基板表面检测装置制造方法及图纸

技术编号:22349979 阅读:27 留言:0更新日期:2019-10-19 18:17
本实用新型专利技术中实施例中的基板表面检测装置包括:移送单元,用于移送基板;第1检测单元,具备用于检测基板的下面的多个第1摄像机,多个第1摄像机以相互不同的角度面向基板的下面的方式进行配置;第2检测单元,具备多个用于检测基板的边缘部的第2摄像机。

Substrate surface detection device

【技术实现步骤摘要】
基板表面检测装置
本技术涉及一种基板表面检测装置,用于检测基板表面。
技术介绍
通常,用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板等使用单元玻璃面板(以下称为“单元基板”),所述单元玻璃面板是通过将如玻璃等脆性母体玻璃面板(以下称为“基板”)切割成预定尺寸而获得。将这些基板应用于产品前,需要执行对基板表面进行检测的工序。为了检测基板的表面,使用了多种基板表面检测装置。基板表面检测装置包括在基板表面对向配置的摄像机,根据摄像机所拍摄的基板表面的图像检测出基板表面的缺陷。这类的基板表面检测装置,使用单一种类的摄像机,对基板的下面和基板的边缘部进行拍摄。因为在检测基板整个表面时使用了高价的高速摄像机,从而导致制造基板表面检测装置所需的费用增加。
技术实现思路
本技术为了解决上述以往技术的问题,本技术目的在于提供一种基板表面检测装置,通过使用规格不同的第1检测单元及第2检测单元,对基板的下面和基板的边缘部进行检测,从而降低制造基板表面检测装置所需的费用,加快基板表面的检测过程。本技术的实施例中的一种基板表面检测装置可以包括:移送单元,用于移送基板;第1检测单元,具备用于检测基板的下面的多个第1摄像机,多个第1摄像机以相互不同的角度面向基板的下面的方式进行配置;第2检测单元,具备多个用于检测基板的边缘部的第2摄像机。第1摄像机相比于所述第2摄像机高速运行。与所述第2摄像机相比,第1摄像机能够摄像宽领域。技术效果分别具备第1检测单元和第2检测单元,其中,第1检测单元对基板的下面进行要求高精密度的检测项目;第2检测单元对基板的边缘部进行不要求高精密度的检测项目。与构成第1检测单元的第1摄像机的规格相比,构成第2检测单元的第2摄像机的规格要低。所以,与检测基板的下面和基板的边缘部时使用单一类型的高价的高速摄像机相比,降低了制造基板表面检测装置所需的费用。另外,基板依次通过第1检测单元及第2检测单元,基板的下面及基板的边缘部依次接受检测,所以可以加快基板表面的检测过程。附图说明图1是概略表示本技术实施例中的基板表面检测装置的侧视图。图2是概略表示本技术实施例中的基板表面检测装置的平面图。图3是概略表示本技术实施例中的基板表面检测装置的第1移送单元的侧视图。图4是本技术实施例中的基板表面检测装置的控制方块图。图5至图9是依次表示本技术实施例中的基板表面检测装置的运行的概略图。附图标记:10:装载台20:第1移送单元30:第1检测单元40:第2移送单元50:第2检测单元60:控制单元具体实施方式以下,参照附图对本技术实施例的基板表面检测装置进行说明。在基板表面的检测过程中,将移送基板的方向定义为Y轴,与移送基板的方向(Y轴方向)相交叉的方向定义为X轴。并将与放置基板的X-Y平面相垂直的方向定义为Z轴。如图1至图3所示,本技术实施例中的基板表面检测装置包括:装载台10,从外部装载基板S;第1移送单元20,移送被装载至装载台10上的基板S;第1检测单元30,检测通过第1移送单元20移送的基板S的下面;第2移送单元40,移送经第1检测单元30检测完毕的基板S;第2检测单元50,检测通过第2移送单元移送的基板S的边缘部;以及控制单元60,控制基板表面检测装置的运行。装载台10可以包括支持从外部传送的基板S的传送带11。传送带11由多个滑轮12进行支撑,多个滑轮12中的至少一个是为了旋转传送带11提供驱动力的驱动滑轮。第1移送单元20包括:支持并移送基板S的抓取模块21;支持抓取模块21以便使抓取模块21能够向Y轴方向移动的支持框体22;使抓取模块21随着支持框体22沿Y轴方向移动的移动模块23;使抓取模块21沿Z轴方向移动的升降模块24。