漏液传感器的固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种漏液传感器的固定装置，包括第一固定部件及第二固定部件；第一固定部件包括调节单元，漏液传感器与调节单元相接触，且通过调节单元固定漏液传感器；第二固定部件与机器相连接，且第一固定部件与第二固定部件相连接。本实用新型专利技术通过调节单元固定漏液传感器，从而可提高安装及拆卸漏液传感器的次数，提高固定装置的使用便捷性，延长固定装置的使用寿命；通过与机器相连接的第二固定部件实现第一固定部件与机器的连接，方便第一固定部件的安装及拆卸，降低对漏液传感器的拆装频率，从而提高漏液传感器及调节单元的使用寿命；可提高机器的利用率，提高产能，提高产品质量，避免资源的浪费。

Fixing device of leakage sensor

【技术实现步骤摘要】
漏液传感器的固定装置
本技术属于半导体设备领域，涉及一种漏液传感器的固定装置。
技术介绍
晶圆的制造工艺通常包括光刻、离子注入、刻蚀、热处理、气相沉积等诸多工序。其中，在晶圆的光刻工艺中，尤其在晶圆的涂胶、显影工艺中，需用到非常多的化学液体及水，该部分化学液体大多带有腐蚀性，如若发生泄漏现象，会对工作人员、机器以及产品产生危害，造成损失。因此为及时检测到液体泄漏现象，以降低危害及损失，在半导体机器中安装漏液传感器尤为重要。采用漏液传感器，可以实时侦测到机器是否有漏液，以保障工作人员、机器及产品的安全。现有的漏液传感器的安装方式通常采用金属弹片进行固定，如在ACT12系列的涂胶显影设备中，漏液传感器的安装方式通常是将漏液传感器通过三个金属片进行固定，以实现漏液传感器与机器相固定。但当机器需要保养、检查维护漏液传感器、清洁漏液传感器或更换漏液传感器时，均需要转移漏液传感器，而此时则需要将固定漏液传感器的金属片拨开，以取出漏液传感器。如此操作，会使金属片失去弹性，甚至造成金属片断裂，因此会导致漏液传感器的翘起，造成漏液传感器的误报警，使得机器处于停机的状态，降低了机器的利用率，造成产能的浪费，甚至由于机器的停机，影响产品质量，使得工作人员需对产品进行检修，造成人力的浪费、降低了产品的质量。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种漏液传感器的固定装置，用于解决现有技术中，漏液传感器通过金属片进行固定的方式所引起的上述一系列的资源的浪费及降低产品质量的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种漏液传感器的固定装置，所述固定装置包括：第一固定部件，所述第一固定部件包括调节单元，所述漏液传感器与所述调节单元相接触，且通过所述调节单元固定所述漏液传感器；第二固定部件，所述第二固定部件与机器相连接，且所述第一固定部件与所述第二固定部件相连接。可选地，所述调节单元包括与所述漏液传感器的侧面及上表面中的一种或组合相接触。可选地，所述调节单元包括调节式夹具，所述调节式夹具包括弹性夹具及卡扣夹具中的一种或组合。可选地，所述调节单元与所述第二固定部件相连接。可选地，所述第一固定部件还包括支撑架，所述支撑架与所述调节单元相连接。可选地，所述调节单元包括弹簧、螺栓及旋转式卡片中的一种或组合。可选地，所述调节单元的个数范围包括2个～10个。可选地，所述第一固定部件与所述第二固定部件的连接方式包括弹性卡扣连接、销连接、螺纹连接及锁扣连接中的一种或组合。可选地，所述固定装置还包括连接单元，所述连接单元位于所述第一固定部件与所述第二固定部件之间，且所述连接单元连接所述第一固定部件与所述第二固定部件。可选地，所述第二固定部件与所述机器的连接方式包括焊接、铆接、弹性卡扣连接、销连接、螺纹连接及锁扣连接中的一种或组合。如上所述，本技术的漏液传感器的固定装置，通过第一固定部件中的调节单元固定漏液传感器，从而可提高安装及拆卸漏液传感器的次数，提高固定装置的使用便捷性，延长固定装置的使用寿命；通过与机器相连接的第二固定部件实现第一固定部件与机器的连接，方便第一固定部件的安装及拆卸，降低对漏液传感器的拆装频率，从而提高漏液传感器及调节单元的使用寿命；可提高机器的利用率，提高产能，提高产品质量，避免资源的浪费。附图说明图1显示为实施例一中漏液传感器固定装置的结构示意图。图2a～图2b显示为实施例二中漏液传感器固定装置的结构示意图。元件标号说明100漏液传感器200第一固定部件201支撑架202螺栓2021硅胶垫2022螺母2023螺杆300第二固定部件400连接单元110漏液传感器210弹性夹具2101夹持件2102弹性件310第二固定部件111漏液传感器211卡扣夹具2111夹持件2112卡扣件311第二固定部件具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图1至图2b。