一种干燥设备制造技术

本发明专利技术提供一种干燥设备，包括：箱体，箱体内限定有一侧开口的腔室；箱门，箱门设在箱体上以开启或封闭腔室；储存架，储存架可移动地设在腔室中，储存架上有用于盛放游星轮的容纳腔；湿温传感器，用于感测腔室中的温度和湿度；加热装置，用于加热腔室；除湿装置，用于除去腔室中的湿气；控制器，控制器用于控制加热装置和除湿装置的开启或关闭。根据本发明专利技术的干燥设备，能够将清洗后的游星轮放置于容纳腔中，便于游星轮的储放，避免随意挂置或堆叠造成的摩擦划伤和沾染颗粒杂物，可以通过加热装置或除湿装置除去箱体中的腔室内的湿气，使得腔室保持干燥，避免游星轮生锈，能够减少因游星轮而引起的硅片产品出现划伤、不均、裂纹和破片的问题。

A drying equipment

The invention provides a drying device, which comprises a box body, a chamber with one side opening defined in the box body, a box door arranged on the box body to open or close the chamber, a storage rack, which is movably arranged in the chamber, on the storage rack is a holding chamber for holding a star wheel, a humidity sensor for sensing the temperature and humidity in the chamber, a heating device for heating the chamber ; dehumidification device for removing moisture in the chamber; controller for controlling the opening or closing of heating device and dehumidification device. According to the drying device of the invention, the cleaned star wheel can be placed in the accommodation cavity to facilitate the storage of the star wheel, avoid the friction scratch and particle contamination caused by hanging or stacking at will, remove the humidity in the chamber of the box body through the heating device or the dehumidification device, keep the chamber dry, avoid the rust of the star wheel, and reduce the cause caused by the star wheel Scratch, unevenness, crack and fragment were found in the products.

