【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及阀门结构,更具体地说,涉及闸阀结构,其中平衡(counter)板相对于密封板延迟退缩,以使压力均衡并且减少密封面磨损。
技术介绍
传统闸阀结构包括具有流体通道的阀体、阀座、一件可以在流体通道内的开启和关闭位置之间运动的密封板和使密封板在开启和关闭位置之间运动的促动机构。密封板在关闭位置与阀座接合并密封流体通道。密封板可以从关闭位置运动到退缩位置,然后直线地运动到开启位置。闸阀可以在广泛范围内应用。各种不同的应用可以包括液体、气体和真空。许多应用需要长期运行寿命,并经常在开启与关闭位置之间循环,和很少产生颗粒。这种应用的例子是加工半导体芯片的设备。当半导体器件的形状尺寸减小和线路密度增加时,半导体芯片对于颗粒的污染极其敏感。在加工间的真空隔离封室内,闸阀一类是颗粒污染的潜在来源。此外,闸阀的损坏可能需要半导体生产线全部或部分关闭,由此到处产生不利影响。因此,长期运行寿命和很少产生颗粒是闸阀的重要特性。另一闸阀的潜在问题是关于当闸阀开关时发生的冲击和振动。冲击和振动可能损害和破坏闸阀附近的灵敏的设备。曾经观察到在传统闸阀运行中产生的冲击可以冲击松动深度 ...
【技术保护点】
一种阀门,包括:一阀体,所述阀体具有流体管路,并限定一阀座和一支承面;一密封板;一平衡板;用于驱使所述密封板和所述平衡板在开启位置与关闭位置之间运动的一促动器,其中,在关闭位置上,所述密封板与阀座密封接合,而所述平衡板则与支 承面接合;以及可操作地连接于所述密封板、所述平衡板和所述促动器之间的一连接机构,用于当所述阀门开启时,使所述平衡板紧接着所述密封板从阀座退缩后从支承面退缩。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:SP扬,V米斯利韦克,
申请(专利权)人:凡利安股份有限公司,
类型:发明
国别省市:US[美国]
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