具有气氛调节功能的光学样品测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及具有气氛调节功能的光学样品测试装置，包括样品台、气氛调节腔体和激光光源，气氛调节腔体包括主腔体、气体混合腔和抽气部件，气体混合腔与主腔体连通，抽气部件与主腔体的出气口连接；气体混合腔上设有若干气体入口；主腔体上设有光入口和光出口，激光光源设在光入口的一侧；样品台设在主腔体内侧正对光入口。该装置结构简单、气氛调节易操作，能够为光学样品测试提供合适的气体氛围，提高实验准确性。该装置设有气体混合腔，对气体进行预混合，达到比例后再送入主腔体，减小了真空状态对气体流量计的损害。

An optical sample testing device with atmosphere adjusting function

【技术实现步骤摘要】
具有气氛调节功能的光学样品测试装置
本技术涉及材料光学测试领域，具体地说是具有气氛调节功能的光学样品测试装置。
技术介绍
半导体材料，特别是用于太阳能电池、发光二极管、激光二极管和光电探测器的半导体材料的检测对于提升和改进器件性能有着至关重要的作用。在众多检测方法中，材料的光谱检测有着方便、快捷且对样品无损害等优点。运用于材料的光谱技术很多，包括：能反映材料吸收峰位置、禁带宽度的紫外-可见吸收光谱；能反映材料的类别、半导体材料掺杂类型及发光效率的荧光光谱；可用来测量激发态物种随时间变化的时间分辨吸收和荧光光谱技术；用来探测光电材料的光电导和载流子迁移率随时间变化的时间分辨太赫兹光谱技术等。这些技术在半导体材料的研究过程中是经常用到且非常重要的光谱分析技术。然而，对于许多半导体材料来说，为了获得以上所述的光谱，运用强光辐照是在所难免的。在运用强光辐照，特别是运用高强度激光、脉冲激光等检测的过程中，光与检测材料中某些物质的相互作用将随辐照光密度的增加而增加。这就导致了在涉及激光光源的检测过程中导致测量数据结果的偏差。其中，在众多导致光与检测材料相互作用的因素中，材料周围的气体氛围起到了非本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：包括样品台、气氛调节腔体和激光光源，气氛调节腔体包括主腔体、气体混合腔和抽气部件，气体混合腔与主腔体连通，抽气部件与主腔体的出气口连接；气体混合腔上设有若干气体入口；主腔体上设有光入口和光出口，激光光源设在光入口的一侧；样品台设在主腔体内侧正对光入口。

【技术特征摘要】
1.具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：包括样品台、气氛调节腔体和激光光源，气氛调节腔体包括主腔体、气体混合腔和抽气部件，气体混合腔与主腔体连通，抽气部件与主腔体的出气口连接；气体混合腔上设有若干气体入口；主腔体上设有光入口和光出口，激光光源设在光入口的一侧；样品台设在主腔体内侧正对光入口。2.按照权利要求1所述的具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：光入口和光出口均为石英制成的光学窗口，光入口和光出口同轴设置。3.按照权利要求1所述的具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：气氛调节腔体还包括三轴移动平台，三轴移动平台与气氛调节腔体连接，样品台为具有升降定位功能的平台。4.按照权利要求1所述的具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：样品台上设...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，邹贤劭，
申请(专利权)人：广州大学，
类型：新型
国别省市：广东,44