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感放射线性组合物和1,2-萘醌-2-二叠氮磺酸衍生物制造技术

技术编号:22363343 阅读:29 留言:0更新日期:2019-10-23 04:26
本发明专利技术提供一种感放射线性组合物,其具有优异的辐照灵敏度和分辨率,能够发挥高的电压保持特性。一种感放射线性组合物,含有:碱溶性聚合物(A)、以及具有选自由式(b1)表示的结构和由式(b2)表示的结构中的至少1种结构(bb)的化合物(B)。[式(b1)和(b2)中,X为吸电子基团或卤素原子,在X为多个时可以分别相同或不同,n1为0~3的整数,n2为0~2的整数,其中,n1+n2为1以上,n3为0~4的整数,n4为0~1的整数,其中,n3+n4为1以上,*为结合位点。]

【技术实现步骤摘要】
感放射线性组合物和1,2-萘醌-2-二叠氮磺酸衍生物
本专利技术涉及感放射线性组合物和1,2-萘醌-2-二叠氮磺酸衍生物。
技术介绍
以往,1,2-萘醌-2-二叠氮磺酸衍生物作为感放射线性组合物中的感放射线性化合物使用(例如,参照专利文献1~3)。然而,公知的1,2-萘醌-2-二叠氮磺酸衍生物中,存在辐照灵敏度不充分等问题。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2002-088052号公报专利文献2:日本特开2007-156243号公报专利文献3:日本特开2006-209113号公报
技术实现思路
本专利技术的课题在于提供一种具有优异的辐照灵敏度和分辨率且能够发挥优异的电压保持特性的感放射线性组合物、以及1,2-萘醌-2-二叠氮磺酸衍生物。本专利技术的专利技术人等为了解决上述课题进行了研究,其结果发现,通过对1,2-萘醌-2-二叠氮基导入吸电子基团或卤素原子,可以解决上述课题,从而完成了本专利技术。即,本专利技术涉及以下的[1]~[9]。[1]一种感放射线性组合物,含有:碱溶性聚合物(A)、以及具有选自由式(b1)表示的结构和由式(b2)表示的结构中的至少1种结构(bb)的化合物(B)。[式(b1)和(b2)中,X为吸电子基团或卤素原子,在X为多个时可以分别相同或不同,n1为0~3的整数,n2为0~2的整数,其中,n1+n2为1以上,n3为0~4的整数,n4为0~1的整数,其中,n3+n4为1以上,*为结合位点。][2]根据上述[1]所述的感放射线性组合物,其中,上述式(b1)和(b2)中的X为吸电子基团。[3]根据上述[1]所述的感放射线性组合物,其中,上述式(b1)和(b2)中的上述吸电子基团是选自硝基、氰基、磺基、羧基、甲苯磺酰基、甲磺酰基、苯基、三氟甲基磺酰基和碳原子数1~12的卤代烷基中的至少1种,上述卤素原子是选自氟原子、氯原子、溴原子和碘原子中的至少1种。[4]根据上述[1]~[3]中任一项所述的感放射线性组合物,其中,上述化合物(B)是选自由式(B1-3-1)表示的化合物和由式(B1-4-1)表示的化合物中的至少1种。[式(B1-3-1)中的Q各自独立地为上述结构(bb)或氢原子,m1~m3为0~5的整数,其中,m1、m2和m3中的至少1个是1以上的整数,且并非所有的Q都是氢原子。式(B1-4-1)中的Q各自独立地为上述结构(bb)或氢原子,m4~m6为0~5的整数,其中,m4、m5和m6中的至少1个为1以上的整数,且并非所有的Q都是氢原子。][5]根据上述[1]~[4]中任一项所述的感放射线性组合物,其中,相对于上述聚合物(A)100质量份含有5~100质量份的上述化合物(B)。[6]一种固化膜的制造方法,具有如下工序:(1)将上述[1]~[5]中任一项所述的感放射线性组合物的涂膜形成于基板上的工序,(2)对上述涂膜的至少一部分照射放射线的工序,(3)将照射放射线后的涂膜显影的工序,和(4)将显影后的涂膜加热而得到固化膜的工序。[7]一种固化膜,含有树脂成分以及来自化合物(B)的分解物,该化合物(B)具有选自由式(b1)表示的结构和由式(b2)表示的结构中的至少1种结构(bb)。[8]一种显示元件,具有上述[7]所述的固化膜。[9]一种化合物(B),具有选自由上述式(b1)表示的结构和由上述由式(b2)表示的结构中的至少1种结构(bb)。根据本专利技术,可以提供一种具有优异的辐照灵敏度和分辨率且能够发挥优异的电压保持特性的感放射线性组合物、以及1,2-萘醌-2-二叠氮磺酸衍生物。具体实施方式本说明书中以各成分的含有比例等分别记载了优选的上限值、下限值,但由所记载的上限值和下限值的任意组合规定的数值范围也视为记载于本说明书。以下,对本专利技术的感放射线性组合物、固化膜的制造方法和固化膜、以及显示元件进行说明。对于本专利技术的化合物(B),在[感放射线性组合物]一栏中进行说明。[感放射线性组合物]本专利技术的感放射线性组合物(也简称为”本专利技术的组合物”)含有碱溶性聚合物(A)以及后述的具有选自由式(b1)表示的结构和由式(b2)表示的结构中的至少1种结构(bb)的化合物(B))。<碱溶性聚合物(A)>作为碱溶性聚合物(A)(也简称为”聚合物(A)”),例如,优选为具有羧基、酚性羟基和氟化羟基烷基等酸性官能团的聚合物。碱溶性是指在2.38质量%浓度的四甲基氢氧化铵水溶液等的碱性显影液中聚合物能够溶解或膨润。氟化羟基烷基是与碳原子键合的氢原子的一部分被氟原子取代而成的羟基烷基,例如由-C(Ra1)(Ra2)OH表示的基团。上述式中,Ra1是氟原子或碳原子数1~4的氟化烷基,Ra2是氢原子、氟原子、碳原子数1~4的烷基或碳原子数1~4的氟化烷基。作为具有酸性官能团的聚合物,例如,可举出酚醛清漆树脂、苯酚-苯二甲醇缩合树脂、甲酚-苯二甲醇缩合树脂、苯酚-二环戊二烯缩合树脂、聚苯并唑前体、聚羟基苯乙烯、羟基苯乙烯与苯乙烯的共聚物等具有酚性羟基的聚合物;在主链包含酚醛清漆型骨架的含羧基的环氧(甲基)丙烯酸酯树脂、聚酰胺酸等具有羧基的聚合物。作为具有酸性官能团的聚合物,此外,可举出具有1个以上的酸性官能团的烯属性不饱和单体(以下也称为”不饱和单体(a1)”)与能够与上述(a1)共聚的其它烯属性不饱和单体(以下也称为”不饱和单体(a2)”)的共聚物。特别优选为具有酸性官能团的(甲基)丙烯酸聚合物。作为不饱和单体(a1),例如,可举出(甲基)丙烯酸、马来酸、马来酸酐、琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯、对乙烯基苯甲酸等含羧基的不饱和单体;羟基苯乙烯、α-甲基-对羟基苯乙烯、羟基苯基丙烯酸酯、羟基苯基丙烯酰胺等含酚性羟基的不饱和单体;4-(1,1,1,3,3,3-六氟-2-羟基丙烷-2-基)苯乙烯等含氟化羟基烷基的不饱和单体。这些之中,从聚合性的观点出发,优选至少使用(甲基)丙烯酸。不饱和单体(a1)可以单独使用或组合使用2种以上。作为不饱和单体(a2),例如,可举出N-芳基马来酰亚胺、N-烷基马来酰亚胺、N-环烷基马来酰亚胺等N-位取代马来酰亚胺;苯乙烯及其衍生物等芳香族乙烯基化合物;(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸羟基烷基酯、(甲基)丙烯酸含脂环酯、(甲基)丙烯酸含芳香环酯、环氧乙烷环、氧杂环丁烷环、氧杂环戊烷环等具有环状醚环的(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸酯;含苯乙烯基的硅烷化合物等含芳香环的硅烷化合物;含脂环的乙烯基醚等乙烯基醚;芳香族乙烯基化合物的聚合物链、(甲基)丙烯酸酯的聚合物链、聚硅氧烷分子链等聚合物分子链的末端具有单(甲基)丙烯酰基的大分子单体。这些之中,从对碱溶性聚合物赋予交联性官能团的观点出发,优选使用选自具有环氧乙烷环的(甲基)丙烯酸酯和具有氧杂环丁烷环的(甲基)丙烯酸酯中的至少1种。更具体而言,可举出日本特开2015-004968号公报的[0060]~[0062]、日本特开2008-233346号公报的[0036]~[0045]、日本特开2009-229567号公报的[0013]~[0021]所记载的单体。不饱和单体(a2)可以单独使用或组合使用2种以上。作为不饱和单体(a1)与不饱和单体(a2)的共聚物的具体例,例如,可举出日本特开平7-140654号公报、日本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感放射线性组合物,含有:碱溶性聚合物A、以及具有选自由式(b1)表示的结构和由式(b2)表示的结构中的至少1种结构(bb)的化合物B,

