一种快速装填的氮化硅真空炉制造技术

技术编号:22348904 阅读:37 留言:0更新日期:2019-10-19 17:57
本实用新型专利技术提供一种快速装填的氮化硅真空炉,其包括:水平放置的炉壳、设于所述炉壳内部的炉膛,以及设于所述炉膛内底部的承烧板;所述炉壳和所述炉膛均端部开口,所述承烧板上设置有分别与装炉小车底部的两组滑轮相匹配的两条滑轨。本实用新型专利技术中,装炉小车底部的滑轮与承烧板上的滑轨相配合,使得向炉中放置、取出匣钵的过程更加流畅与高效,而且操作简单,仅需一人就可完成出装炉作业。

A fast filling silicon nitride vacuum furnace

【技术实现步骤摘要】
一种快速装填的氮化硅真空炉
本技术涉及氮化硅粉体制备
,具体涉及一种快速装填的氮化硅真空炉。
技术介绍
由于科学技术的不断发展,科学家们一直在不断地寻找适用于苛刻条件下使用的理想新材料。在层出不穷的大量新材料队伍中,氮化硅陶瓷因具有高强度、高硬度、耐磨蚀、抗氧化和良好的抗热冲击及机械冲击性能,被材料科学界认为是结构陶瓷领域中综合性能优良,最有希望替代镍基合金在高科技、高温领域中获得广泛应用的一种新型材料,因此近年来颇受青睐和重视。目前,氮化硅粉体一般在氮化硅真空炉中烧结而成。具体地,将装有硅粉的多个匣钵放入氮化硅真空炉中,然后将炉体内抽真空,再向氮化硅真空炉中通入高纯氮气,在一定温度下烧结,从而制备出氮化硅粉体。然而,专利技术人发现,在向氮化硅真空炉中装入匣钵时,需要由人工依次将多个匣钵层层码放在炉膛内,在从氮化硅真空炉中取出匣钵时,仍需要由人工依次将层层码放的多个匣钵从炉膛中取出,操作比较繁琐,工作效率较低。
技术实现思路
为了至少部分解决现有技术中存在的技术问题而完成了本技术。解决本技术技术问题所采用的技术方案是:本技术提供一种快速装填的氮化硅真空炉,其包括:水平放置的炉壳、设于所述炉壳内部的炉膛,以及设于所述炉膛内底部的承烧板;所述炉壳和所述炉膛均端部开口,所述承烧板上设置有分别与装炉小车底部的两组滑轮相匹配的两条滑轨。可选地,所述承烧板包括底板,以及设置在所述底板上并沿所述底板的长度方向延伸的三个条状凸起,且所述三个条状凸起间隔设置以形成两条凹槽,所述两条滑轨分别设置在所述底板上的两条凹槽内。可选地,所述装炉小车还包括把手和车身,所述两组滑轮设置在所述车身底部,所述车身包括用于承载匣钵的两个并列设置的承载部,其中每个所述承载部均与一条凹槽相对应,两个所述承载部的自由端能够在所述把手的控制下向下倾斜并伸入至各自对应的凹槽内,从而将其上的匣钵卸载至所述承烧板上。可选地,所述承烧板由多块沿直线排列的子承烧板依次拼接而成,且各块所述子承烧板上的各个条状凸起依次首尾相接。可选地,所述子承烧板上的两个凹槽内各设有一个通孔。可选地,多个所述匣钵层层码放于所述装炉小车的两个承载部上,并居中放置。可选地,所述炉壳外设有与所述炉膛内底部等高的平台,所述平台与所述炉壳的开口端相接。可选地,所述匣钵采用分体式结构。可选地,所述匣钵包括板状的料盘,以及放置在所述料盘上且占据所述料盘四边的矩形框。可选地,所述氮化硅真空炉还包括设置在所述炉壳外并与所述炉膛连接的抽真空设备和氮气罐。有益效果:本技术中,由于在承烧板上设置了滑轨,则烧结前向氮化硅真空炉中装入匣钵时,只需将装有硅粉匣钵放在装炉小车上,然后沿承烧板上的滑轨将装炉小车推入炉膛内部并卸载匣钵即可;烧结后从氮化硅真空炉中取出匣钵时,只需使装炉小车抬起装有氮化硅粉体的匣钵,然后沿承烧板上的滑轨将装炉小车从炉膛内拉出即可。可见,装炉小车底部的滑轮与承烧板上的滑轨相配合,使得向炉中放置、取出匣钵的过程更加流畅与高效,而且操作简单,仅需一人就可完成出装炉作业。附图说明图1为本技术实施例提供的装炉小车未放入氮化硅真空炉的示意图;图2为本技术实施例提供的装炉小车已放入氮化硅真空炉的示意图;图3为本技术实施例提供的承烧板的俯视图;图4为本技术实施例提供的子承烧板的侧视图;图5为本技术实施例提供的子承烧板的俯视图。图中:1-炉壳;2-炉膛;3-承烧板;4-装炉小车;5-匣钵;6-滑轮;7-平台。具体实施方式为使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案,下面结合附图和实施例对本技术作进一步详细描述。如图1-2所示,本实施例提供一种快速装填的氮化硅真空炉,其包括:水平放置的炉壳1、设于炉壳内部的炉膛2,以及设于炉膛2内底部的承烧板3。炉壳1和炉膛2均端部开口,且炉壳1的开口端与封盖(图中未示出)活动连接。承烧板3上设置有分别与装炉小车4底部的两组滑轮6相匹配的两条滑轨(图中未示出)。本实施例中,由于在承烧板上设置了滑轨,则烧结前向氮化硅真空炉中装入匣钵时,只需将装有硅粉的匣钵放在装炉小车上,然后沿承烧板上的滑轨将装炉小车推入炉膛内部并卸载匣钵即可;烧结后从氮化硅真空炉中取出匣钵时,只需用装炉小车抬起装有氮化硅粉体的匣钵,然后沿承烧板上的滑轨将装炉小车从炉膛内拉出即可。可见,装炉小车底部的滑轮与承烧板上的滑轨相配合,使得向炉中放置、取出匣钵的过程更加流畅与高效,而且操作简单,仅需一人就可完成出装炉作业。如图3所示,承烧板3包括底板,以及设置在底板上并沿底板的长度方向延伸的三个条状凸起,且三个条状凸起间隔设置以形成两条凹槽,两条滑轨分别设置在底板上的两条凹槽内。相比于现有板状的承烧板,本实施例中带有三个条状凸起的承烧板一方面有利于放置于其上的匣钵内的粉体受热均匀,另一方面便于用装炉小车抬起放置于其上的匣钵。如图1所示,装炉小车4还包括把手和车身,两组滑轮6设置在车身底部,车身包括用于承载匣钵5的两个并列设置的承载部,其中每个承载部均与一条凹槽相对应,两个承载部的自由端能够在把手的控制下向下倾斜并伸入至各自对应的凹槽内,从而将其上的匣钵5卸载至承烧板3上。也即,匣钵5通过装炉小车4拉出和送入炉膛2内。本实施例中,装炉时,先将装有硅粉的匣钵放在装炉小车的两个承载部上,然后沿承烧板上的滑轨将装炉小车推入炉膛内部,将小车把手下压,以使得两个承载部的自由端向下倾斜并伸入至各自对应的凹槽内,则放置在两个承载部上的匣钵就会自动向下滑落至承烧板上,待匣钵与装炉小车脱离,再抬起小车把手(即把手复位),向后拉动小车以将其拉出炉外;出炉时,先将装炉小车沿承烧板上的滑轨推入炉膛内部,直至其靠近装有氮化硅粉体的匣钵,然后小车把手下压,以使得两个承载部的自由端向下倾斜并伸入至各自对应的凹槽内,同时继续向前推动装炉小车,以使得两个承载部的自由端分别伸入至匣钵底部与承烧板的三个条状凸起围成的两个空间区域内,再抬起小车把手,从而将匣钵装载至两个承载部上,向后拉动小车以将匣钵拉出炉外,从而实现了快速出装炉。如图3-5所示,承烧板3由多块沿直线排列的子承烧板依次拼接而成,且各块子承烧板上的各个条状凸起依次首尾相接。在实际应用时,承烧板一般由八块子承烧板拼接而成,采用拼接结构的承烧板易于制造,而且便于更换。如图3和图5所示,子承烧板上的两条凹槽内各设有一个通孔。本实施例中,在每块子承烧板上均设置两个通孔,以使得整个承烧板上均匀布置很多通孔,这些通孔的设置使得整个炉内气氛均一化,便于氮化硅粉体的烧结制备。如图1和图2所示,多个匣钵5层层码放于装炉小车4的两个承载部上,并居中放置。在实际应用时,为了提供烧结时所需的热量,一般在炉膛内部放置两排加热棒(如硅钼棒),承烧板位于这两排加热棒之间,而加热棒与承烧板的侧边之间的距离仅为2cm左右,为防止出装炉时装炉小车上的匣钵撞坏两侧的加热棒,最好将匣钵层层码放,并居中放置在装炉小车的两个承载部上。而且,在匣钵滑落至承烧板上之后,还可通过装炉小车的把手和两个承载部协同作用来调整匣钵在承烧板上的位置,以使其居中放置,以免匣钵与加热棒相碰撞。如图1和图2所示,炉壳1外设有与炉膛2内底部等高的平台7,且平台7与炉壳1的开口端相接。本实施例中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种快速装填的氮化硅真空炉,其特征在于,包括:水平放置的炉壳、设于所述炉壳内部的炉膛,以及设于所述炉膛内底部的承烧板;所述炉壳和所述炉膛均端部开口,所述承烧板上设置有分别与装炉小车底部的两组滑轮相匹配的两条滑轨;所述承烧板包括底板,以及设置在所述底板上并沿所述底板的长度方向延伸的三个条状凸起,且所述三个条状凸起间隔设置以形成两条凹槽,所述两条滑轨分别设置在所述底板上的两条凹槽内。

