The utility model provides a combined target, which comprises a target column and a mounting frame, the mounting frame comprises an upper mounting frame and a lower mounting frame arranged at an upper and a lower intervals, the upper mounting frame comprises a gear three and a gear four arranged at an interval with each other, the gear three and the gear four are connected with an annular hinge one, the lower mounting frame comprises a gear five and a gear six arranged at an interval with each other, the gear five and the gear The sixth part is connected with an annular hinge two, the third part is connected with the fifth part in linkage, and also includes a driving device three for driving the third part to rotate, the target column is arranged between the upper mounting frame and the lower mounting frame, the upper end of the target column is connected with the first part of the hinge, the lower end of the target column is connected with the second part of the hinge, and the target column is arranged with several targets, which are evenly arranged in a circumferential direction of the hinge; the target column package The bearing body is sleeved on the mounting column, the target body is sleeved on the bearing body, and the inner part of the bearing body is provided with a cooling cavity.
【技术实现步骤摘要】
组合式靶件
本技术涉及一种组合式靶件。
技术介绍
靶可以理解为,表示阴极溅射系统中被溅射的材料。过去所使用的大部分溅射靶是构造为呈圆形的或呈矩形的所谓的平面靶。然而平面靶具有如下缺点:构成该平面靶的材料的仅约30%到40%得到有效溅射,其有效利用率低,使用寿命短。且目前使用的靶都是单个的靶体,而为了得到大量的溅射源,常会对照射束来进行优化设计,但是对照射束的优化往往会涉及到高成本和高难度的问题。
技术实现思路
针对
技术介绍
中指出的问题,本技术提出一种组合式靶件,其由多个单体靶组合而成,并能进行多方向的运动,且其内部配置有冷却结构,不但能低成本的获取大量的溅射源,而且提高了靶的利用率,延长了其使用寿命。本技术的技术方案是这样实现的:一种组合式靶件,包括靶柱和安装架,所述的安装架包括上下间隔设置的上安装架和下安装架,上安装架包括相互间隔设置的齿轮三和齿轮四,齿轮三和齿轮四上连接有环形的铰链一,下安装架包括相互间隔设置的齿轮五和齿轮六,齿轮五和齿轮六上连接有环形的铰链二,齿轮三与齿轮五联动连接,还包括驱动齿轮三转动的驱动装置三,靶柱设置在上安装架和下安装架之间,靶柱的上端与铰链一连接,靶柱的下端与铰链二连接,靶柱设有若干个,该若干个靶柱在铰链一周向方向上均匀排列;所述的靶柱包括管形的靶体、管形的承载体及安装柱,承载体套设在安装柱上,靶体套设在承载体上,所述的承载体的内部设有冷却腔体,所述的承载体上设有冷却液进口和冷却液出口,冷却液进口和冷却液出口分别与冷却腔体连通设置。本技术还进一步设置为,所述的靶体可绕其中心轴线进行转动。本技术还进一步设置为,所述的承载体与安装柱固定 ...
【技术保护点】
1.一种组合式靶件,其特征在于:包括靶柱和安装架,所述的安装架包括上下间隔设置的上安装架和下安装架,上安装架包括相互间隔设置的齿轮三和齿轮四,齿轮三和齿轮四上连接有环形的铰链一,下安装架包括相互间隔设置的齿轮五和齿轮六,齿轮五和齿轮六上连接有环形的铰链二,齿轮三与齿轮五联动连接,还包括驱动齿轮三转动的驱动装置三,靶柱设置在上安装架和下安装架之间,靶柱的上端与铰链一连接,靶柱的下端与铰链二连接,靶柱设有若干个,该若干个靶柱在铰链一周向方向上均匀排列;所述的靶柱包括管形的靶体、管形的承载体及安装柱,承载体套设在安装柱上,靶体套设在承载体上,所述的承载体的内部设有冷却腔体,所述的承载体上设有冷却液进口和冷却液出口,冷却液进口和冷却液出口分别与冷却腔体连通设置。
【技术特征摘要】
1.一种组合式靶件,其特征在于:包括靶柱和安装架,所述的安装架包括上下间隔设置的上安装架和下安装架,上安装架包括相互间隔设置的齿轮三和齿轮四,齿轮三和齿轮四上连接有环形的铰链一,下安装架包括相互间隔设置的齿轮五和齿轮六,齿轮五和齿轮六上连接有环形的铰链二,齿轮三与齿轮五联动连接,还包括驱动齿轮三转动的驱动装置三,靶柱设置在上安装架和下安装架之间,靶柱的上端与铰链一连接,靶柱的下端与铰链二连接,靶柱设有若干个,该若干个靶柱在铰链一周向方向上均匀排列;所述的靶柱包括管形的靶体、管形的承载体及安装柱,承载体套设在安装柱上,靶体套设在承载体上,所述的承载体的内部设有冷却腔体,所述的承载体上设有冷却液进口和冷却液出口,冷却液进口和冷却液出口分别与冷却腔体连通设置。2.根据权利要求1所述的一种组合式靶件,其特征在于:所述的靶体可绕其中心轴线进行转动。3.根据权利要求2所述的一种组合式靶件,其特征在于:所述的承载体与安装柱固定连接,安装柱上连接有驱动其转动的驱动装置一。4.根据权利要求2所述的一种组合式靶件,其特征在于:所述的承载体与安装柱形成可转动连接,还包括一驱动承载体转动的驱动机构。5.根据权利要求4所述的一种组合式靶件,其特征在于:所述的驱动机构包括齿轮一、齿轮二、驱动装置二,所述的齿轮一与承载体同轴且联动设置,齿轮二与齿轮一...
【专利技术属性】
技术研发人员:钱铁威,
申请(专利权)人:北京中百源国际科技创新研究有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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