移动模块23及升降模块24可以是通过空压或油压运行的致动器、在电磁相互作用下运行的直线电机、或者滚珠螺杆等的直线移动机构。如图1及图3所示,抓取模块21包括:通过真空线212与真空源90连接的多个吸附衬垫213;与多个吸附衬垫213分别连接,并升降吸附衬垫213的衬垫高度调节器214;以及与多个吸附衬垫213分别连接,并测定吸附衬垫213内的压力的压力传感器215。衬垫高度调节器214可以构成为使用者可以手动调节多个吸附衬垫213的高度的结构。另外,为了可以自动调节多个吸附衬垫213的高度,衬垫高度调节器214可以是通过空压或油压运行的致动器、在电磁相互作用下运行的直线电机、或者滚珠螺杆等的直线移动机构。如其他实施例所示,多个衬垫高度调节器214与多个吸附衬垫213不分别进行连接,可以将两个以上的吸附衬垫213指定为一组,指定多组吸附衬垫213,调节各组的吸附衬垫213的高度。此时,控制单元60根据压力传感器215所测定的吸附衬垫213内的压力变化控制衬垫高度调节器214,使多个吸附衬垫213进行升降。基板S被移送至装载台10的传送带11上,抓取模块21吸附基板S,并通过抓取模块21的垂直移动及水平移动,基板S移送至第1检测单元30。在此过程中,基板S需要被抓取模块21的所有的多个吸附衬垫213均匀吸附。但是,由于基板S的平坦度变化、抓取模块21的多个吸附衬垫213的垂直位置的变化,并不是抓取模块21的所有的多个吸附衬垫213都能均匀吸附基板S。在基板S不被抓取模块21的所有的多个吸附衬垫213均匀吸附的状态下,抓取模块21垂直或水平移动时,会发生基板S从多个吸附衬垫213脱离的问题。所以,在本技术实施例的第1移送单元20中,在抓取模块21未完全吸附基板S之前,将抓取模块21向基板S慢慢移动的同时,通过压力传感器215测定吸附衬垫213内的压力。随着抓取模块21向基板S慢慢移动,基板S被吸附在吸附衬垫213上。当基板S的平坦度一致,多个吸附衬垫213的垂直位置均匀时,基板S被多个吸附衬垫213吸附,多个吸附衬垫213的内部压力会同时发生变化。但是,当基板S的平坦度不一致,或多个吸附衬垫213的垂直位置不均匀时,基板S的一部分被多个吸附衬垫213中的一部分吸附衬垫213所吸附,基板S的其他部分不被吸附衬垫213吸附。这种情况下,多个吸附衬垫213中的一部分吸附衬垫213的压力发生变化,但未吸附基板S的衬垫213的压力不会发生变化。由此可知,发生压力变化的吸附衬垫213与未发生压力变化的吸附衬垫213之间,存在着相对于基板S的高度差。通过调节发生压力变化的吸附衬垫213的高度,或调节未发生压力变化的吸附衬垫213的高度,可以消除这种相对的高度差。控制单元60根据多个压力传感器215测定的多个吸附衬垫213的压力(压力变化),控制衬垫高度调节器214,调节发生压力变化的吸附衬垫213的高度,或调节未发生压力变化的吸附衬垫213的高度。根据上述,可以消除相对于基板S的多个吸附衬垫213之间的高度差,从而基板S的整个面可以均匀地吸附在多个吸附衬垫213上。根据这种结构,基板S的整个面可以均匀地吸附在吸附衬垫213上,所以基板S在被抓取模块21稳定维持的状态下移送至第1检测单元30。第1检测单元30包括:向基板S的下面照射光的第1光源31,以及对基板S的下面进行拍摄的第1摄像机32。第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板表面检测装置,其中,包括:移送单元,用于移送基板;第1检测单元,具备用于检测所述基板的下面的多个第1摄像机,所述多个第1摄像机以相互不同的角度面向所述基板的下面的方式进行配置;第2检测单元,具备多个用于检测所述基板的边缘部的第2摄像机。

【技术特征摘要】
2017.12.29 KR 10-2017-01845141.一种基板表面检测装置,其中,包括:移送单元,用于移送基板;第1检测单元,具备用于检测所述基板的下面的多个第1摄像机,所述多个第1摄像机以相互不同的角度面向所...

【专利技术属性】
技术研发人员:崔汉铉
申请(专利权)人:塔工程有限公司
类型:新型
国别省市:韩国,KR

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