回吸阀制造技术

提出一种回吸阀，该阀可防止回吸阀回吸流体量的变化，可以改进隔膜的响应准确度，同时可以准确控制该隔膜的位移量和位移速度。可移动地面对着流体通道（６２）内部的隔膜（７２）由第一膜（７４）和叠置在第一膜上的第二膜（８０）构成，其中，通过起动负压发生源（２４０），第一膜经在第二膜上形成的孔（８４）而被抽吸到与第二膜接触，该负压发生源经通道（１１６）连接于室（１１４）；第一膜的形状由第二膜保持。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及回吸阀，该回吸阀通过隔膜的位移作用回吸流过流体通道的流体而防止在流体输送口发生流体滴漏，该回吸阀还可以稳定流体的回吸量。回吸阀迄今已用于例如制造半导体芯片的生产过程中。回吸阀的作用是防止所谓液体滴漏，即在停止向半导体晶片输送涂覆液时防止发生少量涂覆液滴到半导体晶片上的这种现象。图5中示出常规技术的回吸阀，例如在日本实用型公报No.8-10399中可以见到其进一步的细节。回吸阀10包括主阀体18和阀盖(阀帽)20，前者具有连通流体进入口12和流体排出口14的流体通道16，后者连接于主阀体18的上部分。例如用碳氟树脂等材料制作的隔膜26可移动地配置在流体室16中。通道19与室17相通，该通道用于在移动隔膜26时输送和排出由隔膜26密封的室17中的空气。厚壁部分22形成隔膜26的中央，薄壁部分24围绕厚壁部分22形成。凸出部27形成在厚壁部分22的上部分，将凸出部27插入在活塞30下部形成的腔29中，从而使隔膜26连接于活塞30。可沿阀体18内壁表面滑动的和起密封作用的V形密封件32装在活塞30上。另外，在阀体18中配置通常将活塞30往上推的弹簧34。在阀盖20上形成压缩空气输入口28，其中压缩空气源(未示出)经未示出的流量控制阀等连接于该压缩空气输入口28。编号36表示与活塞30对接的调节螺栓，该螺栓通过调节活塞30的移动量而调节由隔膜26抽吸的涂覆液的流体量。下面简要说明回吸阀10的操作。在将涂覆液从流体吸入口12输送到流体排出口14的普通状态下，操作流量控制阀或类似装置，其中，压缩空气从压缩空气源输送到压缩空气输送口28。结果，活塞30由于压缩空气的压力而向下移动，并且连接于活塞30的隔膜26也伸入流体通道16，如在图5中由双点画线所示。当停止经流体通道16输送涂覆液时，活塞30和隔膜26通过控制流量控制阀或类似装置，和停止从压缩空气源向压缩空气输送口28输送压缩空气而在弹簧34的弹力作用下同步上升。利用调节螺栓36端部的对接可以控制这种位移，因而通过隔膜26产生的负压作用可以抽吸滞留在流体通道16中的预定量的涂覆液。于是可以防止涂覆液的滴漏，否则将在连接于流体排出口14的流体输送口造成滴漏。虽然如此，但在上述常规技术的回吸阀10中，当隔膜26长期使用时，由于反复抽吸流体通道16内的涂覆液而发生形变，因而产生不能保持隔膜初始状态的问题，这样，由回吸阀10抽吸的涂覆液的量将发生变化，同时缩短了隔膜26的使用寿命。另外，如上所述，当不能保持隔膜26的初始状态时便很容易在隔膜26中产生存积液体的区域，其中，接触这种液体存积区域的涂覆液将发生变质，因此产生这样一个缺点，即流过流体通道的涂覆液将与这种变质的涂覆液混合，因而沾污该涂覆液。另外，活塞30和隔膜26的厚壁部分22拧在一起，当螺栓松动时便在活塞30和隔膜26之间的连接区域产生游隙。由于这种游隙的存在，便导致隔膜26位移量的误差，这样便造成回吸阀回吸的流体量产生误差。本专利技术总的目的是提供一种回吸阀，当通过将负压引入到配置隔膜的室中而使隔膜抽吸流过流体通道的流体时，该回吸阀可以防止回吸流体量发生变化并能够沿与隔膜位移方向相同的方向回吸流体。本专利技术的主要目的是提供一种回吸阀，该阀即使在重复抽吸涂覆液时，构成隔膜的第一膜也不会发生形变，由于在室中引入负压时通过在第二膜上形成的孔抽吸第一膜，所以可以稳定涂覆液的回吸量并延长隔膜的使用寿命。本专利技术的另一个目的是提供一种回吸阀，它可使回吸流体的误差减至最小，这是通过以下措施来实现的用圆筒件包住隔膜的厚壁部分，将具有锥形部分的螺栓拧入到圆筒件的空间中，将锥形部分插入在厚壁部分上形成的横截面为V形的凹槽中，并使厚壁部分支承在圆筒件中，从而可以防止在隔膜和圆锥部分之间产生游隙。本专利技术的另一个目的是提供一种回吸阀，该回吸阀通过用电驱动器移动隔膜能够可靠地控制隔膜的位移量和位移速度。本专利技术的再一个目的是提供一种回吸阀，该回吸阀通过整体成形回吸阀和开/关阀可以使系统的尺寸作得很小并且容易安装。