基于压电堆驱动器的压电气阀制造技术

本发明专利技术公开了一种基于压电堆驱动器的压电气阀。在阀体内用铰链与弹性挡板的一侧连接，其另一侧的下端装有调力螺钉，上端装有密封圆盘并接出气端，阀体上装有进气端，装在阀体外的弹性支承与压电堆驱动器的一端相接触，其另一端与调整螺钉相接触，弹性挡板一侧的上端与伸入阀体内的驱动杆一端相接触并用密封垫圈密封，伸出阀体外的驱动杆另一端与压电堆驱动器的一端相接触。采用压电堆驱动器，用具有位移放大作用的、带柔性铰链结构的挡板直接作为“喷嘴挡板压电气阀”的挡板，兼具直动、弯曲式压电气阀的优点。保证足够的驱动力和输出位移，避免了普通杠杆放大机构导致的间隙误差和响应迟滞。可应用于大流量、响应快、驱动力大的中高压场合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基于压电堆驱动器的压电气阀。
技术介绍
压电陶瓷驱动器是近年来发展起来的一种新型微位移驱动器件，它具有结构紧凑，体积小，分辨率高、响应快、易于控制等优点。但无论是直动式、弯曲式，还是扭转式压电气阀，都存在着难于克服的缺陷。直动式压电气阀有两个问题，一是其流量小的问题由于压电堆的伸缩长度的限制(一般不超过30um，否则压电堆的叠加层数会很大，直接导致压电堆容性负载的增大，进而使响应频率大幅降低)，另外还要考虑到弹性压电气阀各部分弹性变形的补偿问题，直动式压电气阀的流量一般是比较小的，难以满足实际控制的要求。二是加工和调试的问题直动式压电气阀一般通过圆锥阀的密封方式，对加工精度的要求非常之高，安装把压电堆和阀芯调整到适合的位置也非常困难；而且这种线与面密封方式很容易导致阀芯和阀座接触面的损伤，其结果是直动式压电气阀的漏气性难以保证。弯曲式压电气阀由于受到弯曲压电陶瓷变形力的限制，它只适合于低压和超低压场合，并且多用于真空容器的充气或者恒压；另外弯曲式压电气阀受压电片变形量的限制，其输出流量一般也很小。扭转式压电气阀也同样存在驱动力小、输出流量小的问题。为了满足工业用本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于压电堆驱动器的压电气阀，其特征在于：包括阀体（１）、弹性挡板（２）、调力弹簧（３）、调力螺钉（４）、密封圆盘（５）、出气喷嘴（６）、进气端（７）、出气端（８）、弹性支承（９）、密封垫圈（１０）、驱动杆（１１）、压电堆驱动器（１２）和调整螺钉（１３）；在密封的阀体（１）内用铰链与弹性挡板（２）的一侧连接，弹性挡板（２）另一侧的下端装有调力弹簧（３），调力弹簧（３）下接调力螺钉（４），弹性挡板（２）另一侧的上端装有密封圆盘（５），密封圆盘（５）上接开有出气喷嘴（６）的出气端（８），阀体（１）上装有进气端，装在阀体（１）外的弹性支承（９）与压电堆驱动器（１２）的一端相接触，压电堆驱动器（１２）的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：魏燕定，赖小波，高平波，吕存养，文耀华，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]