【技术实现步骤摘要】
超声波检查装置以及超声波检查方法
本专利技术涉及一种超声波检查装置以及超声波检查方法。
技术介绍
作为从被检查体的图像中检查缺陷的无损检查方法，具有使用向被检查体照射超声波来检测其反射波从而生成的超声波图像的方法。通常，在通过超声波检测具有多层结构的被检查体内存在的缺陷时，使用基于声阻抗差异的反射特性。超声波在液体、固体物质中传播，在声阻抗不同的物质的边界面、空隙处产生反射波(回波)。在此，来自剥离等缺陷的反射波的强度高于来自不存在缺陷的地方的反射波。因此，通过对被检查体的各层的边界面的反射强度进行成像，能够得到使被检查体内存在的剥离缺陷显现的图像。但是，近年来，在以电子部件为代表的被检查体中，布线图案的微细化不断进展，要检测的剥离也变得微小，难以仅通过反射强度来确定有无存在剥离。超声波在从声阻抗小的物质入射到声阻抗大的物质的情况下，存在来自剥离缺陷的反射波相对于来自不存在剥离的部位的反射波相位反转的性质。通过进行捕捉该相位反转来检测反射强度低的剥离缺陷的处理，能够实现微小剥离、孔隙的高灵敏度的检测。作为检测这样的剥离等的方法，例如存在专利文献1。在专利文献1中，...
【技术保护点】
1.一种超声波检查装置，其特征在于，上述超声波检查装置具有处理部，该处理部通过超声波探头对被检查体的表面进行扫描来从上述超声波探头向被检查体出射超声波，接收从上述被检查体返回的反射波，根据接收到的上述反射波的特征来检查上述被检查体的内部状态，上述处理部针对从上述被检查体的各测定点得到的上述反射波，提取从上述被检查体的特定界面产生的局部波峰，将提取出的上述局部波峰的极性与参照极性进行比较，将提取出的上述局部波峰的极性与上述参照极性不同的测定点检测为异常。
【技术特征摘要】
2018.04.12 JP 2018-0764681.一种超声波检查装置，其特征在于，上述超声波检查装置具有处理部，该处理部通过超声波探头对被检查体的表面进行扫描来从上述超声波探头向被检查体出射超声波，接收从上述被检查体返回的反射波，根据接收到的上述反射波的特征来检查上述被检查体的内部状态，上述处理部针对从上述被检查体的各测定点得到的上述反射波，提取从上述被检查体的特定界面产生的局部波峰，将提取出的上述局部波峰的极性与参照极性进行比较，将提取出的上述局部波峰的极性与上述参照极性不同的测定点检测为异常。2.根据权利要求1所述的超声波检查装置，其特征在于，上述处理部通过以下来进行从上述特定界面产生的上述局部波峰的提取：从各个上述反射波检测多个上述局部波峰，在全部反射波之间使从各个上述反射波检测出的多个上述局部波峰对应起来，从上述全部反射波提取从上述特定界面产生的上述局部波峰。3.根据权利要求2所述的超声波检查装置，其特征在于，上述处理部针对各个上述反射波计算上述局部波峰，针对各个上述局部波峰计算包含产生时间的多种特征量，基于根据计算出的上述多种特征量并考虑了极性反转而计算出的类似度来进行上述全部反射波之间的上述局部波峰的对应。4.根据权利要求1所述的超声波检查装置，其特征在于，上述处理部事先设定上述参照极性，将上述局部波峰的极性与事先设定的上述参照极性进行比较。5.根据权利要求1所述的超声波检查装置，其特征在于，上述处理部通过从上述被检查体的表面反射而接收到的反射信号计算上述参照极性。6.根据权利要求2所述的超声波检查装置，其特征在于，上述处理部通过对应起来的上述全部反射波的上述局部波峰的极性分布来确定上述参照极性。7.一种超声波检查装置，其通过超声波探头对被检查体的表面进行扫...
【专利技术属性】
技术研发人员：酒井薰，宫本敦，
申请(专利权)人：株式会社日立电力解决方案，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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