放射线检测器、以及放射线检测器的制造方法技术

本发明专利技术所涉及的放射线检测器(1)的特征在于：具备具有受光部(3)以及多个焊垫(5)的光电转换元件阵列(7)、被层叠于光电转换元件阵列(7)上的闪烁体层(8)、以从闪烁体层(8)以及焊垫(5)分开且通过闪烁体层(8)与焊垫(5)之间并且包围闪烁体层(8)的形式被形成于光电转换元件阵列(7)上的树脂框(9)、覆盖闪烁体层(8)并具有位于树脂框(9)上的外缘(13a)的保护膜(13)，树脂框(9)的内缘(E1)与闪烁体层(8)的外缘(E3)之间的第1距离(D1)成为短于树脂框(9)的外缘(E2)与光电转换元件阵列(7)的外缘(E4)之间的第2距离，外缘(13a)以及沟槽部(9a)由激光来进行加工。

Radiation detector and manufacturing method of radiation detector

【技术实现步骤摘要】
放射线检测器、以及放射线检测器的制造方法(本申请是申请日为2014年10月10日、申请号为201480061928.9、专利技术名称为“放射线检测器、以及放射线检测器的制造方法”的专利申请的分案申请。)
本专利技术涉及放射线检测器、以及放射线检测器的制造方法。
技术介绍
一直以来，如下述专利文献1所示将柱状结晶结构的闪烁体层形成于传感器面板(受光部)上的放射线检测器(放射线检测元件)是为人们所知的。在该放射线检测器中，与受光元件相电连接的多个焊垫(bondingpad)(接合垫)被配置于受光部的外侧。另外，在从闪烁体层的层叠方向来看的情况下，以通过闪烁体层与焊垫之间并且包围闪烁体层的形式形成树脂框。闪烁体层被耐湿保护膜覆盖，耐湿保护膜的外缘到达树脂框上。具备像这样的放射线检测器的放射线检测装置除了固定型(stationarytype)之外即使就便携式的装置而言也是需要的。因此，要求对放射线检测装置实行小型化以及轻量化。为此，要求对构成放射线检测装置的放射线检测器实行小型化以及轻量化。为了对放射线检测器实行小型化而优选通过尽量减小树脂框并尽量缩短树脂框与闪烁体层的外缘的距离从而尽量增大树脂框的内侧区域中的闪烁体层的面积(有效面积)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第3077941号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题可是，在上述专利文献1所记载的放射线检测器的制造过程中，被形成于树脂框上的耐湿薄膜沿着树脂框由切割器而被切断。但是，在随着树脂框的小型化而缩短树脂框与闪烁体层的外缘的距离的状态下，因为对于用切割器来切断耐湿保护膜的作业来说要有相当的熟练度，所以从生产性以及制造成本的观点出发还有改善的余地。因此，本专利技术的目的在于提供一种兼备装置的小型化以及闪烁体层的有效面积大型化并且能够谋求到生产性的提高的放射线检测器、以及其制造方法。解决技术问题的手段本专利技术所涉及的放射线检测器具备：光电转换元件阵列，具有包含被排列成一维或者二维的多个光电转换元件的受光部、以及与光电转换元件相电连接并且被配置于受光部外侧的多个焊垫；闪烁体层，以覆盖受光部的形式被层叠于光电转换元件阵列上并且将放射线转换成光；树脂框，在从闪烁体层的层叠方向来看的情况下以从闪烁体层以及焊垫分开且通过闪烁体层与焊垫之间并且包围闪烁体层的形式被形成于光电转换元件阵列上；保护膜，覆盖闪烁体层并具有位于树脂框上的外缘；树脂框的内缘与闪烁体层的外缘之间的第1距离成为短于树脂框的外缘与光电转换元件阵列的外缘之间的第2距离，保护膜的外缘、以及在树脂框上对应于保护膜的外缘的对应区域成为被激光加工的状态。