【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总的来说涉及阀,尤其涉及高流动性的、用于控制腐蚀性流体的流动的加长行程的阀。
技术介绍
半导体工业使用各种类型的阀以控制流体,包括高腐蚀性流体的流动。至关重要的是这些阀在流体流动过程中不会造成使流体变得停滞并退化或捕获固体引起流体污染的静态点或死点。在半导体制造中流体有时必须有相当的流量,重要的是用于管道系统的任何阀不造成不适当的压力损失或流量限制。另外,由于高腐蚀性流体经常用于半导体工业中,将潜在的泄漏源或密封的数量保持在最低限度也是很重要的。这些阀必须由抗腐蚀性流体性能高的材料制成。总的来说,腐蚀性流体与金属部分的接触应当避免。与流体接触的部件典型地由含氟聚合物,例如过氟烷氧基(PFA)、聚偏氟乙烯(PVDF)或聚四氟乙烯(PTFE)形成。典型地,部分与流体直接接触的阀,例如阀本体、阀和阀座、一级隔膜及密封或衬垫将由含氟聚合物材料形成。通常通过使用加长行程的驱动器将阀提高一更大的距离来增加阀与阀座之间的间隙可减少通过提升阀的流动限制。然而,在使用含氟聚合物隔膜的阀中,一个问题是这种隔膜总的来说不具有长的疲劳寿命,其将在相对短的时间内磨损。此外,具 ...
【技术保护点】
一种隔膜阀,其特征是包括:阀本体,其形成进口通道、出口通道及具有内壁和开口侧的流体室,每一个上述进口通道与上述出口通道在上述内壁形成开口,使得流体能在上述进口通道、上述出口通道及上述流体室之间流通;阀座部分,其包围流体室内的 进口通道开口;弹性隔膜组件,其密封地闭合上述流体室的开口侧且具有正对上述流体室内部的阀部分,上述弹性隔膜组件可选择性地在至少一个上述阀部分与上述阀座部分密封地接合以阻塞流体流动穿过上述阀的阀闭合位置与上述阀部分与上述阀座隔开以使流体 流动穿过上述阀的阀开启位置之间转换,上述弹性隔膜组件包括由抗疲劳含氟聚合物材 ...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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