元件安装机及安装头制造技术

技术编号:22506466 阅读:42 留言:0更新日期:2019-11-09 04:05
本公开的元件安装机将元件安装于安装对象物,所述元件安装机具备安装头及检测装置,所述安装头具有:基部,在内部具有第一气体通路和不与该第一气体通路连通的第二气体通路;升降机构,使所述基部升降;吸嘴,配设于所述基部的下方,伴随着该基部的升降而进行升降,并具有通过向所述第一气体通路供给的负压来吸附所述元件的吸嘴部;施力部,一边允许所述吸嘴部向所述基部侧被压入,一边向下方对该吸嘴部施力;及阀,根据所述吸嘴部的压入量未达到预定量的状态和达到了所述预定量的状态,对所述第二气体通路是否与外部连通进行切换,所述检测装置检测在所述第二气体通路中流动的气体的流量和压力中的至少一方。

Element installation machine and installation head

The element installation machine of the present disclosure installs the element on the installation object, and the element installation machine is provided with an installation head and a detection device, and the installation head is provided with: a base part, a first gas path and a second gas path which are not connected with the first gas path; a lifting mechanism to raise and lower the base part; a suction nozzle, which is arranged under the base part, is accompanied by the rise of the base part The suction nozzle part of the element is adsorbed by the negative pressure supplied to the first gas path; the force application part allows the suction nozzle part to be pressed into the base side while applying force to the suction nozzle part downward; and the valve, according to the state that the pressure input amount of the suction nozzle part does not reach the predetermined amount and reaches the predetermined amount, applies the second gas to the second gas The detection device detects at least one of the flow and pressure of the gas flowing in the second gas path.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】元件安装机及安装头
本公开涉及元件安装机及安装头。
技术介绍
以往,在吸附元件并将其向基板等安装对象物安装的元件安装机中,已知有如下这样构成的元件安装机:在吸嘴的下降动作时,吸嘴部克服弹簧的作用力而向吸嘴基部侧被压入(例如,专利文献1)。由此,该元件安装机能够缓和吸嘴的下降动作时的朝向元件的冲击、或者能够轻轻地将元件向基板按压并安装。专利文献1的元件安装机构成为向吸嘴部内的空气通路供给负压而使吸嘴部吸附元件。并且,在吸嘴基部及吸嘴部设有当吸嘴部的压入量达到预定值时将上述空气通路切换为与吸嘴基部的外部连通的状态的泄漏孔。由此,通过在吸嘴的下降动作时,检测空气的流量或者压力,监视空气有无泄漏,能够判定吸嘴部的压入量是否达到预定值。现有技术文献专利文献专利文献1:国际公开第2015/045065号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是,在专利文献1所记载的元件安装机中,利用元件的吸附所使用的空气通路来判定吸嘴部的压入量是否达到预定值。因此,例如,存在有如下情况:因元件的吸附的有无、吸附的元件的种类等吸嘴部的状态不同而使得压入量达到预定值时的泄漏时的空气的流量或者压力发生变化。因此,存在有无法高精度地判定吸嘴部的压入量是否达到预定值的情况。本公开就是为了解决上述课题而作成的,其主要目的在于更高精度地判定吸嘴部的压入量是否达到预定量。用于解决课题的技术方案本公开为了实现上述主要目的而采取了以下手段。本公开的元件安装机将元件安装于安装对象物,其中,所述元件安装机具备安装头及检测装置,所述安装头具有:基部,在内部具有第一气体通路和不与该第一气体通路连通的第二气体通路,升降机构,使所述基部升降;吸嘴,配设于所述基部的下方,伴随着该基部的升降而进行升降,并具有通过向所述第一气体通路供给的负压而吸附所述元件的吸嘴部,施力部,一边允许所述吸嘴部向所述基部侧被压入,一边向下方对该吸嘴部施力,阀,根据所述吸嘴部的压入量未达到预定量的状态和达到了预定量的状态,来对所述第二气体通路是否与外部连通进行切换,所述检测装置检测在所述第二气体通路中流动的气体的流量和压力中的至少一方。该元件安装机例如在元件的吸附时、元件的安装时等,当基部通过升降机构而下降时,与此相伴地,吸嘴部也下降。另外,当基部在吸嘴部或者被吸嘴部吸附的元件与其它部件抵接的状态下进一步下降时,吸嘴部克服施力部的作用力而向基部侧被压入。并且,根据吸嘴部的压入量是否达到预定量,来对第二气体通路是否与外部连通进行切换。由此,通过使检测装置检测在第二气体通路中流动的气体的流量和压力中的至少一方,元件安装机能够判定压入量是否达到预定量。而且,该判定所使用的第二气体通路不与供给用于元件的吸附的负压的第一气体通路连通。