关于本专利技术所涉及的放射线检测元件，树脂框上的保护膜由激光进行加工。对于由激光来完成的加工来说与由切割器来完成的切断相比较因为没有必要熟练的技术，所以能够提高生产性。另外，如果由激光进行加工的话，因为能够高精度地切割保护膜，所以能够对树脂框实行小型化。另外，树脂框因为是从闪烁体层以及焊垫分开来被形成，所以能够抑制由在制造时的激光引起的对闪烁体层以及焊垫的不良影响。另外，通过接近于闪烁体层来配置树脂框从而还能够谋求到闪烁体层的有效面积的大型化。因此，根据本专利技术所涉及的放射线检测器，则能够兼备装置的小型化以及闪烁体层的有效面积的大型化并且能够谋求到生产性的提高。关于上述放射线检测器，保护膜的外缘以及对应区域在从上述层叠方向来看的情况下也可以成为细微的波浪形状。由此，在用覆盖树脂来覆盖树脂框上的保护膜的情况等之下，因为保护膜的外缘以及对应区域与覆盖树脂的接触面积增加，所以能够更加牢固地做到保护膜的外缘以及对应区域与覆盖树脂的粘结。关于上述放射线检测器，对应区域的高度也可以成为树脂框高度的1/3以下。由此，能够更加有效地抑制由对应于位于树脂框下方的光电转换元件阵列的激光引起的不良影响。关于上述放射线检测器，第2距离相对于第1距离的比率也可以成为5以上。通过控制到像这样的比率从而就能够更加有效地抑制在制造时的由激光引起的对焊垫的不良影响并且确保闪烁体层的有效面积，能够谋求到装置的小型化。关于上述放射线检测器，树脂框是以中央部成为高于两缘部的形式被形成的，树脂框的高度也可以成为低于闪烁体层的高度。由此，能够对树脂框实行小型化并且能够更加有效地抑制在制造时的由激光引起的对闪烁体层的不良影响。关于上述放射线检测器，树脂框的内缘与树脂框的外缘之间的宽度为900μm以下，树脂框的高度也可以是450μm以下。由此，通过对树脂框实行小型化从而既确保了闪烁体层的有效面积有能够进一步对装置实行小型化。关于上述放射线检测器，由激光进行加工的保护膜的外缘以及对应区域在从层叠方向来看的情况下也可以被形成为具有向外侧凸出的弧状角部的大致矩形环状。根据上述放射线检测器，通过将保护膜的角部(四角的角部分)做成向外侧凸出的弧状(所谓R形状)从而就能够抑制保护膜在角部从树脂框剥离。上述放射线检测器也可以进一步具备以覆盖保护膜的外缘的形式沿着树脂框被配置的覆盖树脂层。通过具备像这样的覆盖树脂层从而就能够以树脂框和覆盖树脂层来夹入并固定保护膜的外缘。由此，就能够在保护膜的外缘抑制保护膜从树脂框剥离。关于上述放射线检测器，闪烁体层的周缘部也可以成为随着朝向闪烁体层的外侧而高度渐渐变低的锥形状。就这样通过以闪烁体层的周缘部的高度大致外侧变低的形式进行处理，从而就能够在制造时限定由激光引起的不良影响涉及到闪烁体层的区域。关于上述放射线检测器，保护膜也可以包含使光反射的金属膜。由此，就能够防止在闪烁体层上产生的光泄漏到外面，并且能够提高放射线检测器的检测灵敏度。本专利技术所涉及的放射线检测器的制造方法的特征在于：具备以下工序：准备具有包含被排列成一维或者二维的多个光电转换元件的受光部、以及与光电转换元件相电连接并且被配置于受光部外侧的多个焊垫的光电转换元件阵列，以覆盖受光部的形式在光电转换元件阵列上层叠将放射线转换成光的闪烁体层的工序；在从闪烁体层的层叠方向来看的情况下以从闪烁体层以及焊垫分开且通过闪烁体层与焊垫之间并且包围闪烁体层的形式将树脂框形成于光电转换元件阵列上的工序；以至少覆盖光电转换元件阵列的闪烁体层被层叠的一侧的全体表面的形式形成保护膜的工序；通过沿着树脂框照射激光从而切断保护膜并除去保护膜的外侧部分的工序；在形成树脂框的工序中以树脂框的内缘与闪烁体层的外缘之间的第1距离成为短于树脂框的外缘与光电转换器元件阵列的外缘之间的第2距离的形式形成树脂框。