抛光片风干系统技术方案

技术编号:22500508 阅读:36 留言:0更新日期:2019-11-09 01:54
本发明专利技术涉及光电子材料加工技术领域,具体涉及一种抛光片风干系统,包括底座,罩壳与所述底座扣合连接后,形成封闭的操作空间;所述底座的上方设置操作台,操作台上设置有沿上下方向延伸的第一通孔,操作台的上表面设置有载片台面,载片台面为锯齿形结构,并在载片台面上设置沿上下方向延伸的第二通孔;所述载片台面上方设置若干个热灯源及若干个排风扇,罩壳的顶板上设置进气孔,罩壳顶面安装过滤装置,所述过滤装置的出气端通过管道连通进气孔。本发明专利技术产品结构合理巧妙,通过在罩壳内设置排风扇及热灯源,配合载片台面、操作台及底座上设置的相应结构,能够实现对抛光片高效、彻底的干燥。

Polishing pad air drying system

The invention relates to the technical field of optoelectronic material processing, in particular to a polishing pad air drying system, which comprises a base, a cover and the base are buckled and connected to form a closed operation space; an operation platform is arranged above the base, a first through hole extending along the up and down direction is arranged on the operation platform, a loading pad is arranged on the upper surface of the operation platform, and the loading pad is zigzag A second through-hole extending in the up-down direction is arranged on the slide table top; a plurality of heat lamp sources and a plurality of exhaust fans are arranged above the slide table top, an air inlet is arranged on the top plate of the cover, a filter device is arranged on the top surface of the cover, and the air outlet end of the filter device is communicated with the air inlet through a pipe. The product structure of the invention is reasonable and ingenious. By setting the exhaust fan and the heat lamp source in the cover, and cooperating with the corresponding structure set on the tablet table, the operation table and the base, the polishing tablet can be dried efficiently and thoroughly.

