The utility model relates to the technical field of vacuum coating, in particular to a winding vacuum coating machine. The vacuum coating machine includes a reprocessing box and a coating box, the reprocessing box includes a unwinding roller, a winding roller and a reprocessing system, the reprocessing system includes a plurality of flattening rollers and a temperature control roller, the coating box includes a first coating chamber, a second coating chamber and a third coating chamber, wherein the first coating chamber and the third coating chamber adopt the sputtering coating process, and the coating chamber is provided with a coating roller With the magnetic control target of the coating chamber, the second coating chamber adopts the evaporation coating process, and the coating chamber is equipped with the coating roller and the evaporation source. The utility model can complete the preparation of a variety of composite films by using different preparation processes in a working process, and each coating chamber is isolated from each other without affecting each other; the temperature control roller which can change the surface temperature can carry out vacuum heat treatment or cooling treatment on the film just finished by the coating, accelerate the forming of the film surface, and optimize the surface morphology of the film.
【技术实现步骤摘要】
一种卷绕式真空镀膜机
本技术涉及真空镀膜
,尤其涉及一种卷绕式真空镀膜机。
技术介绍
如今,随着光电技术的发展,对柔性光电薄膜的生产效率和质量的要求也逐渐提高。传统光电薄膜多为单一涂层,无法满足社会的发展需求,而多功能复合涂层包含多种不同制备参数的薄膜,但针对不同的膜层,其制备工艺和制备参数不尽相同,并且很多薄膜需要对其进行再处理以增强薄膜的性能,目前现有的卷绕式镀膜机依然存在以下问题:(1)一个工作周期内所能制备的膜层数量不多;(2)传统镀膜机配备的制备工艺单一,无法在单个真空室内实现多种制备工艺相结合;(3)传统的镀膜机与再处理系统是分开的,每层薄膜制备完成后需先取出再进行再处理,浪费时间且增加了膜层被污染的可能。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题为了解决现有技术的上述问题,本技术提供一种卷绕式真空镀膜机。(二)技术方案为了达到上述目的,本技术采用的主要技术方案包括:本技术提供一种卷绕式真空镀膜机,该真空镀膜机包括有再处理箱及镀膜箱,再处理箱包括放卷辊、收卷辊和再处理系统,所述再处理系统包括有多个展平辊及温度控制辊,所述温度控制辊分别为第一温度控制辊、第二温度控制辊和第三温度控制辊;所述镀膜箱包括镀膜室,镀膜室包括第一镀膜室、第二镀膜室和第三镀膜室。根据本技术,所述第一镀膜室中包括第一镀膜辊和第一镀膜室磁控靶,所述第一镀膜室磁控靶设置在所述第一镀膜辊正下方位置。根据本技术,所述第二镀膜室中包括第二镀膜辊和蒸发源,所述蒸发源设置在所述第二镀膜辊正下方位置。根据本技术,所述第三镀膜室中包括第三镀膜辊和第三镀膜室磁控靶,所述第三镀膜室磁控靶设置在所述第三镀 ...
【技术保护点】
1.一种卷绕式真空镀膜机,其特征在于:该真空镀膜机包括有再处理箱(1)及镀膜箱,再处理箱(1)包括放卷辊(2)、收卷辊(9)和再处理系统,所述再处理系统包括有多个展平辊(5)及温度控制辊,所述温度控制辊分别为第一温度控制辊(4)、第二温度控制辊(6)和第三温度控制辊(7);所述镀膜箱包括镀膜室,镀膜室包括第一镀膜室(21)、第二镀膜室(14)和第三镀膜室(10)。
【技术特征摘要】
1.一种卷绕式真空镀膜机,其特征在于:该真空镀膜机包括有再处理箱(1)及镀膜箱,再处理箱(1)包括放卷辊(2)、收卷辊(9)和再处理系统,所述再处理系统包括有多个展平辊(5)及温度控制辊,所述温度控制辊分别为第一温度控制辊(4)、第二温度控制辊(6)和第三温度控制辊(7);所述镀膜箱包括镀膜室,镀膜室包括第一镀膜室(21)、第二镀膜室(14)和第三镀膜室(10)。2.根据权利要求1所述的卷绕式真空镀膜机,其特征在于:所述第一镀膜室(21)中包括第一镀膜辊(20)和第一镀膜室磁控靶(19),所述第一镀膜室磁控靶(19)设置在所述第一镀膜辊(20)正下方位置。3.根据权利要求2所述的卷绕式真空镀膜机,其特征在于:所述第二镀膜室(14)中包括第二镀膜辊(17)和蒸发源(16),所述蒸发源(16)设置在所述第二镀膜辊(17)正下方位置。4.根据权利要求3所述的卷绕式真空镀膜机,其特征在于:所述第三镀膜室(10)中包括第三镀膜辊(13)和第三镀膜室磁控靶(11),所述第三镀膜室磁控靶(11)设置在所述第三镀膜辊(13)正下方位置。5.根据权利要求4所述的卷绕式真空镀膜机,其特征在于:所述再处理箱(1)与镀膜箱之间设置有隔板(22),所...
【专利技术属性】
技术研发人员:李正平,李成林,
申请(专利权)人:浙江德佑新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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