The utility model provides a target, which includes a tubular target body, a tubular bearing body and a mounting column, the bearing body is sleeved on the mounting column, the target body is sleeved on the bearing body, the inner part of the bearing body is provided with a cooling cavity, the bearing body is provided with a cooling liquid inlet and a cooling liquid outlet, the cooling liquid inlet and the cooling liquid outlet are respectively connected with the cooling cavity, and the target The body can rotate around its central axis, and the target body can move along its central axis direction.
【技术实现步骤摘要】
靶
本技术涉及一种靶。
技术介绍
靶可以理解为,表示阴极溅射系统中被溅射的材料。过去所使用的大部分溅射靶是构造为呈圆形的或呈矩形的所谓的平面靶。然而平面靶具有如下缺点:构成该平面靶的材料的仅约30%到40%得到有效溅射,其有效利用率低,使用寿命短。
技术实现思路
针对
技术介绍
中指出的问题,本技术提出一种靶,该整体为管形,并能进行转动和移动,且其内部配置有冷却结构,提高了靶的利用率,延长了其使用寿命。本技术的技术方案是这样实现的:一种靶,包括管形的靶体、管形的承载体及安装柱,承载体套设在安装柱上,靶体套设在承载体上,所述的承载体的内部设有冷却腔体,所述的承载体上设有冷却液进口和冷却液出口,冷却液进口和冷却液出口分别与冷却腔体连通设置。本技术还进一步设置为,所述的靶体可绕其中心轴线进行转动。本技术还进一步设置为,所述的承载体与安装柱固定连接,安装柱上连接有驱动其转动的驱动装置一。本技术还进一步设置为,所述的承载体与安装柱形成可转动连接,还包括一驱动承载体转动的驱动机构。本技术还进一步设置为,所述的驱动机构包括齿轮一、齿轮二、驱动装置二,所述的齿轮一与承载体同轴且联动设置,齿轮二与齿轮一啮合,驱动装置二与齿轮二连接用于驱动齿轮二转动。本技术还进一步设置为,所述的靶体可沿其中心轴线方向进行移动。本技术还进一步设置为,所述的承载体与安装柱固定连接,安装柱上连接有牵引其沿其轴线方向移动的牵引机构一。本技术还进一步设置为,所述的承载体与安装柱在安装柱轴线方向形成滑动连接,还包括牵引机构二,牵引机构二与承载体连接用于牵引承载体在安装柱上滑动。一种靶,包括管形的靶体和安装柱,靶体套 ...
【技术保护点】
1.一种靶,其特征在于:包括管形的靶体、管形的承载体及安装柱,承载体套设在安装柱上,靶体套设在承载体上,所述的承载体的内部设有冷却腔体,所述的承载体上设有冷却液进口和冷却液出口,冷却液进口和冷却液出口分别与冷却腔体连通设置。
【技术特征摘要】
1.一种靶,其特征在于:包括管形的靶体、管形的承载体及安装柱,承载体套设在安装柱上,靶体套设在承载体上,所述的承载体的内部设有冷却腔体,所述的承载体上设有冷却液进口和冷却液出口,冷却液进口和冷却液出口分别与冷却腔体连通设置。2.根据权利要求1所述的一种靶,其特征在于:所述的靶体可绕其中心轴线进行转动。3.根据权利要求2所述的一种靶,其特征在于:所述的承载体与安装柱固定连接,安装柱上连接有驱动其转动的驱动装置一。4.根据权利要求2所述的一种靶,其特征在于:所述的承载体与安装柱形成可转动连接,还包括一驱动承载体转动的驱动机构。5.根据权利要求4所述的一种靶,其特征在于:所述的驱动机构包括齿轮一、齿轮二、驱动装置二,...
【专利技术属性】
技术研发人员:钱铁威,
申请(专利权)人:北京中百源国际科技创新研究有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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