真空腔体密封用门阀及应用该门阀的真空腔体制造技术

本实用新型专利技术提供了一种真空腔体密封用门阀及应用该门阀的真空腔体，门阀包括门阀组件，及用于驱动门阀组件的驱动组件；门阀组件包括导轨，滑动设置在导轨上的推动板，以及通过连杆活动连接在推动板一侧的密封板，连杆的一端铰接在所述推动板上，另一端铰接在所述密封板上，所述驱动组件驱动所述推动板沿所述导轨移动，门阀组件还包括固定设置的有用于限制密封板最大行程的限位结构。所述门阀的可应用于真空腔体的密封，本实用新型专利技术的门阀结构新颖，应用于相邻真空腔时，缩短了两个真空腔的距离，避免使用过渡室，缩短了取用机械手的长度，节约了生产成本，提高了生产效率。

The valve for sealing the vacuum chamber and the vacuum chamber using the valve

【技术实现步骤摘要】
真空腔体密封用门阀及应用该门阀的真空腔体
本技术属于真空设备
，尤其涉及一种真空腔体密封用门阀。
技术介绍
有机发光显示屏，0LED，即有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode)，又称为有机电激光显示(OrganicElectroluminesenceDisplay，0ELD)。因为具备轻薄、省电等特性，被广泛应用。OLED基片在加工的过程中需要在真空腔体中有效的传送。目前腔体之间连接普遍通过独立的插板阀结构来连接两个不同的真空腔体，插板阀安装的方式对安装空间、安装尺寸及配套的真空腔体等尺寸都有着较高的要求，从而实现成本较高。
技术实现思路
为了解决现有技术的不足，本技术提供了一种真空腔体密封用门阀及其应用。本技术的目的通过以下技术方案来实现：真空腔体密封用门阀，包括：门阀组件，及用于驱动所述门阀组件的驱动组件；所述门阀组件包括固定设置的导轨，滑动设置在所述导轨上的推动板，以及通过连杆活动连接在所述推动板一侧的密封板，所述连杆的一端铰接在所述推动板上，另一端铰接在所述密封板上，所述驱动组件驱动所述推动板沿所述导轨移动，所述门阀组件还包括固定设置的有用于限制密封板最大行程的限位结构。优选地，所述限位结构包括设置在密封板下方的第一限位块和用于限制推动板最大行程位置的第二限位块，所述推动板及密封板在最大行程位置时，所述连杆与所述导轨呈垂直状态。优选地，所述密封板及所述推动板相对的一侧皆设置有连接块，连杆的两端分别铰接在相应连接块上，第二限位块对应设置在两个连接块下方。优选地，所述第一限位块上设置有与密封板配合的球头柱塞。优选地，所述驱动组件包括气缸，所述气缸的伸缩杆的一端与推动板活动连接。优选地，所述推动板的两侧设置有用于与导轨配合的滑块。优选地，所述密封板板面凹设有环形凹槽，所述凹槽内嵌设有密封垫圈。一种带有真空腔体密封用门阀的真空腔体，包括以上任一项所述的一种带有真空腔体密封用门阀，同时，还包括：一侧具有开口的真空室，所述门阀组件设置在真空室内；所述密封板与所述开口相匹配，所述导轨固定设置在真空室内壁上，所述限位结构位于所述开口下方，使得密封板在导轨上的最大行程位置与所述开口相对应。本技术的有益效果体现在：门阀结构新颖，应用于相邻真空腔时，缩短了两个真空腔的距离，避免使用过渡室，缩短了取用机械手的长度，节约了生产成本，提高了生产效率。附图说明图1：本技术推动板一侧的立体结构示意图。图2：本技术密封板一侧的立体结构示意图。图3：本技术推动板和密封板位于初始位置时的结构关系示意图。图4：本技术密封板到达最大行程位置时的结构关系示意图。图5：本技术密封板密封状态时与推动板的结构示意图。图6：本技术密封板与推动板的放大结构示意图。图7：本技术应用于真空腔时的结构示意图。图8：本技术应用于相邻真空腔时的结构示意图。具体实施方式以下结合实施例具体阐述本技术的技术方案，本技术揭示了一种带有真空腔体密封用门阀，包括：门阀组件，及用于驱动所述门阀组件的驱动组件。所述门阀组件包括固定设置的导轨2，滑动设置在所述导轨2上的推动板4，以及通过连杆34活动连接在所述推动板4一侧的密封板3，所述密封板3板面凹设有环形凹槽，所述凹槽内嵌设有密封垫圈31。