一种用于从包含可流动产品的供应源的容器中取出可流动产品的阀，所述阀包括： 壳体，该壳体限定具有纵向轴线的柱形内孔，壳体中的第一和第二底部孔口与所述柱形内孔相通，壳体中的第一和第二侧部孔口与所述柱形内孔相通， 柱形阀芯，该阀芯接纳在所述柱形内孔内并且可沿所述柱形内孔的纵向轴线轴向移动，所述阀芯包括柱形外表面，第一和第二环形沟槽位于柱形外表面中并沿该柱形外表面的轴向分布，位于所述阀芯内的旁路从第二环形沟槽通过阀芯中的径向内孔延伸到与阀芯的柱形外表面的相交处，所述阀芯的外表面在所述相交处基本上没有环形沟槽，第一环形沟槽在阀芯上沿轴向设置于第二环形沟槽与旁路的孔口之间；以及 阀芯致动器，阀芯致动器用于使阀芯在所述柱形内孔内且在第一和第二位置之间选择性地滑动， 其中，当所述阀芯处于第一位置时，第一底部孔口经由第一环形沟槽与第一侧部孔口相通，第二底部孔口经由第二环形沟槽与第二侧部孔口相通；当所述阀芯处于第二位置时，第一和第二底部孔口通过第一环形沟槽彼此相通，第一和第二侧部孔口通过所述旁路和第二环形沟槽彼此相通。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般涉及用于从容器中取出化学产品的阀，其中气体用于从容 器中排代出产品，尤其涉及具有通道的滑阀，该通道用于气体流入容器并 用于产品流出容器。
技术介绍
制造半导体所需要的物质通常是有毒的和/或化学腐蚀性的。在纤维光学技术中，有毒的和化学腐蚀性的酸性囟化物通常保存在玻璃容器或不锈 刚器皿内。用来保存和运输这些物质的容器中的杂质可能导致严重问题， 因此必须与这些杂质隔绝。对于这些应用，耐化学腐蚀的滑阀可以用于取 出产品，它利用保护性气体例如惰性气体而将产品从容器中排代出或运出。 一般地，保护性气体也用于在取出物质之后冲刷连接管道。不锈钢球阀可 用于将产品从不锈钢器皿中取出。对于玻璃器皿，使用旋塞阀。尽管旋塞阀允许用保护性气体冲刷，但它们不能充分密封。其它玻璃和/或PTFE阀 也可以用于这种类型的应用。一种特定的阀是美国专利文件No.4，805，675中公布的滑阀，在此引用 该文件以作为参考。，675专利中的滑阀具有一柱形阀芯，该阀芯可在穿过 阀壳的内孔内轴向移动。岡芯在其外表面上具有第一环形沟槽，在阀的打 开位置，所述第一环形沟槽将产品供应管道(例如汲取管)连接到产品取 出管道(即通到产品输送位置的管道)。所述阀芯在其外表面上还具有第 二环形沟槽，在阀的打开位置，所述第二环形沟槽将保护性气体供应管道 (即从保护性气体的加压供应源到所述阀的管道)连接到气体注入管道(即 从所述阀到容器内的管道)。所述阀芯的外表面上形成有第三环形沟槽，使得第一环形沟槽沿阀芯的轴线位于第二和第三环形沟槽之间。第三环形 沟槽由穿过阀芯的旁路通道而连接到第二环形沟槽，所以第三环形沟槽注 满气体，而气体具有的压力大约等于第一环形沟槽中的压力。因此，用作 产品通过所述阀的第二环形沟槽的两侧是笫一和第三环形沟槽中的保护性气体，因而(根据，675专利)降低了杂质从容器的外部泄漏到第二沟槽 内的风险，并且降低了产品从第二沟槽通过阀芯和壳体之间的接头而流出 所述阀的风险。此外，当所述阀处于其关闭位置时，第二环形沟槽保持与 供气管道流体连通，但被密封阻止与气体取出管道流体连通。当所述阀处 于其关闭位置时，第三环形沟槽也连接到产品取出管道，这使得能够用保 护性气体沖刷产品取出管道，以清除所述阀以及产品取出管道的部分的产品。'675专利中>^布的阀具有一些缺点。首先，在阀芯中制作环形沟槽是 成本高的。另外制作旁路通道需要形成纵向内孔、形成两个径向内孔并且 堵塞纵向内孔的端部。此外，期望减小阀内产品滞留的内部空间量(即死 区)。由于腐蚀性产品会在使用阀的间歇中尤其是通过从阀部件中浸出金 属或其它可分离杂质而与构造阀所用的材料进行化学反应，所以死区是不 期望的。当使用同一个阀从装有不同批产品的容器中传送产品时，死区还 增加了不同批产品交叉污染的风险。而且，产品供应导管和气体取出管道 的连接口在外观上类似而易于混淆，这增加了产品供应导管和气体取出管 道不能正常地连接到所述阀以进行希望的应用的风险。进一步地，当所述 阀用于有毒的化学产品时，令人忧虑的是产品可能会通过阀芯和阀壳之间 的接头而流出所述阀。
技术实现思路