【技术特征摘要】
2018.03.26 JP 2018-058216;2019.02.13 JP 2019-023501.一种感放射线性组合物,含有:碱溶性聚合物A、以及具有选自由式(b1)表示的结构和由式(b2)表示的结构中的至少1种结构(bb)的化合物B,式(b1)和(b2)中,X为吸电子基团或卤素原子,在X为多个时可以分别相同或不同,n1为0~3的整数,n2为0~2的整数,其中,n1+n2为1以上,n3为0~4的整数,n4为0~1的整数,其中,n3+n4为1以上,*为结合位点。2.根据权利要求1所述的感放射线性组合物,其中,所述式(b1)和(b2)中的X为吸电子基团。3.根据权利要求1所述的感放射线性组合物,其中,所述式(b1)和(b2)中的所述吸电子基团是选自硝基、氰基、磺基、羧基、甲苯磺酰基、甲磺酰基、苯基、三氟甲基磺酰基和碳原子数1~12的卤代烷基中的至少1种,所述卤素原子是选自氟原子、氯原子、溴原子和碘原子中的至少1种。4.根据权利要求1~3中任一项所述的感放射线性组合物,其中,所述化合物B是选自由式(B1-3-1)表示的化合物和由式(B1-4-1)表示的化合物中的至少1种,式(B1-3-1)中的Q各自独立地为所述结构(bb)或氢原子,m1~m3为0~5的整数,其中,m1、m2和m3中的至少1个是1以上的整数,且并非所有的Q都是氢原子,式(B1-4-1)...

【专利技术属性】
技术研发人员:三村时生角田裕志仓田亮平工藤和生
申请(专利权)人:JSR株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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