根据本专利技术所涉及的放射线检测元件的制造方法，因为是由激光来切断树脂框上的保护膜，所以与凭借切割器的切断相比较相对来说熟练的技术不再有必要并且能够提高生产性。另外，因为能够由激光来高精度地切断保护膜，所以能够对树脂框实行小型化。另外，通过从闪烁体层以及焊垫分开来形成树脂框从而就能够抑制在保护膜切断时的由激光引起的对闪烁体层以及焊垫的不良影响。另外，通过接近于闪烁体层来配置树脂框从而还能够谋求到闪烁体层的有效面积的大型化。专利技术效果根据本专利技术的一个侧面，能够提供一种兼备装置的小型化以及闪烁体层的有效面积大型化并且能够谋求到生产性的提高的放射线检测器、以及其制造方法。附图说明图1是本专利技术的一个实施方式所涉及的放射线检测器的平面图。图2是沿着图1的II-II线的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种放射线检测器的制造方法，其特征在于：具备以下工序：准备具有包含被排列成一维或者二维的多个光电转换元件的受光部、以及与所述光电转换元件相电连接并且配置于所述受光部的外侧的多个焊垫的光电转换元件阵列，以覆盖所述受光部的方式在所述光电转换元件阵列上层叠将放射线转换成光的闪烁体层的工序；在从所述闪烁体层的层叠方向看的情况下以从所述闪烁体层以及所述焊垫分开且通过所述闪烁体层与所述焊垫之间并且包围所述闪烁体层的形式将树脂框形成于所述光电转换元件阵列上的工序；以至少覆盖所述光电转换元件阵列的所述闪烁体层被层叠的一侧的全体表面的形式形成保护膜的工序；通过沿着所述树脂框的大致中央部分以一笔画的方式一边扫描一边照射激光，从而切断所述保护膜，并且切断除去所述树脂框的一部分，并除去所述保护膜的外侧部分并且在所述树脂框的大致中央部分形成沟槽部的工序；以及以覆盖所述保护膜的外缘的方式沿着所述树脂框形成覆盖树脂层的工序，在除去所述保护膜的外侧部分并且在所述树脂框的大致中央部分形成沟槽部的工序中，以在从所述层叠方向来看的情况下，所述保护膜的外缘以及所述沟槽部在角部成为向外侧凸出的弧状的方式扫描所述激光。

【技术特征摘要】
2013.11.15 JP 2013-2366931.一种放射线检测器的制造方法，其特征在于：具备以下工序：准备具有包含被排列成一维或者二维的多个光电转换元件的受光部、以及与所述光电转换元件相电连接并且配置于所述受光部的外侧的多个焊垫的光电转换元件阵列，以覆盖所述受光部的方式在所述光电转换元件阵列上层叠将放射线转换成光的闪烁体层的工序；在从所述闪烁体层的层叠方向看的情况下以从所述闪烁体层以及所述焊垫分开且通过所述闪烁体层与所述焊垫之间并且包围所述闪烁体层的形式将树脂框形成于所述光电转换元件阵列上的工序；以至少覆盖所述光电转换元件阵列的所述闪烁体层被层叠的一侧的全体表面的形式形成保护膜的工序；通过沿着所述树脂框的大致中央部分以一笔画的方式一边扫描一边照射激光，从而切断所述保护膜，并且切断除去所述树脂框的一部分，并除去...

【专利技术属性】
技术研发人员：榑林章仁，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP