划线装置的粉尘抽吸机构制造方法及图纸

技术问题：提供一种粉尘抽吸机构，其能够简单地装配于具有多个划线头的多头搭载划线装置。解决方案：一种划线装置(A)的粉尘抽吸机构，其构成为，划线装置(A)搭载有各自具有加工器具(1)的多个划线头(2)并使用加工器具(1)对载置于作业台(6)上的脆性材料基板(W)加工划分线，所述划线装置(A)的粉尘抽吸机构具备：将各划线头(2)以在同一方向上可移动的方式保持的梁(4)；具有沿着加工器具(1)的移动路径旁侧开口的抽吸口(11a)且在与梁(4)相连的部分固定的抽吸管(11)；安装于划线头(2)且呈圆顶状地将加工器具(1)的前端周边部分覆盖的导风罩(12)，当加工器具(1)移动至作业台(6)上方时，设置于导风罩(12)的背面开口部面对抽吸管(11)的抽吸口(11a)。

Dust suction mechanism of marking device

【技术实现步骤摘要】
划线装置的粉尘抽吸机构
本专利技术涉及一种多头搭载划线装置中的粉尘抽吸机构，所述划线装置能够同时地在脆性材料基板上形成多个划分线。
技术介绍
一般地，在从母基板切出单位基板的过程中，使划线头所保持的激光照射嘴、刀轮等加工器具沿着断开预定线进行划线，将在基板的厚度方向上穿透的裂纹、切透的划分线加工成格子状，并沿着该划分线切出单位产品。在使用该加工器具进行划分线加工时，从基板分离的微小的粉尘会飞散、或产生碎屑。这种粉尘、碎屑会在工具周边造成污染，并且在切出的单位产品上附着，成为品质降低、产生不良品的原因。因此，例如专利文献1所示那样，以往在划线头安装有在加工器具的附近开设有抽吸口的抽吸嘴，并将抽吸除去的粉尘物经由软管送至集尘箱。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利公开2017-205999号公报
技术实现思路
(一)要解决的技术问题但是，在为了实现划线作业的效率化而搭载有多个、例如五到八个划线头的划线装置中，要对每一个划线头安装与集尘箱相连的软管是非常困难的。因此，也有在固定梁(横梁)安装沿着划线头移动方向大幅开口的抽吸装置并在整个作业范围进行集尘的方法，其中，固定梁(横梁)在划线头的后本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种划线装置的粉尘抽吸机构，该划线装置搭载有各自具有加工器具的多个划线头并使用所述加工器具对载置于作业台上的脆性材料基板加工划分线，所述划线装置的粉尘抽吸机构具备：将所述各划线头以在同一方向上可移动的方式保持的梁；具有沿着所述加工器具的移动路径旁侧开口的抽吸口且在与所述梁相连的部分固定的抽吸管；安装于所述划线头且呈圆顶状地将所述加工器具的前端周边部分覆盖的导风罩，所述粉尘抽吸机构形成为：当所述加工器具移动至作为作业台的工作台上方时，设置于所述导风罩的背面开口部面对所述抽吸管的抽吸口。

【技术特征摘要】
2018.04.27 JP 2018-0869311.一种划线装置的粉尘抽吸机构，该划线装置搭载有各自具有加工器具的多个划线头并使用所述加工器具对载置于作业台上的脆性材料基板加工划分线，所述划线装置的粉尘抽吸机构具备：将所述各划线头以在同一方向上可移动的方式保持的梁；具有沿着所述加工器具的移动路径旁侧开口的抽吸口且在与所述梁相连的部分固定的抽吸管；安装于所述划线头...

【专利技术属性】
技术研发人员：西尾仁孝，高松生芳，上野勉，酒井敏行，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP