一种无热粗波分复用器件制造技术

本申请公开了一种无热粗波分复用器件，包括一组或多组级联的滤波单元，每组滤波单元包括一个MZ滤波器，所述MZ滤波器包括第一波导臂和第二波导臂，其中：第一波导臂设置有用于传输第一模式光波的第一模式波导；第二波导臂设置有用于传输第二模式光波的第二模式波导；第一模式光波通过第一模式波导传输的光程与第二模式光波通过第二模式波导传输的光程的差值满足预设的时延要求和温度不敏感要求。本申请利用不同模式光波的热光系数差异补偿MZ滤波器不等长的上下两臂的热光影响，使得温度对两臂时延的影响相同，从而满足了粗波分复用器件的无热条件，从根本上解决了温度对中心波长的影响，且工艺简单、温度无关、尺寸小、容差大。

A kind of heatless CWDM device

The invention discloses a heat free coarse wavelength division multiplexing device, which comprises a group or a plurality of cascaded filtering units. Each filter unit comprises a MZ filter, and the MZ filter comprises a first wave guide arm and a second waveguide arm, wherein the first wave guide arm is provided with a first mode waveguide for transmitting the first mode light wave, and the second waveguide arm is provided with a transmission mode for the second mode light wave. Two mode waveguide. The difference between the optical path of the first mode light wave passing through the first mode waveguide and the second mode light wave passing through the second mode waveguide meets the preset delay requirement and temperature insensitivity requirement. In this application, the thermooptic coefficient difference of different mode light waves is used to compensate the thermooptic effect of the upper and lower arms of the MZ filter with unequal length, so that the temperature has the same effect on the time delay of the two arms, so as to meet the non thermal condition of the coarse wavelength division multiplexing device, fundamentally solve the effect of temperature on the central wavelength, and the process is simple, temperature independent, small size and large tolerance.

【技术实现步骤摘要】
一种无热粗波分复用器件
本申请涉及但不限于光通信
，尤其涉及一种无热粗波分复用器件。
技术介绍
波分复用(WavelengthDivisionMultiplexing，WDM)是一种增强数据通信链路容量的技术。对于WDM，独立信号由不同波长承载，这使带宽按时间扩展。近年来，利用硅波导的超高折射率对比和成熟的制造技术，在硅平台上开发了许多WDM器件。然而，硅WDM器件面临的挑战之一在于由于热敏感或者硅波导制造的不均匀性引起的波长漂移。因此，需要进行波长微调和调谐以确保波长对准，这可能会导致成本和功耗增加。在光通信网络中已经提出了具有20nm信道间隔的粗波分复用(CoarseWavelengthDivisionMultiplexing，CWDM)技术，其放宽了激光波长的准确性和外部温度变化。这种CWDM技术已应用于硅平台上的器件，以放松对精确热控制和严格制造工艺的要求，从而降低成本和功耗。无热和平顶传输是硅WDM器件的两个主要要求。目前，使用级联环形谐振器、阵列的多模干涉(MultiModeInterference，MMI)辅助孔径波导光栅(ArrayedWaveguideGrat本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无热粗波分复用器件，其特征在于，包括一组或多组级联的滤波单元，每组所述滤波单元包括一个马赫曾德MZ滤波器，所述MZ滤波器包括第一波导臂和第二波导臂，其中：所述第一波导臂设置有用于传输第一模式光波的第一模式波导；所述第二波导臂设置有用于传输第二模式光波的第二模式波导；所述第一模式光波通过第一模式波导传输的光程，与所述第二模式光波通过第二模式波导传输的光程的差值满足预设的时延要求和温度不敏感要求。

【技术特征摘要】
1.一种无热粗波分复用器件，其特征在于，包括一组或多组级联的滤波单元，每组所述滤波单元包括一个马赫曾德MZ滤波器，所述MZ滤波器包括第一波导臂和第二波导臂，其中：所述第一波导臂设置有用于传输第一模式光波的第一模式波导；所述第二波导臂设置有用于传输第二模式光波的第二模式波导；所述第一模式光波通过第一模式波导传输的光程，与所述第二模式光波通过第二模式波导传输的光程的差值满足预设的时延要求和温度不敏感要求。2.根据权利要求1所述的无热粗波分复用器件，其特征在于，所述每组滤波单元还包括分光器和合光器，其中：所述分光器的输入端连接所述无热粗波分复用器件的输入端或上一级滤波单元所述第一波导臂的输出端和所述第二波导臂的输出端，分光器的输出端分别连接所述第一波导臂的输入端和所述第二波导臂的输入端；所述合光器的输入端分别连接所述第一波导臂的输出端和所述第二波导臂的输出端，所述合光器的输出端作为连接下一级滤波单元所述第一波导臂的输入端和所述第二波导臂的输入端，或作为所述无热粗波分复用器件的输出端。3.根据权利要求2所述的无热粗波分复用器件，其特征在于，所述分光器为定向耦合器或Y型分光器；所述合光器为定向耦合器或Y型分光器。4.根据权利要求1所述的无热粗波分复用器件，其特征在于，所述第一模式为TE0模，所述第二模式为TE1模；所述第一波导臂和所述第二波导臂分别设置有两个模式转换器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李凡，沈百林，李蒙，
申请(专利权)人：中兴光电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32