因此,例如,即使元件的吸附的有无、吸附的元件的种类等吸嘴部的状态不同,第二气体通路也难以受其影响。因而,在该元件安装机中,能够更高精度地判定吸嘴部的压入量是否到达预定量。本公开的安装头在将元件安装于安装对象物的元件安装机中使用,其中,所述安装头具备:基部,在内部具有第一气体通路和不与该第一气体通路连通的第二气体通路;升降机构,使所述基部升降;吸嘴,配设于所述基部的下方,伴随着该基部的升降而进行升降,并具有通过向所述第一气体通路供给的负压而吸附所述元件的吸嘴部;施力部,一边允许所述吸嘴部向所述基部侧被压入,一边向下方对该吸嘴部施力;及阀,根据所述吸嘴部的压入量未达到预定量的状态和达到了预定量的状态,对所述第二气体通路是否与外部连通进行切换。该安装头与上述元件安装机相同,第二气体通路不与第一气体通路连通。因此,在该安装头中,能够更高精度地判定吸嘴部的压入量是否达到预定量。附图说明图1是表示本实施方式的元件安装机10的结构的概略的结构图。图2是表示安装头40的结构的概略的结构图。图3是表示负压供给装置70及正压供给装置80的结构的概略的结构图。图4是表示阀69对第二气体通路67a是否与外部连通进行切换的样态的说明图。图5是表示控制装置90的电连接关系的说明图。图6是表示元件安装处理例程的一例的流程图。具体实施方式以下,参照附图说明本公开的元件安装机及安装头的实施方式。图1是表示本实施方式的元件安装机10的结构的概略的结构图,图2是表示安装头40的结构的概略的结构图,图3是表示负压供给装置70及正压供给装置80的结构的概略的结构图,图4是表示阀69对第二气体通路67a是否与外部连通进行切换的样态的说明图,图5是表示控制装置90的电连接关系的说明图。此外,图1的左右方向是X轴方向,前(近前)后(进深)方向是Y轴方向,上下方向是Z轴方向。如图1所示,元件安装机10具备:基台11;壳体12,被基台11支撑;基准部件17,形成有作为高度的基准的基准面(图2参照);元件供给装置20,将元件P供给至元件供给位置;及基板搬运装置24,搬运基板S(安装对象物的一例)。另外,元件安装机10具备:安装头40,拾取被供给至元件供给位置的元件P并将其向基板S安装;XY机器人30,使安装头40沿XY轴方向移动;及控制装置90,控制装置整体(参照图5)。另外,除此以外,元件安装机10还具备用于拍摄被安装头40保持的元件P的姿态的零件相机26、设于安装头40而用于读取标记于基板S的定位基准标记的标记相机(未图示)等。元件供给装置20构成为通过送出在每隔预定间隔而形成的收容部内收容有元件P的带来供给元件P的带式供料器。如图1所示,XY机器人30具备:左右一对Y轴导轨33,沿前后方向(Y轴方向)设于壳体12的上段部;Y轴滑动件34,架设于左右一对Y轴导轨33,能够沿Y轴导轨33移动;X轴导轨31,沿左右方向(X轴方向)设于Y轴滑动件34的侧面;及X轴滑动件32,能够沿X轴导轨31移动。X轴滑动件32能够通过X轴马达36(参照图5)的驱动而移动,Y轴滑动件34能够通过Y轴马达38(参照图5)的驱动而移动。在X轴滑动件32安装有安装头40,控制装置90通过驱动控制XY机器人30(X轴马达36及Y轴马达38)而能够使安装头40向XY平面上的任意的位置移动。如图2或者图3所示,安装头40具备:头主体42,沿与旋转轴同轴的圆周方向以预定角度间隔(例如30度间隔)配置有多个吸嘴保持架65(在图2、图3中仅示出两个);及吸嘴60,能够装卸地安装于各吸嘴保持架65的下端部。另外,安装头40具备:R轴马达44,使头主体42旋转而使多个吸嘴保持架65旋转(公转);Q轴马达46,使多个吸嘴保持架65旋转(自转);及升降装置50,使吸嘴保持架65升降。另外,安装头40具备:负压供给装置70,向吸嘴部61供给负压;及正压供给装置80,向吸嘴保持架65供给正压。如图2或者图3所示,头主体42具备:框架41,安装于X轴滑动件32;轴部42a,被框架41支撑为旋转自如;及保持架保持部42b,形成为直径比轴部42a大的圆柱形状,且将多个吸嘴保持架65保持为能够沿Z轴方向移动。当驱动R轴马达44时,轴部42a及保持架保持部42b旋转,由此,多个吸嘴保持架65旋转(公转)。另外,头主体42具有:齿轮43,被支撑为与轴部42a同轴地相对于轴部42a相对旋转自如;及齿轮47,伴随着齿轮43的旋转而旋转。齿轮43与安装于Q轴马达46的旋转轴的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种元件安装机,将元件安装于安装对象物,所述元件安装机的特征在于,所述元件安装机具备安装头及检测装置,所述安装头具有:基部,在内部具有第一气体通路和不与该第一气体通路连通的第二气体通路;升降机构,使所述基部升降;吸嘴,配设于所述基部的下方,伴随着该基部的升降而进行升降,并具有通过向所述第一气体通路供给的负压来吸附所述元件的吸嘴部;施力部,一边允许所述吸嘴部向所述基部侧被压入,一边向下方对该吸嘴部施力;及阀,根据所述吸嘴部的压入量未达到预定量的状态和达到了所述预定量的状态,对所述第二气体通路是否与外部连通进行切换,所述检测装置检测在所述第二气体通路中流动的气体的流量和压力中的至少一方。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种元件安装机,将元件安装于安装对象物,所述元件安装机的特征在于,所述元件安装机具备安装头及检测装置,所述安装头具有:基部,在内部具有第一气体通路和不与该第一气体通路连通的第二气体通路;升降机构,使所述基部升降;吸嘴,配设于所述基部的下方,伴随着该基部的升降而进行升降,并具有通过向所述第一气体通路供给的负压来吸附所述元件的吸嘴部;施力部,一边允许所述吸嘴部向所述基部侧被压入,一边向下方对该吸嘴部施力;及阀,根据所述吸嘴部的压入量未达到预定量的状态和达到了所述预定量的状态,对所述第二气体通路是否与外部连通进行切换,所述检测装置检测在所述第二气体通路中流动的气体的流量和压力中的至少一方。2.一种安装头,在将元件安装于安装对象物的元件安装机中使用,所述安装头的特征在于,所述安装头具备:基部,在内部...

【专利技术属性】
技术研发人员:伊藤秀俊
申请(专利权)人:株式会社富士
类型:发明
国别省市:日本,JP

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