The utility model discloses an integrated circuit chip photoresist removal device and process in the field of semiconductor integrated circuit, the device includes a machine, on which a number of photoresist grooves are arranged in turn, an ultrasonic generator is arranged in the inner groove body, a heating device is arranged in the inner groove body, a lifting wafer carrier is arranged in the inner groove body, a crystal boat is arranged on the wafer carrier, and an outer groove is arranged The inner part is connected with the bottom of the inner tank through an external pipe; the process includes the following steps: put each crystal boat into the wafer groove; then place each crystal boat on each wafer carrier; the control rod drives each crystal boat to descend and submerge into the photoresist tank; the circulating pump works, and the ultrasonic generator starts to work for N seconds, then the ultrasonic generator shuts down for N seconds; repeat the above steps Step M: put the crystal boat into the washing tank and wash off the photoresist on the wafer. The utility model can remove the photoresist on the wafer, prevent the photoresist from sticking back on the wafer, and improve the photoresist removal efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种集成电路芯片光阻去除装置
本技术属于半导体集成电路领域,特别涉及一种集成电路芯片光阻去除装置及工艺。
技术介绍
现有技术中,在集成电路芯片的整个制作过程中,透明电极和金属电极图形的制作常常用到光阻来完成,而完成电极后的光阻去除不可避免的成为了集成电路芯片制作过程的一个重要环节。现有技术中,有一种有效去除光阻的方法,其专利申请号:201510147639.7;申请日:2015-03-31;公开号:104882364A;公开日:2015-09-02;该方法按以下步骤实施:第一步:将需去除光阻的晶片置于去光阻液中浸泡30min~60min;第二步:从去光阻液中取出水洗吹干;第三步:将吹干的晶片置于等离子装置中采用干式方法去除残余光阻。该方法通过足够时间的去光阻液浸泡,并且辅助一定的等离子体清洗来达到彻底去胶的效果;但是其不足之处在于:整个过程耗时较长,效率低下,消耗较多去胶成本。在集成电路芯片制造业,通常都会使用去光阻液来去除晶圆表面的光阻,此反应是利用“光阻溶胀+光阻剥离+光阻溶解”的作用机理,通常会在光阻去除过程中加入超声装置来加速光阻去除反应;但是此工艺的不足之处在于:因为超声的空化作用,去光阻液中会形成大量有气泡的射流,最终去光阻液中会有涡流、乱流产生,在超声常开时,部分未溶解光阻一直留在去光阻液中,光阻无法去除掉,因此容易有未溶解的光阻回粘在芯片上,形成光阻残留,最终导致芯片良率的损失。
技术实现思路
本技术的目的之一是提供一种集成电路芯片光阻去除装置,能够用于去除晶圆上的光阻,防止光阻回粘在晶圆上,提高光阻去除效率,降低晶圆上的光阻残留不良率。本技术的目 ...
【技术保护点】
1.一种集成电路芯片光阻去除装置,其特征在于,包括机台,所述机台上依次排列设置有若干去光阻槽体,每个去光阻槽体均包括内槽体和外槽体,所述外槽体位于内槽体外周,所述内槽体内盛有可溢流至外槽体内的去光阻液,所述内槽体内设置有超声发生器,内槽体内还设置有加热装置,加热装置与温控系统电连接,所述内槽体内放置有可升降的晶圆载具,所述晶圆载具上定位放置有晶舟,晶舟内竖直放置有若干平行的晶圆;所述外槽体内部通过外接管道与内槽体底部相连通,所述外接管道上分别设置有循环泵和过滤芯。
【技术特征摘要】
1.一种集成电路芯片光阻去除装置,其特征在于,包括机台,所述机台上依次排列设置有若干去光阻槽体,每个去光阻槽体均包括内槽体和外槽体,所述外槽体位于内槽体外周,所述内槽体内盛有可溢流至外槽体内的去光阻液,所述内槽体内设置有超声发生器,内槽体内还设置有加热装置,加热装置与温控系统电连接,所述内槽体内放置有可升降的晶圆载具,所述晶圆载具上定位放置有晶舟,晶舟内竖直放置有若干平行的晶圆;所述外槽体内部通过外接管道与内槽体底部相连通,所述外接管道上分别设置有循环泵和过滤芯。2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片光阻去除装置,其特征在于,所述内槽体包括矩形内底板,内底板的四周均连接有竖直的内侧板,所述外槽体包括若干围成长方体的外侧板,各外侧板与各内侧板一一对应设置,外侧板底部与内槽体外壁之间水平设有外底板;所述外侧板的顶部位置高于内侧板的顶部位置。3.根据权利要求1或2所述的一种集成电路芯片光阻去除装置,其特征在于,所述晶圆载具包括矩形前侧板,与前侧板相对应地设置有后侧板,后侧板包括连为一体的矩形下支撑板和梯形上加强板,上加强板上间隔开设有若...
【专利技术属性】
技术研发人员:时庆楠,周德榕,郑忠,张伟,李文浩,谢巍,
申请(专利权)人:江苏汇成光电有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。