一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具制造技术

本实用新型专利技术提出一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具，所述测试夹具处设有以定位凹槽固定的激光器；所述定位凹槽的槽面形成夹具XYZ三轴位置的定位基准；所述激光器的出光方向指向光探测器；所述光探测器通过查核激光器的出光方向以评估夹具XYZ三轴位置的精准度；本实用新型专利技术能快速准确地对bar条测试夹具的定位基准进行评估测量。

A bar test fixture with to calibration function for semiconductor laser

The utility model provides a bar bar bar test fixture of semiconductor laser with to calibration function, wherein the test fixture is provided with a laser fixed by a positioning groove; the groove surface of the positioning groove forms a positioning reference for the position of the fixture XYZ three axis; the light direction of the laser refers to the light detector; the light detector evaluates the fixture XYZ three by checking the light direction of the laser The utility model can quickly and accurately evaluate and measure the positioning reference of bar bar bar test fixture.

【技术实现步骤摘要】
一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具
本技术涉及半导体激光器测试
，尤其是一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具。
技术介绍
半导体激光器芯片生产过程中，需将晶圆片解裂成一根根bar条，对bar条上的所有芯片进行测试，bar条测试设备(BarTester)测试芯片时，探针扎在芯片表面金属焊盘区，注入电流测试光电参数。为保证测试数据的准确性，不产生误判，以免引起良率的损失和异常芯片未被筛掉。需对bar条测试设备(BarTester)进行每日的校准。目前市场上的bar条测试设备校准方法如下：准备1根标准bar条，记录其参数(标准值)。此后每日对该bar条进行1次测试，然后与标准值进行比对。然而bar条上的芯片体积小，脆弱。多次的测试，带电探针多次扎在芯片金属焊盘上，容易造成损坏，需频繁制备标准条。且该校准方法校准时间长，不准确，影响生产效率及良率。
技术实现思路
本技术提出一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具，能快速准确地对bar条测试夹具的定位基准进行评估测量。本技术采用以下技术方案。一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具，所述测试夹具（1）处设有以定位凹槽固定的激光器；所述定位凹槽的槽面形成夹具XYZ三轴位置的定位基准；所述激光器的出光方向指向光探测器；所述光探测器通过查核激光器的出光方向以评估夹具XYZ三轴位置的精准度。所述激光器（2）套置于圆柱形的套筒（3）内。所述定位凹槽为阶梯形的半圆通槽；所述通槽的槽壁与套筒的筒侧外壁贴合；所述通槽后部的阶梯面与套筒的底面贴合；套筒的顶面敞开形成激光器的激光出射口，激光器的光出射方向与套筒的轴线重合。所述定位凹槽上覆有可拆卸的定位盖（4）；所述定位盖处设有凸起拱面；当定位盖覆于定位凹槽上时，定位盖的拱面与定位凹槽相接形成柱形的套筒容置腔；所述套筒容置腔的侧壁与套筒的筒侧外壁相贴合。所述定位凹槽对套筒的X轴位置限位；所述通槽的阶梯面对套筒的Y轴位置限位；所述定位盖对套筒的Z轴位置限位。所述激光器为TO激光器。所述测试夹具校准时，测试夹具移至预设的校验位使激光器的出光面轴心正对光探测器的探测面中心。相较于现有技术，本技术具有以下有益效果：bartester使用TO进行校准，解决了使用标准bar条校准带来的测试误差大、操作繁琐等问题；消除了因频繁更换标准bar条带来的偏差累积带来的影响。具有操作简单方便，校准准确，校准效率高的优点。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本技术进一步详细的说明：附图1是本技术的示意图；附图2是本技术的另一示意图；附图3是本技术的定位凹槽的示意图；附图4是本技术的套筒的示意图；图中：1-测试夹具；2-激光器；3-套筒；4-定位盖；5-定位凹槽；6-阶梯面；7-凸起拱面。具体实施方式如图1-4所示，一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具，所述测试夹具1处设有以定位凹槽固定的激光器；所述定位凹槽的槽面形成夹具XYZ三轴位置的定位基准；所述激光器的出光方向指向光探测器；所述光探测器通过查核激光器的出光方向以评估夹具XYZ三轴位置的精准度。所述激光器2套置于圆柱形的套筒3内。所述定位凹槽为阶梯形的半圆通槽；所述通槽的槽壁与套筒的筒侧外壁贴合；所述通槽后部的阶梯面与套筒的底面贴合；套筒的顶面敞开形成激光器的激光出射口，激光器的光出射方向与套筒的轴线重合。所述定位凹槽上覆有可拆卸的定位盖4；所述定位盖处设有凸起拱面7；当定位盖覆于定位凹槽上时，定位盖的拱面与定位凹槽相接形成柱形的套筒容置腔；所述套筒容置腔的侧壁与套筒的筒侧外壁相贴合。所述定位凹槽对套筒的X轴位置限位；所述通槽的阶梯面对套筒的Y轴位置限位；所述定位盖对套筒的Z轴位置限位。所述激光器为TO激光器。所述测试夹具校准时，测试夹具移至预设的校验位使激光器的出光面轴心正对光探测器的探测面中心。实施例：本例中，测试夹具为带有凹槽的铜块测试台；激光器为TO激光器（以下简称TO）；铜块测试台1前端凹槽与固定TO的套筒3尺寸一致，二者能紧贴合，使得左右不会松动从而限制套筒3的左右位置（固定X轴）；铜块测试台1后端凹槽槽深小，形成阶梯状，用作限制套筒3的前后位置（固定Y轴）。金属盖板4与套筒3紧贴合，通过螺丝固定，限制套筒3的上下位置（固定Z轴），使得TO激光器2轴心和探测器中心在同一高度。使得每次校准测试时，固定TO的套筒总是在同一空间位置，不发生偏移。再通过固定TO的套筒，使得每次校准测试时，TO激光器2的出光角度总是处于水平状态，并对准光探测器的中心。从而使得每次校准测试时的空间位置总是一致的。铜块测试台1前端面到TO激光器2的距离设计为TO激光器2的焦距，使TO激光器2发出的光能有效被探测到，使得测试参数更具准确性。校准时，对TO激光器2进行供电，通过电动控制移动铜块测试台1至指定位置，使得TO激光器2正对准探测器中心，进行测试并比对标准值。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具，其特征在于：所述测试夹具（1）处设有以定位凹槽固定的激光器；所述定位凹槽的槽面形成夹具XYZ三轴位置的定位基准；所述激光器的出光方向指向光探测器；所述光探测器通过查核激光器的出光方向以评估夹具XYZ三轴位置的精准度。

【技术特征摘要】
1.一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具，其特征在于：所述测试夹具（1）处设有以定位凹槽固定的激光器；所述定位凹槽的槽面形成夹具XYZ三轴位置的定位基准；所述激光器的出光方向指向光探测器；所述光探测器通过查核激光器的出光方向以评估夹具XYZ三轴位置的精准度。2.根据权利要求1所述的一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具，其特征在于：所述激光器（2）套置于圆柱形的套筒（3）内。3.根据权利要求2所述的一种带TO校准功能的半导体激光器bar条测试夹具，其特征在于：所述定位凹槽为阶梯形的半圆通槽；所述通槽的槽壁与套筒的筒侧外壁贴合；所述通槽后部的阶梯面与套筒的底面贴合；套筒的顶面敞开形成激光器的激光出射口，激光器的光出射方向与套筒的轴线重合。4.根据权利要求3所述的一种带TO校准功...

【专利技术属性】
技术研发人员：高家敏，
申请(专利权)人：福建中科光芯光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35