The utility model provides a bar bar bar test fixture of semiconductor laser with to calibration function, wherein the test fixture is provided with a laser fixed by a positioning groove; the groove surface of the positioning groove forms a positioning reference for the position of the fixture XYZ three axis; the light direction of the laser refers to the light detector; the light detector evaluates the fixture XYZ three by checking the light direction of the laser The utility model can quickly and accurately evaluate and measure the positioning reference of bar bar bar test fixture.
【技术实现步骤摘要】
一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具
本技术涉及半导体激光器测试
,尤其是一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具。
技术介绍
半导体激光器芯片生产过程中,需将晶圆片解裂成一根根bar条,对bar条上的所有芯片进行测试,bar条测试设备(BarTester)测试芯片时,探针扎在芯片表面金属焊盘区,注入电流测试光电参数。为保证测试数据的准确性,不产生误判,以免引起良率的损失和异常芯片未被筛掉。需对bar条测试设备(BarTester)进行每日的校准。目前市场上的bar条测试设备校准方法如下:准备1根标准bar条,记录其参数(标准值)。此后每日对该bar条进行1次测试,然后与标准值进行比对。然而bar条上的芯片体积小,脆弱。多次的测试,带电探针多次扎在芯片金属焊盘上,容易造成损坏,需频繁制备标准条。且该校准方法校准时间长,不准确,影响生产效率及良率。
技术实现思路
本技术提出一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具,能快速准确地对bar条测试夹具的定位基准进行评估测量。本技术采用以下技术方案。一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具,所述测试夹具(1)处设有以定位凹槽固定的激光器;所述定位凹槽的槽面形成夹具XYZ三轴位置的定位基准;所述激光器的出光方向指向光探测器;所述光探测器通过查核激光器的出光方向以评估夹具XYZ三轴位置的精准度。所述激光器(2)套置于圆柱形的套筒(3)内。所述定位凹槽为阶梯形的半圆通槽;所述通槽的槽壁与套筒的筒侧外壁贴合;所述通槽后部的阶梯面与套筒的底面贴合;套筒的顶面敞开形成激光器的激光出射口,激光 ...
【技术保护点】
1.一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具,其特征在于:所述测试夹具(1)处设有以定位凹槽固定的激光器;所述定位凹槽的槽面形成夹具XYZ三轴位置的定位基准;所述激光器的出光方向指向光探测器;所述光探测器通过查核激光器的出光方向以评估夹具XYZ三轴位置的精准度。
【技术特征摘要】
1.一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具,其特征在于:所述测试夹具(1)处设有以定位凹槽固定的激光器;所述定位凹槽的槽面形成夹具XYZ三轴位置的定位基准;所述激光器的出光方向指向光探测器;所述光探测器通过查核激光器的出光方向以评估夹具XYZ三轴位置的精准度。2.根据权利要求1所述的一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具,其特征在于:所述激光器(2)套置于圆柱形的套筒(3)内。3.根据权利要求2所述的一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具,其特征在于:所述定位凹槽为阶梯形的半圆通槽;所述通槽的槽壁与套筒的筒侧外壁贴合;所述通槽后部的阶梯面与套筒的底面贴合;套筒的顶面敞开形成激光器的激光出射口,激光器的光出射方向与套筒的轴线重合。4.根据权利要求3所述的一种带TO校准功...
【专利技术属性】
技术研发人员:高家敏,
申请(专利权)人:福建中科光芯光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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