【技术实现步骤摘要】
一种干燥设备
本专利技术涉及硅片加工领域，具体涉及一种干燥设备。
技术介绍
游星轮是应用在玻璃、镜片、硅片、硬盘等各种平面研磨、抛光工序的夹具，主要材质有蓝钢、FR-4玻纤板、非金属、复合材料游星轮等。游星轮一般具有硬度高、韧性好、质量可靠稳定、耐磨、易加工成型、加工工序简单及不伤加工工件等特点。随着半导体晶圆、太阳轮硅材料、玻璃基板、蓝宝石制造等领域的迅速崛起，研磨和抛光工艺因其加工效率高、粗糙度低、厚度控制精确、加工后平坦度好等优点被广泛应用在以上领域，游星轮是研磨和抛光工艺中必不可少的部件，特别是太阳能硅材料和半导体晶圆的大量需求和大规模生产过程中，工厂现场会使用和存放较多的游星轮。目前，游星轮经清洗后通常是挂置或叠放在一起，游星轮易出现生锈、碰撞擦伤、变形、表面被污染等情况，降低硅片在研磨、抛光过程中的良率，甚至损坏产品，比如造成产品破片、划伤、厚度不均等；同时游轮片的叠放和挂置，现场摆放凌乱，也不利于对不同使用时间和磨损量的游轮片进行分类储放。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种干燥设备，用以解决游星轮不便储放，易于出现生锈、污染以及损伤的问题。为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：根据本专利技术实施例的干燥设备，包括：箱体，所述箱体内限定有一侧开口的腔室；箱门，所述箱门设在所述箱体上以开启或封闭所述腔室；储存架，所述储存架可移动地设在所述腔室中，所述储存架上形成有用于盛放游星轮的容纳腔；湿温传感器，用于感测所述腔室中的温度和湿度；加热装置，用于加热所述腔室；除湿装置，用于除去所述腔室中的湿气；控制器，所述控制器用于控制所述加热装置和所述除湿装置的开启或关闭。其中，所述箱体的底部设有与所述腔室连通的排放口。其中，所述干燥设备包括多个所述储存架，多个所述储存架间隔开设置。其中，同一个所述储存架上设有多个相同的所述容纳腔，至少两个所述储存架上的所述容纳腔不同。其中，所述储存架的所述容纳腔的底部和侧部分别为镂空状。其中，所述储存架的底部设有行走轮，所述储存架的上部设有把手。其中，所述除湿装置包括风机，所述箱体上设有与所述腔室连通的出风口，所述风机的进口与所述出风口连通。其中，当所述湿温传感器感测到的所述腔室中的温度达到第一温度阈值时，所述控制器控制所述加热装置开启；当所述湿温传感器感测到的所述腔室中的温度达到第二温度阈值时，所述控制器控制所述加热装置关闭；当所述湿温传感器感测到的所述腔室中的湿度达到第一湿度阈值时，所述控制器控制所述除湿装置开启；当所述湿温传感器感测到的所述腔室中的湿度达到第二湿度阈值时，所述控制器控制所述除湿装置关闭。其中，所述干燥设备还包括：显示屏，所述显示屏用于显示所述腔室的温度和湿度。其中，所述容纳腔的底部设有压力传感器，用于感测相应的所述容纳腔中储放的游星轮的压力，当所述压力传感器感测的压力达到第一压力阈值时，所述显示屏显示相应的所述容纳腔中储放有游星轮；当所述压力传感器感测的压力达到第二压力阈值时，所述显示屏显示相应的所述容纳腔中未储放有游星轮。其中，每个所述容纳腔分别设有相对应的用于发射激光的激光发射器和用于接收所述激光的激光接收器，所述容纳腔中放置有游星轮时所述游星轮能够遮挡所述激光，当所述激光发射器接收到所述激光时所述显示屏显示相应的所述容纳腔中储放有游星轮；当所述激光发射器未接收到所述激光时所述显示屏显示相应的所述容纳腔中未储放有游星轮。其中，每个所述储存架上分别设有识别码，所述箱体上设有识别器，所述识别器能够读取所述识别码以识别所述储存架的信息，当所述储存架放置于所述腔室中或从所述腔室中取出时，所述识别器能够记录或读取每个所述储存架的放置时间和取出时间，并记录或读取每个所述储存架的放置次数和取出次数。本专利技术的上述技术方案的有益效果如下：根据本专利技术的干燥设备，在储存架上形成有用于盛放游星轮的容纳腔，将清洗后的游星轮放置于容纳腔中，便于游星轮的储放，避免随意挂置或堆叠造成的摩擦划伤和沾染颗粒杂物，可以通过加热装置或除湿装置除去箱体中的腔室内的湿气，使得腔室保持干燥，避免游星轮生锈，能够减少因游星轮而引起的硅片产品出现划伤、厚度不均、裂纹和破片的问题，提高游星轮加工产品的良率。附图说明图1为本专利技术实施例的干燥设备的一个结构示意图；图2为本专利技术实施例的干燥设备的一个结构示意图；图3为本专利技术实施例的干燥设备中储存架的一个结构示意图；图4为本专利技术实施例的干燥设备中储存架的另一个结构示意图；图5为游星轮置于储存架的容纳腔中的一个示意图；图6为本专利技术实施例的干燥设备中储存架的又一个示意图。附图标记箱体10；腔室11；排放口12；出风口13；箱门20；储存架30；容纳腔31；把手32；行走轮33；加热装置40；显示屏50；控制器60；压力传感器70；游星轮80。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例的附图，对本专利技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本专利技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。下面结合附图具体描述根据本专利技术实施例的干燥设备。如图1至图5所示，根据本专利技术实施例的干燥设备包括箱体10、箱门20、储存架30、湿温传感器、加热装置、除湿装置和控制器60。具体而言，箱体10内限定有一侧开口的腔室11，箱门20设在箱体10上以开启或封闭腔室11，储存架30可移动地设在腔室11中，储存架30上形成有用于盛放游星轮80的容纳腔31，湿温传感器用于感测腔室11中的温度和湿度，加热装置用于加热腔室11，除湿装置用于除去腔室11中的湿气，控制器用于控制加热装置40和除湿装置的开启或关闭。也就是说，干燥设备主要由箱体10、箱门20、储存架30、湿温传感器、加热装置、除湿装置和控制器60构成，其中，在箱体10内可以限定有一侧开口的腔室11，箱门20设在箱体10上，通过箱门20可以开启或封闭腔室11，储存架30可移动地设在腔室11中，储存架30上形成有用于盛放游星轮80的容纳腔31，将清洗后的游星轮80放置于容纳腔31中，便于游星轮的储放，避免随意挂置或堆叠造成的摩擦划伤、变形和沾染颗粒杂物，通过移动储存架30便于放置或取出储存架上的游星轮，储存架30可以从腔室11中取出，以便于清洗或更换，湿温传感器可以设置在腔室11中，通过湿温传感器可以感测腔室11中的温度和湿度，加热装置可以用于加热腔室11，加热温度范围可以为40-400摄氏度，以便干燥腔室11，除去游星轮上的水，除湿装置可以用于除去腔室11中的湿气，通过除湿装置可除去腔室11中的水汽，保持腔室中的干燥，放置储存架30上的游星轮生锈，控制器可以设置在箱体10或箱门20上，通过控制器用于控制加热装置40和除湿装置的开启或关闭。将清洗后的游星轮储放在本专利技术实施例中的干燥设备中，便于游星轮的储放，能够减少因游星轮而引起的硅片产品出现划伤、厚度不均、裂纹和破片的问题，提高游星轮加工产品的良率。在本专利技术的一些实施例中，在箱体10的底部可以设有与腔室11连通的排放口12，通过排放口12便于游星轮上的水滴落箱底后流出，通过也可以通过排放口12将外界的空气吸入腔室11中，为了便于水本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种干燥设备，其特征在于，包括：箱体，所述箱体内限定有一侧开口的腔室；箱门，所述箱门设在所述箱体上以开启或封闭所述腔室；储存架，所述储存架可移动地设在所述腔室中，所述储存架上形成有用于盛放游星轮的容纳腔；湿温传感器，用于感测所述腔室中的温度和湿度；加热装置，用于加热所述腔室；除湿装置，用于除去所述腔室中的湿气；控制器，所述控制器用于控制所述加热装置和所述除湿装置的开启或关闭。

【技术特征摘要】
1.一种干燥设备，其特征在于，包括：箱体，所述箱体内限定有一侧开口的腔室；箱门，所述箱门设在所述箱体上以开启或封闭所述腔室；储存架，所述储存架可移动地设在所述腔室中，所述储存架上形成有用于盛放游星轮的容纳腔；湿温传感器，用于感测所述腔室中的温度和湿度；加热装置，用于加热所述腔室；除湿装置，用于除去所述腔室中的湿气；控制器，所述控制器用于控制所述加热装置和所述除湿装置的开启或关闭。2.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于，所述箱体的底部设有与所述腔室连通的排放口。3.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于，所述干燥设备包括多个所述储存架，多个所述储存架间隔开设置。4.根据权利要求3所述的干燥设备，其特征在于，同一个所述储存架上设有多个相同的所述容纳腔，至少两个所述储存架上的所述容纳腔不同。5.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于，所述储存架的所述容纳腔的底部和侧部分别为镂空状。6.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于，所述储存架的底部设有行走轮，所述储存架的上部设有把手。7.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于，所述除湿装置包括风机，所述箱体上设有与所述腔室连通的出风口，所述风机的进口与所述出风口连通。8.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于，当所述湿温传感器感测到的所述腔室中的温度达到第一温度阈值时，所述控制器控制所述加热装置开启；当所述湿温传感器感测到的所述腔室中的温度达到第二温度阈值时，所述控制器控制所述加热装置关...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈兴松，陈光林，曹泽域，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61