【技术实现步骤摘要】
本技术提供一种机械部件,具体地说是提供一种组合式阀门,这种阀门特别适用于作超纯气体终端净化器的阀门配件。随着科学技术的发展,在大规模集成电路、石油化工、金属冶炼、航天、科研等诸多领域对气体纯度的要求愈来愈高,目前一次性制气纯度远远不能满足需要。其主要原因是在气体输送过程中由于容器的污染及阀门、管道的渗漏所造成的。因此,在气体进入生产之前,必须进行终端净化。例如在连续吸附法,气体分离或净化装置中,由于吸附剂(例如制氧/氮过程中的分子筛、碳分子筛,或化学吸附剂用于脱氧、脱水等)需要再生,因而需多个阀门用于吸附器、反应器之间的切换操作。有人研究、专利技术了组合多换向阀门用于制氧或制氮装置中(CN87202629U),这类阀门缺少可靠的隔离及预防空气渗漏措施,只能用于一般要求的气体分离设备中。如果用于超纯气体净化中,则它们的隔离及预防空气渗漏措施不足以防止原料气或外部空气向产品器的扩散或渗漏。对于超纯气体的净化只要有微量渗漏就会造成致命的污染。在组合多路换向阀门中,这种渗漏更难避免,而且会随着阀门使用磨损日益加剧。在实际应用中也常使用一种分立式阀门,如附附图说明图1所示是将4个阀门组合装配,但使用这种阀门管道安装工作量大,管道接头(或焊缝)多,并需使用三通联接,使分立式配置的阀门之间气路距离长,易造成气路死角,超纯气的质量不易提高,同时气密性能也难于保持。因此,在制备超纯气体的过程中需要有一种气密性高,不易造成气路死角,且动作可靠性强的组合阀门配件。本实有新型的目的是提供一种性能优异的组合式阀门,由于这种组合阀门可最短的缩小阀门间距离,不易造成气路死角,气密 ...
【技术保护点】
一种组合式阀门包含有4个分立式阀门,其特征在于4个阀主件(1)~(4)组装在一个组合阀体(5)上,构成分立的4个阀门,阀体通道(6)将4个阀门串联成闭合通路,在每相邻两阀门通道中设置一通道接头(7),组合阀门共有4个通道接头(7)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:韩同生,王瑞升,刘景开,邱长春,
申请(专利权)人:中国科学院大连化学物理研究所,
类型:实用新型
国别省市:91[中国|大连]
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