大器的放大输出电压为：运算放大器的最低工作频率为：运算放大器的最高工作频率为：其中：为MEMS压电传感器产生的电荷量，为MEMS压电传感器内部电容值，为MEMS压电传感器的内阻值。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS压电传感器前置放大器，其特征在于，其包括运算放大器，所述运算放大器电连接于压电传感器的后端，所述的运算放大器与压电传感器之间设置有阻抗匹配网络电路，所述的阻抗匹配网络电路由多个电阻和电容组成。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS压电传感器前置放大器，其特征在于，其包括运算放大器，所述运算放大器电连接于压电传感器的后端，所述的运算放大器与压电传感器之间设置有阻抗匹配网络电路，所述的阻抗匹配网络电路由多个电阻和电容组成。2.根据权利要求1所述的MEMS压电传感器前置放大器，其特征在于，所述的阻抗匹配网络电路包括电阻R1、R2、R3、R4、R5和电容C1、C2、C3、C4；所述电容C1连接于连接端的正极和运算放大器的引脚3之间，所述电阻R3和电容C4分别并联于连接端的正...

【专利技术属性】
技术研发人员：凌坚，白云，
申请(专利权)人：广州辰方互联信息科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44