【技术特征摘要】
1.一种快速装填的氮化硅真空炉,其特征在于,包括:水平放置的炉壳、设于所述炉壳内部的炉膛,以及设于所述炉膛内底部的承烧板;所述炉壳和所述炉膛均端部开口,所述承烧板上设置有分别与装炉小车底部的两组滑轮相匹配的两条滑轨;所述承烧板包括底板,以及设置在所述底板上并沿所述底板的长度方向延伸的三个条状凸起,且所述三个条状凸起间隔设置以形成两条凹槽,所述两条滑轨分别设置在所述底板上的两条凹槽内。2.根据权利要求1所述的氮化硅真空炉,其特征在于,所述装炉小车还包括把手和车身,所述两组滑轮设置在所述车身底部,所述车身包括用于承载匣钵的两个并列设置的承载部,其中每个所述承载部均与一条凹槽相对应,两个所述承载部的自由端能够在所述把手的控制下向下倾斜并伸入至各自对应的凹槽内,从而将其上的匣钵卸载至所述承烧板上。3.根据权利要求1所述的氮化硅真空炉,其特征在于,所述承...

【专利技术属性】
技术研发人员:宗鑫黄彬张吉武潘小龙
申请(专利权)人:新疆晶硕新材料有限公司
类型:新型
国别省市:新疆,65

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