下面结合以举例方式示出本专利技术优选实施例的附图进行说明，由此可以明显看出本专利技术上述的以及其它的目的、特征和优点。附图说明图1是局部垂直横截面图，概要示出本专利技术实施例的回吸阀。图2A是局部放大垂直横截面图，示出隔膜的位移状态。图2B是局部放大垂直横截面图，示出隔膜的结构。图3A是局部放大垂直横截面图，示出开/关阀隔膜的位移状态。图3B是局部放大垂直截面图，示出开/关阀隔膜的结构。图4是曲线图，示出本专利技术实施例的回吸阀其隔膜相对于时间的位移量。图5是常规技术的回吸阀的示意垂直横截面图。图1中编号40表示本专利技术一个实施例的回吸阀。该回吸阀40包括纵向长度的阀体42，该阀体具有在阀体42一个端部上形成的第一输送口48和在另一端部上形成的第二输送口50。连接于管子52a、52b端部的连接件54a、54b配置在相应的输送口48、50中，其中管子52a、52b的端部连接于在连接件54a、54b外周上形成的台阶56a、56b，由此确定管子52a、52b的位置。在阀体42的两个端部上形成相应的阳螺纹58a、58b，通过将锁定螺母60a、60b拧在阳螺纹58a、58b上而将管子52a、52b压力支承在穿过连接件54a、54b的阀体的第一和第二输送口48、50上。在阀体42内形成流体通道64、该阀体具有与一根管52a连通的流体通道62和与另一根管52b连通的流体通道64。相应的流体通道62、64在阀体42内向上弯曲而与在阀体42内形成的腔66连通，如图1所示。基本在一个流体通道62的中央形成孔68，如图2A和2B所示，在孔68形成的壁上形成台阶70。构成隔膜72的第一膜74的边缘固定于台阶70，并且在第一膜74的中心形成厚壁部分76。第一膜74用例如碳氟树脂等树脂材料制作。构成隔膜72的第二膜80配置在第一膜74的上表面上，该第二膜80用例如夹带基体纤维的橡胶材料制作。第一膜74和第二膜80作成分开的部件，将一个放在另一个的顶面上形成整体。除在第二膜80的中心形成穿过厚壁部分76的孔82之外，还在第二膜80上形成许多环绕其周边的小孔84。连接于厚壁部分的圆筒件98的凸缘部108配置在隔膜72的上部分，在凸缘部108的下表面上形成曲面110。结果，当第二膜80与凸缘部108接触时，第二膜80的形状保持贴合于曲面110。沿圆筒件98的内圆周形成凸出部104，使得在厚壁部分76的外圆周上形成的凹槽106可以啮合在该凸出部104上。在圆筒件98台阶部分100的内周面上形成阴螺纹(未示出)，使得在杆形位移部件86的下部分形成的阳螺纹92可以拧在该阴螺纹中。在位移部件86的下端部形成锥形部分90，该锥形部分可嵌入于厚壁部分76的上部分上形成的其横截面为V形的腔88中。锥形部分90的垂直横截面构形对应于腔88的垂直横截面，但是锥形部分90稍大于腔88自身的垂直横截面构形。因而当阳螺纹92拧入圆筒件98和圆锥部分90沿方向或箭头A相对于圆筒件位移时，圆锥部分便逐渐进入腔88，使腔88的壁沿径向方向膨胀。但是因为后壁部分76的外周面贴合于圆筒件98的内壁，所以厚壁部分76受到锥形部分90和圆筒件98的强烈的挤压和支承。这与常规技术中使用螺栓来固定的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种回吸阀（４０），它包括： 阀体（４２），具有在该阀体中形成的第一输送口（４８）和第二输送口（５０），以及使第一和第二输送口（４８、５０）相互连通的流体通道（６２）； 可移动的隔膜（７２），配置在上述阀体（４２）内形成的室（１１４）中，其中，上述隔膜（７２）包括第一膜（７４）和叠置在上述第一膜（７４）上的并具有许多孔（８４）的第二膜（８０）； 用于移动上述隔膜（７２）的驱动器（１３４ａ）； 其中，通过起动上述驱动器（１３４ａ）使上述隔膜（７２）移动，而回吸流过上述流体通道（６２）的流体；并且 其中，上述第一膜（７４）通过室（１１４）中的负压作用在上述隔膜（７２）位移方向的同一方向被抽吸，该负压通过起动负压发生源（２４０）经配置在上述阀体（４２）中的通道（１１６）引入到上述室（１１４）中，该第一膜通过在上述第二膜（８０）中形成的上述孔（８４）被抽吸到与上述第二膜（８０）接触。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山田博介，山本齐，田村和也，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]