阀门总成制造技术

一种阀门总成，该阀门总成包括外壳（１２），该外壳（１２）具有延伸至出口（２０）的流动通道（１４）和位于流动通道中的出口周围的阀座（２４），滑板（２６）位于所述外壳中，可以在闭合位置和开启位置之间沿着所述流动通道的纵轴横向移动，在所述闭合位置，所述滑板与所述阀座接触，并阻止通过所述流动通道流动，在所述开启位置，所述滑板允许通过所述流动通道流动，其中，所述滑板和所述阀座中的至少一个包括至少一个通道（７６），所述通道（７６）用于在所述滑板和所述阀座之间提供预定的导通量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术主要涉及一种阀门总成，更具体的说，涉及一种新的、 改进的阀门总成，所述阀门总成包括滑板，所述滑板具有通道，所 述通道提供了减压功能和改善的抽空性能。
技术介绍
滑阀总成或闸阀总成通常包括外壳，所述外壳限定了在入口和 出口之间延伸的流动通道。例如，将滑阀总成连接在操作室和真空 泵之间，形成高纯气体运载系统的一部分，诸如那些用于在非常低 的压力(高真空)(例如大约一托或更小的压力)下进行的半导体 制造或其它薄膜涂布操作的高纯气体运载系统的一部分。在这种情 况下，将阀门总成的入口法兰固定到操作室，而阀门总成的出口法 兰固定到真空泵。滑阀总成包括滑板，所述滑板沿着阀门总成流动通道的轴线在 开启和闭合位置之间横向移动。在摆动型滑阀总成中，滑板通过枢 臂连接到可转动轴上。在完全开启位置，滑板从外壳的流动通道移 开，从而流体可以自由地进出流动通道，而在闭合位置，滑板移动 至与阀门总成出口周围的阀座或环状表面密闭接触，从而限制了流 动通道的导通性。滑板的移动通常需要在完全开启位置(即第一开 启位置)和中间位置(即第二开启位置)之间转动(即枢轴或横向) 移动，然后至少进行一些从中间位置到闭合位置的纵向(例如平移、 线性或轴向)移动，在所述闭合位置，滑板与出口的阀座密闭接触。Olmsted的美国专利6,089,537公开了一种摆动型阀门总成，该 阀门总成运用简单的转动凸轮机构精确地控制了滑板在完全幵启 位置和完全闭合位置之间的转动移动和纵向移动，该专利被转让给 本专利技术的受让人，并通过参考在此合并。所述凸轮机构还包括弹簧， 所述弹簧的作用是偏压所述滑板，使其远离出口的阀座。一些现有的摆动型阀门还包括密封圈，当该密封圈独立地作用 于滑板时提供了完全的密封(隔离)。例如，Brida的美国专利 5,577,707公开了一种摆动型滑阀，该滑阀包括密封圈，当滑板枢 转到密闭位置时，所述密封圈可以朝滑板移动或远离滑板移动。当 滑板处于闭合位置时，使用弹簧或压縮空气使密封圈朝滑板偏压， 使滑板紧密地密闭所述阀座，以在滑板与密封圈之间形成密封。密封圈通常为阀门总成提供了隔离功能，而不用于控制导通。 通常所述密封圈为固定安装，移动所述滑板来控制导通。然而，在 2003年9月29日提交的、系列号为10/673,989的共同待决美国专 利申请公开了一种摆动型阀门总成，该阀门总成包括密封圈，该密 封圈用于改进在阀门的初始开启过程中的导通性控制，该专利申请 被转让给本专利技术的受让人，并通过参考在此合并。该阀门总成在操作室与真空泵之间的操作通常包括三个阶段.-隔离、抽空和节流。在隔离阶段，所述密封圈提供隔离功能，阀门 总成的入口和出口之间的压力差很大。在抽空阶段，将所述密封圈 从所述滑板移开，所述滑板与出口的阀座之间的导通性逐渐增加， 阀门总成的入口和出口之间的压力差减小。在节流阶段，所述滑板 与出口的阀座之间的导通性保持为恒定的预定水平，阀门总成的入 口和出口之间的压力差相对较低，但是保持恒定。在半导体装置的 操作过程中，节流步骤用于在连接的操作室内保持所需的低压(即 操作压力)。一些现有的闸阀或摆动型阀门的一个缺点在于，当阀门的操作 室侧与泵侧之间存在高压力差时，初始移动所述滑板和开启阀门时 需要很大的力。如此大的力需要庞大的驱动装置，这增加了阀门总 成的大小和成本。可选地，可以在所述摆动型阀门的操作室侧连接 独立的旁通阀，在开启所述摆动型阀门之前，先操作所述旁通阀来 降低摆动型阀门的操作室侧中的压力，从而无需较大的驱动装置来 初始移动所述滑板。然而，独立的旁通阀也增加了所述摆动型阀门 总成的大小和成本。如果不使用庞大的驱动装置或独立的旁通阀，则所述抽空步骤 可能需要较长的时间来实现滑板与出口的阔座之间的导通，以及使 压力差降低到所需的水平。然而，在半导体装置的操作过程中不希 望出现较长的抽空时间，这是因为这样长的抽空时间会降低半导体 装置的产量。所需要的是新的、改进的阀门总成。优选情况下，将所述新的、 改进的阀门总成调整为在幵启所述滑板之前，自动降低阀门总成的 操作室侧(即阔门总成的入口 )与泵侧(即出口 )之间的高压力差， 从而在抽空过程中无需较大的驱动装置或独立的旁通阀便可初始 移动所述滑板和开启阀门。此外，自动降低所述高压力差优选将在 半导体装置的操作过程中减少抽空时间。