一种用于从包含可流动产品的供应源的容器中取出可流动产品的阀的 一个实施例包括一壳体，该壳体限定有一具有纵向轴线的柱形内孔。壳体 中的第一、第二底部孔口与所述内孔相通，并且笫一、第二侧部孔口在壳 体中与所述内孔相通。 一柱形阀芯接纳于所述内孔内并且沿所述内孔的纵7向轴线可轴向移动。所述阀芯包括柱形外表面。该柱形外表面中的第一和 第二环形沟槽沿该柱形外表面的轴向分布。阀芯内的旁路从第二环形沟槽 通过阀芯内的径向内孔延伸到旁路的孔口 。所述径向内孔延伸到与阀芯的 柱形外表面的相交处。阀芯的外表面在该相交处基本上没有环形沟槽。第 一环形沟槽在阀芯上沿轴向设置于第二环形沟槽与旁路的孔口之间。所述 阀还包括一阀芯致动器，用于使阀芯在所述内孔内且在第一位置和第二位 置之间选择性地滑动。当所述阀芯处于第一位置时，第一底部孔口经由第 一环形沟槽而与第一侧部孔口相通，第二底部孔口经由第二环形沟槽而与 第二侧部孔口相通。当所述阀芯处于第二位置时，第一和笫二底部孔口通 过第一环形沟槽而纟皮此相通，第一和第二侧部孔口通过所述旁路和笫二环 形沟槽而彼此相通。一种用于从包含可流动产品的供应源的容器中取出可流动产品的阀的 另一实施例包括一壳体，该壳体限定有一具有纵向轴线的柱形内孔。所述 内孔仅延伸通过部分壳体。壳体中的第一和第二底部孔口与所述内孔相通， 并且壳体中的第 一和第二侧部孔口与所述内孔相通。 一柱形阀芯接纳于内 孔中并且沿所述内孔的纵向轴线可轴向移动。所述阀芯包括柱形外表面。 柱形外表面中的第一和第二环形沟槽沿该柱形外表面的轴向分布。阀芯内 的旁路从第二环形沟槽延伸到位于阀芯一端的旁路的孔口 。第 一环形沟槽 在阀芯上沿轴向i殳置于第二环形沟槽和阀芯的所述一端之间。所述阀还包 括一阀芯致动器，用于使阀芯在所述内孔内且在第一位置和第二位置之间 选择性地滑动。当所述阀芯处于第一位置时，第一底部孔口经由第一环形 沟槽而与第一侧部孔口相通，第二底部孔口经由第二环形沟槽而与第二侧 部孔口相通。当所述阀芯处于第二位置时，第一和第二底部孔口通过第一 环形沟槽而彼此相通，第一和第二侧部孔口通过旁路和第二环形沟槽而彼 此相通。其它目的以及特征中的一部分是显而易见的， 一部分将在下文中指出。 附图说明图l是本专利技术的阀的一个实施例的透视图2是图1中示出的阀的端部视图3是图1中示出的阀的仰视图4是图1中示出的阀的侧视图，其以截面示出阀的一部分；图5A和图5B是沿图2的5-5平面所作的截面图，分别示出处于打开位置和关闭位置的阀；图6是本专利技术的阀的第二实施例的仰视图7是图6中的阀的侧视图，其以截面示出阀的一部分；以及图8A和图8B是图6中示出的阀(沿与图2的5-5平面相似的平面)的截面图，分别示出处于打开位置和关闭位置的阀。 在所有附图中，相同的参考标号指示相同的部件。具体实施例方式现在参见附图，首先参见图1-5B，本专利技术的阀的一个实施例总体上 以标号101指示。所述岡101包括带有中心内孔105的阀壳103,该中心 内孔105冲妄纳有一柱形阀芯107,该阀芯107可在打开位置(如图5A所示) 和关闭位置(如图5B所示)之间轴向移动。所述阀壳103和阀芯107优 选地由惰性物质制成，该惰性物质具有对化学反应的高耐性并包含少量的 金属和其它可分离杂质。在一个实施例中，阀壳103和阀芯107包括完全 氟化的聚合物例如PFA、 TFE、 PTFE、 FEP、 ETFE等。阀壳103的下側存在一连接件111，该连接件111将所述阀101可释 放地连接到在图1中以虚线示出的一敞口容器113,该敞口容器113容纳 有一定量的、具有腐蚀性化学性能的化学产品(未示出)(例如高纯度酸 性面化物，比如四氯化硅、氯化锗、三氯氧磷等)。例如如图4中所示， 连接件111可包括所述壳体底部上的柱形配件115。配件115的外螺紋支 承有一连接螺套121,该连接螺套121适于柠在容器113的开口上形成的 相应颈圏上。配件115的外螺紋和连接螺套121上的相应螺紋优选地是左 旋螺紋，而所述连接螺套上的剩余本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：R·S·里奇，H·图古里恩，
申请(专利权)人：西格玛奥尔德利希公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。