【技术实现步骤摘要】
抛光片风干系统
本专利技术涉及光电子材料加工
,具体涉及一种抛光片风干系统。
技术介绍
光电子材料加工一般包括切料-切片-倒边-研磨-抛光。抛光后即形成抛光片,抛光片再经清洗、干燥、表面检验后放入载片盒中并进行密封包装,以待后续加工成需要的功能材料。为获得高性能的功能材料,对抛光片的表面质量要求非常高,而抛光片在清洗后、封装前的干燥工序起着至关重要的作用。现有技术对抛光片的干燥是采用甩干机或是烘干箱,存在干燥不彻底的问题。如果抛光片干燥不彻底而直接密封包装,残留在抛光片表面的清洗液或因无法及时挥发形成的水汽、雾气将会腐蚀或潮解抛光片表面,进而直接影响抛光片的后续加工质量。
技术实现思路
本专利技术针对上述问题,提供一种抛光片风干系统,该风干系统可实现抛光片的高效、彻底干燥。按照本专利技术的技术方案:一种抛光片风干系统,其特征在于:包括底座,罩壳与所述底座扣合连接后,形成封闭的操作空间;所述底座的上方设置操作台,操作台上设置有沿上下方向延伸的第一通孔,操作台的上表面设置有载片台面,载片台面为锯齿形结构,并在载片台面上设置沿上下方向延伸的第二通孔;所述载片台面上方设置若干个热灯源及若干个排风扇,罩壳的顶板上设置进气孔,罩壳顶面安装过滤装置,所述过滤装置的出气端通过管道连通进气孔;所述底座上设置若干个排气孔,操作台底面连接旋转轴,旋转轴延伸至底座外侧的端部连接传动装置。作为本专利技术的进一步改进,所述底座上表面竖直设置立柱,立柱顶面设置支撑架,排风扇、热灯源吊设于支撑架底面。作为本专利技术的进一步改进,所述热灯源采用热光灯或LED灯。作为本专利技术的进一步改进,所述载片台面和操作台均采用不锈钢板材料制成。作为本专利技术的进一步改进,所述载片台面的锯齿形部与操作台表面成角为35°~45°。作为本专利技术的进一步改进,所述排风扇与热灯源相互间隔设置。作为本专利技术的进一步改进,所述第一通孔沿操作台表面均布设置,第二通孔均布设置于载片台面,排气孔均布设置于底座上。作为本专利技术的进一步改进,所述过滤装置为空气过滤器。作为本专利技术的进一步改进,所述传动装置包括电机及减速器,电机的输出轴与减速器的输入端相连接,减速器的输出端与旋转轴相连接。作为本专利技术的进一步改进,所述支撑架与立柱通过螺纹连接,支撑架能够相对于立柱上、下升降运动。本专利技术的技术效果在于:本专利技术产品结构合理巧妙,通过在罩壳内设置排风扇及热灯源,配合载片台面、操作台及底座上设置的相应结构,能够实现对抛光片高效、彻底的干燥;热灯源对抛光片进行加热,使清洗液蒸发雾化,再通过进气孔和排气孔,由排风扇带动空气流通,将抛光片表面蒸发的雾气、水汽及时带走,保证抛光片表面能够彻底干燥;将载片台面设置成一定倾斜角度,将装有抛光片的载片架倾斜放置于载片台面上,可在抛光片烘干过程中同时将抛光片表面的清洗液及时沥干,加快抛光片风干速度;设置升降式热灯源、排风扇和旋转操作台,可根据需要灵活调整抛光片热源照射区、排风区或通过旋转实现抛光片的均匀烘干,提高风干系统的工作效率与质量。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步的说明。图1中,包括底座1、罩壳2、操作台3、载片台面4、支撑架5、立柱6、过滤装置7、进气孔8、排风扇9、热灯源10、旋转轴11、传动装置12、第一通孔13、第二通孔14、排气孔15等。如图1所示,本专利技术是一种抛光片风干系统,包括底座1,罩壳2与所述底座1扣合连接后,形成封闭的操作空间;所述底座1的上方设置操作台3,操作台3上设置有沿上下方向延伸的第一通孔13,操作台3的上表面设置有载片台面4,载片台面4为锯齿形结构,并在载片台面4上设置沿上下方向延伸的第二通孔14;所述载片台面4上方设置若干个热灯源10及若干个排风扇9,罩壳2的顶板上设置进气孔8,罩壳2顶面安装过滤装置7,所述过滤装置7的出气端通过管道连通进气孔8;所述底座1上设置若干个排气孔15,操作台3底面连接旋转轴11,旋转轴11延伸至底座1外侧的端部连接传动装置12。底座1上表面竖直设置立柱6,立柱6顶面设置支撑架5,排风扇9、热灯源10吊设于支撑架5底面。热灯源10采用热光灯或LED灯,以实现对进入罩壳内的气流进行加热,确保能够对抛光片进行高效快速的烘干。载片台面4和操作台3均采用不锈钢板材料制成,强度可靠、稳定。载片台面4的锯齿形部与操作台3表面成角为35°~45°,这种成角范围能够有效将抛光片表面的液体沥出。排风扇9与热灯源10相互间隔设置,确保罩壳2内的气流温度均匀。第一通孔13沿操作台3表面均布设置,第二通孔14均布设置于载片台面4,排气孔15均布设置于底座1上。过滤装置7为空气过滤器,通过空气过滤器对进入罩壳2内的空气进行过滤,以提高进入罩壳2内的气流的纯度。传动装置12包括电机及减速器,电机的输出轴与减速器的输入端相连接,减速器的输出端与旋转轴11相连接,在工作时,传动装置12经由旋转轴11带动操作台3进行转动。支撑架5与立柱6通过螺纹连接,支撑架5能够相对于立柱6上、下升降运动,在具体使用时,支撑架5与立柱6的连接方式还可以有其他设置方式,比如在立柱6上设置螺纹杆,支撑架5与螺纹杆螺纹配合连接。本专利技术产品的工作过程如下:将装有抛光片的载片架放置于载片台面4上,使载片架倾斜一定角度对抛光片表面的清洗液进行沥水处理,沥出的清洗液分别通过第二通孔14、第一通孔13、排气孔15排出;通过支撑架5与立柱6调整热灯源10、排风扇9与抛光片的高度,使抛光片具备合适的热源照射区和排风区,开启热灯源10、排风扇9、进气孔8处的过滤装置7,热灯源10对抛光片进行加热,使清洗液蒸发雾化,过滤空气从进气孔8处的过滤装置7进入,由排风扇9带动空气流通,经第二通孔14、第一通孔13,将抛光片表面蒸发的雾气、水汽及时从排气孔15处排出。同时,可根据需要启动传动装置12,通过旋转轴11带动操作台3旋转,进而实现抛光片的均匀烘干。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抛光片风干系统,其特征在于:包括底座(1),罩壳(2)与所述底座(1)扣合连接后,形成封闭的操作空间;所述底座(1)的上方设置操作台(3),操作台(3)上设置有沿上下方向延伸的第一通孔(13),操作台(3)的上表面设置有载片台面(4),载片台面(4)为锯齿形结构,并在载片台面(4)上设置沿上下方向延伸的第二通孔(14);所述载片台面(4)上方设置若干个热灯源(10)及若干个排风扇(9),罩壳(2)的顶板上设置进气孔(8),罩壳(2)顶面安装过滤装置(7),所述过滤装置(7)的出气端通过管道连通进气孔(8);所述底座(1)上设置若干个排气孔(15),操作台(3)底面连接旋转轴(11),旋转轴(11)延伸至底座(1)外侧的端部连接传动装置(12)。

【技术特征摘要】
1.一种抛光片风干系统,其特征在于:包括底座(1),罩壳(2)与所述底座(1)扣合连接后,形成封闭的操作空间;所述底座(1)的上方设置操作台(3),操作台(3)上设置有沿上下方向延伸的第一通孔(13),操作台(3)的上表面设置有载片台面(4),载片台面(4)为锯齿形结构,并在载片台面(4)上设置沿上下方向延伸的第二通孔(14);所述载片台面(4)上方设置若干个热灯源(10)及若干个排风扇(9),罩壳(2)的顶板上设置进气孔(8),罩壳(2)顶面安装过滤装置(7),所述过滤装置(7)的出气端通过管道连通进气孔(8);所述底座(1)上设置若干个排气孔(15),操作台(3)底面连接旋转轴(11),旋转轴(11)延伸至底座(1)外侧的端部连接传动装置(12)。2.如权利要求1所述的抛光片风干系统,其特征在于:所述底座(1)上表面竖直设置立柱(6),立柱(6)顶面设置支撑架(5),排风扇(9)、热灯源(10)吊设于支撑架(5)底面。3.如权利要求2所述的抛光片风干系统,其特征在于:所述热灯源(10)采...

【专利技术属性】
技术研发人员:张文青
申请(专利权)人:山东欧晶莱光学科技有限公司
类型:发明
国别省市:山东,37

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