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。实施例一如图1，本实施例提供一种漏液传感器100的固定装置，所述固定装置包括：第一固定部件200，所述第一固定部件200包括调节单元，所述漏液传感器100与所述调节单元相接触，且通过所述调节单元固定所述漏液传感器100；第二固定部件300，所述第二固定部件300与机器(未图示)相连接，且所述第一固定部件200与所述第二固定部件300相连接。本实施例中的所述漏液传感器100的固定装置，通过所述第一固定部件200中的所述调节单元固定所述漏液传感器100，从而可提高安装及拆卸所述漏液传感器100的次数，提高所述固定装置的使用便捷性，延长所述固定装置的使用寿命；通过与所述机器相连接的所述第二固定部件300实现所述第一固定部件200与所述机器的连接，方便所述第一固定部件200的安装及拆卸，降低对所述漏液传感器100的拆装频率，从而提高所述漏液传感器100及所述调节单元的使用寿命；可提高所述机器的利用率，提高产能，提高产品质量，避免资源的浪费。具体的，通过所述调节单元可固定及释放所述漏液传感器100，从而使得当所述漏液传感器100损坏或需要清洁时，可方便进行拆卸及安装。所述第一固定部件200与所述第二固定部件300相连接，可使得在对所述机器进行清洁时，不必拆卸所述漏液传感器100，而直接拆装所述第一固定部件200即可，从而可降低对所述漏液传感器100的拆卸及安装次数，降低所述漏液传感器100损坏的概率，延长所述漏液传感器100的使用寿命，同时降低对所述调节单元的操作次数，降低所述调节单元损坏的概率，降低成本。作为该实施例的进一步实施例，所述调节单元包括与所述漏液传感器100的侧面及上表面中的一种或组合相接触。具体的，所述漏液传感器100对液体的感应部件通常位于所述漏液传感器100的底部，因此所述调节单元可通过与所述漏液传感器100的侧面及上表面中的一种或组合相接触，以对所述漏液传感器100进行固定。如图1，本实施例中所述调节单元与所述漏液传感器100的侧面相接触以进行固定，但并不局限于此，也可将所述调节单元装于所述漏液传感器100的顶面或位于所述漏液传感器100的顶面与侧面，此处不作过分限制。作为该实施例的进一步实施例，所述第一固定部件200还可包括支撑架201，所述支撑架201与所述调节单元相连接。具体的，所述支撑架201可用以承载所述漏液传感器100，并用以连接所述调节单元。其中，由于所述漏液传感器100对液体的感应部件通常位于所述漏液传感器100的底部，因此所述支撑架201的底面需显漏所述漏液本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种漏液传感器的固定装置，其特征在于，所述固定装置包括：第一固定部件，所述第一固定部件包括调节单元，所述漏液传感器与所述调节单元相接触，且通过所述调节单元固定所述漏液传感器；第二固定部件，所述第二固定部件与机器相连接，且所述第一固定部件与所述第二固定部件相连接。

【技术特征摘要】
1.一种漏液传感器的固定装置，其特征在于，所述固定装置包括：第一固定部件，所述第一固定部件包括调节单元，所述漏液传感器与所述调节单元相接触，且通过所述调节单元固定所述漏液传感器；第二固定部件，所述第二固定部件与机器相连接，且所述第一固定部件与所述第二固定部件相连接。2.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于：所述调节单元包括与所述漏液传感器的侧面及上表面中的一种或组合相接触。3.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于：所述调节单元包括调节式夹具，所述调节式夹具包括弹性夹具及卡扣夹具中的一种或组合。4.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于：所述调节单元与所述第二固定部件相连接。5.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于：所述第一固定部件还包括支撑架，所述支撑架与所述调节...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘展望，颜廷彪，黄志凯，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32