一种测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种测量装置，其包括：基座、调节装置及测量器，其中，所述基座上设有用于支撑待测量物的支撑部，所述测量器通过所述调节装置安装在所述基座上，所述调节装置包括第一调节机构、第二调节机构及第三调节机构，所述第一调节机构用于带动所述测量器沿X轴方向移动，所述第二调节机构用于带动所述测量器沿Y轴方向移动，所述第三调节机构用于调节所述测量器在Z轴方向的高度，以通过所述测量器测量待测量物的尺寸。本实用新型专利技术实施例的测量装置，结构简单，操作方便，能够避免因测量人员的操作方式和熟练程度不同对测量结果造成干扰，测量的准确度较高，还能够避免因测量人员操作不慎对待测量物造成损伤。

A measuring device

【技术实现步骤摘要】
一种测量装置
本技术涉及测量仪器
，尤其涉及一种测量装置。
技术介绍
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。生产时，对于靶材的外径尺寸要求较高，但又无法采用例如激光测量仪等精确测量仪测量靶材的外径尺寸，所以只能采用电子公法千分尺等机械测量仪器。现有技术中，在检测靶材的外径尺寸时，由测量人员手持电子公法千分尺对靶材外径进行测量。但由于电子公法千分尺操作难度较高，不同测量人员的操作方式、熟练程度不同，导致测量数据有误差较大，准确度较低。另外，由于靶材的表面容易损坏，测量人员稍有不慎就会对靶材表面造成损伤，致使靶材出现质量缺陷。
技术实现思路
有鉴于现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种操作方便、测量准确度较高且不容易对待测量物造成损伤的测量装置。为实现上述目的，本技术提供了一种测量装置，其包括：基座、调节装置及测量器，其中，所述基座上设有用于支撑待测量物的支撑部，所述测量器通过所述调节装置安装在所述基座上，所述调节装置包括第一调节机构、第二调节机构及第三调节机构，所述第一调节机构用于带动所述测量器沿X轴方向移动，所述第二调节机构用于带动所述测量器沿Y轴方向移动，所述第三调节机构用于调节所述测量器在Z轴方向的高度，以通过所述测量器测量待测量物的尺寸。在一些实施例中，所述第一调节机构包括设置在所述基座上且沿X轴方向布置的第一导轨和可移动地连接在所述第一导轨上的第一滑块。在一些实施例中，所述第二调节机构包括设置在所述第一滑块上且沿Y轴方向布置的第二导轨和可移动地连接在所述第二导轨上第二滑块。在一些实施例中，所述第三调节机构包括设置在所述第二滑块上且沿Z轴方向布置的第三导轨和可移动地连接在所述第三导轨上的第三滑块，所述测量器与所述第三滑块连接。在一些实施例中，所述第一滑块上设有用于锁定其在所述第一导轨上位置的第一锁定机构；和/或所述第二滑块上设有用于锁定其在所述第二导轨上位置的第二锁定机构；和/或所述第三滑块上设有用于锁定其在所述第三导轨上位置的第三锁定机构。在一些实施例中，所述测量器为公法千分尺，所述公法千分尺的尺架与所述第三滑块连接，所述公法千分尺的测微螺柱沿Z轴方向布置且位于所述公法千分尺的测砧的下方。在一些实施例中，所述第一导轨包括至少一个沿X轴方向设置的滑杆，所述滑杆穿设所述第一滑块；和/或所述第二导轨为在所述第一滑块上沿Y轴方向开设的燕尾槽，所述第二滑块上具有梯形滑动部，所述梯形滑动部滑动连接在所述燕尾槽内；和/或所述第三导轨包括至少一个沿Z轴方向设置的滑动支架，所述第三滑块滑动连接在所述滑动支架上。在一些实施例中，所述第三调节机构包括调节臂，所述测量器连接在所述调节臂上，所述调节臂的一端可转动地连接在所述第二滑块上，以通过调整所述调节臂与Z轴方向的夹角调整所述测量器在Z轴方向上的高度。在一些实施例中，所述基座上具有相对设置的第一支架和第二支架，所述第一支架上设有用于卡接待测量物的第一卡接槽，所述第二支架上设有用于卡接待测量物的第二卡接槽，所述第一卡接槽和所述第二卡接槽形成所述支撑部；所述第一卡接槽和/或所述第二卡接槽上设有用于固定待测量物的紧固机构。在一些实施例中，所述测量器与所述调节机构可拆卸连接。与现有技术相比，本技术实施例测量装置，在测量时，将例如靶材等待测物放置在基座的支撑部上，通过第一调节机构、第二调节机构及第三调节机构分别调整测量器在X轴方向、Y轴方向及Z轴方向的位置，从而使测量器能够对准待测量物，能够最大程度的避免因测量人员的操作方式和熟练程度不同对测量结果造成干扰，测量的准确度较高，还能够避免因测量人员操作不慎对待测量物造成损伤。应当理解，前面的一般描述和以下详细描述都仅是示例性和说明性的，而不是用于限制本技术。本申请文件提供本技术中描述的技术的各种实现或示例的概述，并不是所公开技术的全部范围或所有特征的全面公开。附图说明在不一定按比例绘制的附图中，相同的附图标记可以在不同的视图中描述相似的部件。具有字母后缀或不同字母后缀的相同附图标记可以表示相似部件的不同实例。附图大体上通过举例而不是限制的方式示出各种实施例，并且与说明书以及权利要求书一起用于对所公开的实施例进行说明。在适当的时候，在所有附图中使用相同的附图标记指代同一或相似的部分。这样的实施例是例证性的，而并非旨在作为本装置或方法的穷尽或排他实施例。图1为本技术实施例涉及的测量装置的结构示意图。附图标记：1-基座；2-基板；3-第一支架；4-第二支架；5-第一卡接槽；6-第二卡接槽；7-第一导轨；8-第一滑块；9-第二导轨；10-第二滑块；11-第三导轨；12-第三滑块；13-测量器；14-待测量物。具体实施方式为了使得本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。除非另外定义，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。为了保持本技术实施例的以下说明清楚且简明，本技术省略了已知功能和已知部件的详细说明。图1为本技术实施例的测量装置的结构示意图，该测量装置包括：基座1、调节装置及测量器13，其中，基座1上设有用于支撑待测量物14的支撑部，测量器13通过调节装置安装在基座1上，调节装置包括第一调节机构、第二调节机构及第三调节机构，第一调节机构用于带动测量器13沿X轴方向移动，第二调节机构用于带动测量器13沿Y轴方向移动，第三调节机构用于调节测量器13在Z轴方向的高度，以通过测量器13测量待测量物14的尺寸。本技术实施例中X轴方向、Y轴方向及Z轴方向如图1所示，但可根据实际需要调整，如公众所知的，X轴方向、Y轴方向及Z轴方向分别代表三维结构中三个方向，只要互相垂直即可。采用上述结构的测量装置，在测量时，将例如靶材等待测物放置在基座1的支撑部上，通过第一调节机构、第二调节机构及第三调节机构分别调整测量器13在X轴方向、Y轴方向及Z轴方向的位置，从而使测量器13能够对准待测量物14，能够最大程度的避免因测量人员的操作方式和熟练程度不同对测量结果造成干扰，测量的准确度较高，还能够避免因测量人员操作不慎对待测量物14造成损伤。在一些实施例中，该基座1可包括基板2、第一支架3和第二支架4，第一支架3和第二支架4相本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测量装置，其特征在于，包括：基座、调节装置及测量器，其中，所述基座上设有用于支撑待测量物的支撑部，所述测量器通过所述调节装置安装在所述基座上，所述调节装置包括第一调节机构、第二调节机构及第三调节机构，所述第一调节机构用于带动所述测量器沿X轴方向移动，所述第二调节机构用于带动所述测量器沿Y轴方向移动，所述第三调节机构用于调节所述测量器在Z轴方向的高度，以通过所述测量器测量待测量物的尺寸。

