The invention relates to the technical field of optoelectronic material processing, in particular to a polishing pad air drying system, which comprises a base, a cover and the base are buckled and connected to form a closed operation space; an operation platform is arranged above the base, a first through hole extending along the up and down direction is arranged on the operation platform, a loading pad is arranged on the upper surface of the operation platform, and the loading pad is zigzag A second through-hole extending in the up-down direction is arranged on the slide table top; a plurality of heat lamp sources and a plurality of exhaust fans are arranged above the slide table top, an air inlet is arranged on the top plate of the cover, a filter device is arranged on the top surface of the cover, and the air outlet end of the filter device is communicated with the air inlet through a pipe. The product structure of the invention is reasonable and ingenious. By setting the exhaust fan and the heat lamp source in the cover, and cooperating with the corresponding structure set on the tablet table, the operation table and the base, the polishing tablet can be dried efficiently and thoroughly.
【技术实现步骤摘要】
抛光片风干系统
本专利技术涉及光电子材料加工
,具体涉及一种抛光片风干系统。
技术介绍
光电子材料加工一般包括切料-切片-倒边-研磨-抛光。抛光后即形成抛光片,抛光片再经清洗、干燥、表面检验后放入载片盒中并进行密封包装,以待后续加工成需要的功能材料。为获得高性能的功能材料,对抛光片的表面质量要求非常高,而抛光片在清洗后、封装前的干燥工序起着至关重要的作用。现有技术对抛光片的干燥是采用甩干机或是烘干箱,存在干燥不彻底的问题。如果抛光片干燥不彻底而直接密封包装,残留在抛光片表面的清洗液或因无法及时挥发形成的水汽、雾气将会腐蚀或潮解抛光片表面,进而直接影响抛光片的后续加工质量。
技术实现思路
本专利技术针对上述问题,提供一种抛光片风干系统,该风干系统可实现抛光片的高效、彻底干燥。按照本专利技术的技术方案:一种抛光片风干系统,其特征在于:包括底座,罩壳与所述底座扣合连接后,形成封闭的操作空间;所述底座的上方设置操作台,操作台上设置有沿上下方向延伸的第一通孔,操作台的上表面设置有载片台面,载片台面为锯齿形结构,并在载片台面上设置沿上下方向延伸的第二通孔;所述载片台面上方设置若干个热灯源及若干个排风扇,罩壳的顶板上设置进气孔,罩壳顶面安装过滤装置,所述过滤装置的出气端通过管道连通进气孔;所述底座上设置若干个排气孔,操作台底面连接旋转轴,旋转轴延伸至底座外侧的端部连接传动装置。作为本专利技术的进一步改进,所述底座上表面竖直设置立柱,立柱顶面设置支撑架,排风扇、热灯源吊设于支撑架底面。作为本专利技术的进一步改进,所述热灯源采用热光灯或LED灯。作为本专利技术的进一步改进 ...
【技术保护点】
1.一种抛光片风干系统,其特征在于:包括底座(1),罩壳(2)与所述底座(1)扣合连接后,形成封闭的操作空间;所述底座(1)的上方设置操作台(3),操作台(3)上设置有沿上下方向延伸的第一通孔(13),操作台(3)的上表面设置有载片台面(4),载片台面(4)为锯齿形结构,并在载片台面(4)上设置沿上下方向延伸的第二通孔(14);所述载片台面(4)上方设置若干个热灯源(10)及若干个排风扇(9),罩壳(2)的顶板上设置进气孔(8),罩壳(2)顶面安装过滤装置(7),所述过滤装置(7)的出气端通过管道连通进气孔(8);所述底座(1)上设置若干个排气孔(15),操作台(3)底面连接旋转轴(11),旋转轴(11)延伸至底座(1)外侧的端部连接传动装置(12)。
【技术特征摘要】
1.一种抛光片风干系统,其特征在于:包括底座(1),罩壳(2)与所述底座(1)扣合连接后,形成封闭的操作空间;所述底座(1)的上方设置操作台(3),操作台(3)上设置有沿上下方向延伸的第一通孔(13),操作台(3)的上表面设置有载片台面(4),载片台面(4)为锯齿形结构,并在载片台面(4)上设置沿上下方向延伸的第二通孔(14);所述载片台面(4)上方设置若干个热灯源(10)及若干个排风扇(9),罩壳(2)的顶板上设置进气孔(8),罩壳(2)顶面安装过滤装置(7),所述过滤装置(7)的出气端通过管道连通进气孔(8);所述底座(1)上设置若干个排气孔(15),操作台(3)底面连接旋转轴(11),旋转轴(11)延伸至底座(1)外侧的端部连接传动装置(12)。2.如权利要求1所述的抛光片风干系统,其特征在于:所述底座(1)上表面竖直设置立柱(6),立柱(6)顶面设置支撑架(5),排风扇(9)、热灯源(10)吊设于支撑架(5)底面。3.如权利要求2所述的抛光片风干系统,其特征在于:所述热灯源(10)采...
【专利技术属性】
技术研发人员:张文青,
申请(专利权)人:山东欧晶莱光学科技有限公司,
类型:发明
国别省市:山东,37
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