技术实现思路
本专利技术提供了一种新的、改进的阀门总成，该阀门总成配置为 在开启所述阔门总成的滑板之前，自动在所述阀门总成的入口与出 口之间降低压力。从而，无需较大的力便可初始移动所述滑板和开 启阀门。由于无需较大的驱动力，因此无需庞大的驱动机构，而所 述庞大的驱动机构会增加所述阀门总成的大小和成本。而且，所述高压力差的自动降低也不是通过使用独立的旁通阀来实现，而独立 的旁通阀会增加阀门总成的大小和成本。此外，所述新的、改进的 阀门总成在不使用庞大的驱动机构或独立的旁通阀的情况下，便可 相对快速地实现抽空过程。根据一种示例性实施方式，所述阀门总成包括外壳，该外壳具 有流动通道和阀座，所述流动通道延伸至出口，所述阀座位于所述 流动通道中的所述出口周围。滑板位于所述外壳中，可以在闭合位 置与开启位置之间沿着所述流动通道的纵轴横向移动，在所述闭合 位置，所述滑板与所述阀座接触，阻止通过所述流动通道流动，在 所述开启位置，所述滑板允许通过所述流动通道流动。所述滑板和 所述阀座中的至少一个包括至少一个通道，该通道用于当所述滑板 处于闭合位置时，在所述滑板与所述阔座之间提供预定的导通量。 所述通道允许在抽空过程中，在将所述滑板移动至开启位置之前， 在所述阀门总成的入口和出口之间降低压力。根据另一种示例性实施方式，所述阀门总成的流动通道从入口 延伸至出口，在所述流动通道中的所述入口周围界定了阀座，所述 阀门总成还包括密封圈，所述密封圈同轴放置在所述入口的阀组与 所述滑板之间的流动通道内。所述密封圈可以在所述流动通道中朝 所述滑板轴向移动，以在所述滑板与所述入口的阀座之间提供密 封。根据另一种示例性实施方式，所述滑板和密封圈中的至少一个 包括至少一个通道，所述通道用于在所述密封圈的移动过程中增加 所述滑板与所述密封圈之间的导通性。通过以下的详细说明，本领域的技术人员将更清楚地了解本发 明的其他方面和优势，其中，将通过实施本专利技术的最佳模式的简单 示例来说明本阀门的示例性实施方式。可以意识到，本专利技术可以具有其他不同的实施方式，在不偏离本专利技术的情况下，该实施方式的 具体细节可以在各个方面进行修改。相应地，应该认为其中的附图 和说明为示例性，而非限制性。附图说明将参考附图，其中具有相同的附图标记的元件一直代表相似的 元件，其中-图1是根据本专利技术构造的阀门总成的一种实施方式的一部分 的底部透视图，示出了该阀门总成的滑板和密封圈；图2是图l所示的阀门总成的一部分的局部放大顶部截面透视 图，示出了该阀门总成的滑板处于部分开启位置，与该阀门总成的 出口的阀座相间隔，所述密封圈被偏压远离所述滑板；图3是图1所示的摆动型阀门总成的滑板的底部透视图4是图3中圆"4"中包括的滑板部分的局部放大的底部透 视图5是根据本专利技术构造的用于图l所示的摆动型阀门总成的滑 板的另一种实施方式的底部透视图6是图5本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阀门总成，该阀门总成包括：外壳，该外壳具有流动通道，所述流动通道延伸至出口，并在所述流动通道中的所述出口周围界定了阀座；滑板，该滑板位于所述外壳中，可以在闭合位置与开启位置之间沿着所述流动通道的纵轴横向移动，在所述闭合位置，所述滑板与所述阀座接触，阻止通过所述流动通道流动，在所述开启位置，所述滑板允许通过所述流动通道流动；其中，所述滑板和所述阀座中的至少一个包括至少一个通道，该通道用于当所述滑板处于闭合位置时，在所述滑板与所述阀座之间提供预定的导通量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：PD卢卡斯，JW皮塞拉，
申请(专利权)人：MKS仪器公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]