【技术特征摘要】
1.一种测量装置，其特征在于，包括：基座、调节装置及测量器，其中，所述基座上设有用于支撑待测量物的支撑部，所述测量器通过所述调节装置安装在所述基座上，所述调节装置包括第一调节机构、第二调节机构及第三调节机构，所述第一调节机构用于带动所述测量器沿X轴方向移动，所述第二调节机构用于带动所述测量器沿Y轴方向移动，所述第三调节机构用于调节所述测量器在Z轴方向的高度，以通过所述测量器测量待测量物的尺寸。2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述第一调节机构包括设置在所述基座上且沿X轴方向布置的第一导轨和可移动地连接在所述第一导轨上的第一滑块。3.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述第二调节机构包括设置在所述第一滑块上且沿Y轴方向布置的第二导轨和可移动地连接在所述第二导轨上第二滑块。4.根据权利要求3所述的测量装置，其特征在于，所述第三调节机构包括设置在所述第二滑块上且沿Z轴方向布置的第三导轨和可移动地连接在所述第三导轨上的第三滑块，所述测量器与所述第三滑块连接。5.根据权利要求4所述的测量装置，其特征在于，所述第一滑块上设有用于锁定其在所述第一导轨上位置的第一锁定机构；和/或所述第二滑块上设有用于锁定其在所述第二导轨上位置的第二锁定机构；和/或所述第三滑块上设有用于锁定其在所述第三导轨上位置的第三锁定机...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁锦楠，黄龙江，纪晓榕，贺世军，余腊锋，
申请(专利权)人：米亚索乐装备集成福建有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35