所述导轨2上设置有固定板21，所述驱动组件设置于所述固定板21上。所述密封板3与所述推动板4分别设置于导轨2的两侧，所述推动板4通过左右两侧的滑块与导轨2配合。所述密封板3与推动板相对的一侧设置有密封板连接块32，所述推动板4与密封板相对的一侧设置有推动板连接块41，所述密封板连接块32与所述推动板连接块41相对设置。所述连杆34的一端铰接在所述密封板连接块32上，另一端铰接在所述推动板连接块41上。所述驱动组件包括气缸1，所述气缸1的伸缩杆11的一端与推动板4活动连接。所述驱动组件驱动所述推动板4沿所述导轨2移动。所述推动板4上设置有定位板14，所述定位板14上开设有凸形定位孔，所述伸缩杆11的底部可活动的穿设于所述定位孔内。所述门阀组件还包括固定设置的有用于限制密封板3最大行程的限位结构。所述限位结构包括对应设置在密封板3下方的第一限位块5和对应设置在密封板连接块32及推动板连接块41下方的第二限位块6，所述第一限位块5上设置有与密封板3配合的、以减小密封板3水平运动时的摩擦球头柱塞51。所述第二限位块6用于限制推动板4最大行程位置，当所述推动板4及密封板3在最大行程位置时，所述连杆34与所述导轨2呈垂直状态。可选地，所述第一限位块5的一端延伸至所述推动板4下方，在限制密封板3最大行程的同时，能够限制推动板3的最大行程。以下简述下本技术的运动过程：需要密封时，气缸1工作，所述气缸的伸缩杆11驱动推动板4向伸展方向运动，当密封板3下端到达第一限位块5位置时，密封板3停止垂直方向的运动，此时，驱动组件继续工作，驱动推动板4下行，使得连杆推动所述密封板3将沿第一限位块5做水平向运动，直至密封板3达到所需密封位置将密封垫圈31压紧，此时，推动板4的连接块到达第二限位块6位置，连杆与导轨呈垂直状态。本技术还揭示了一种带有真空腔体密封用门阀的真空腔体，包括以上所述的一种密封门阀机构，同时，还包括：一侧具有开口的真空室，所述门阀组件设置在真空室内；所述密封板3与所述开口相匹配，所述导轨2固定设置在真空室内壁上，所述限位结构位于所述开口下方，使得密封板在导轨上的最大行程位置与所述开口相对应。结合图7所示，所述真空室7与工作室8相对的侧壁上对应设置有相互连通的开口，所述真空室7上的开口与工作室8的开口对应设置，所述真空室7与工作室8对应所述开口设置有密封圈，所述真空室7与工作室8通过固定件相邻固定设置，并通过密封圈密封贴合，所述门阀组件设置于真空室7内，所述驱动组件设置在真空室7外，所述伸缩杆11上套设有波纹管密封件12，所述伸缩杆11通过所述波纹管密封件12穿过真空室与所述门阀组件连；所述驱动组件驱动密封板3对真空室7内的开口进行密封，使得真空室7与工作室8之间保持密封。传统的真空插板阀连接装置，连接两个真空腔体时，往往需要额外过渡腔室，真空插板阀设置在过渡腔室中。这种连接方式体积较大，所需部件的数量多，结构复杂，增加了额外的转接腔体，增加了真空系统的体积，延长了从真空腔体到另一真空腔体的距离。在真空蒸镀作业中，将物体从一个真空腔转移至另一个真空腔需要利用机械手完成，额外增加的距离使得机械手的长度必须增加，提高了生产成本；本技术中，将所述真空腔体密封用门阀安装在真空室内，无需额外的过渡腔室，缩短了从真空腔体到另一真空腔体的距离，从而缩短了机械手的长度，节约了生产成本，提高了生产效率。可选地，如图8所示，所述真空室7及工作室8内分别对应所述开口均设置有所述真空腔体密封用门阀，两个门阀组件分别对开口做相应的密封，达到更好的密封效果。当然本技术尚有多种具体的实施方式，在此就不一一列举。凡采用等同替换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本技术要求保护的范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.真空腔体密封用门阀，其特征在于，包括：门阀组件，及用于驱动所述门阀组件的驱动组件；所述门阀组件包括固定设置的导轨，滑动设置在所述导轨上的推动板，以及通过连杆活动连接在所述推动板一侧的密封板，所述连杆的一端铰接在所述推动板上，另一端铰接在所述密封板上，所述驱动组件驱动所述推动板沿所述导轨移动，所述门阀组件还包括固定设置的用于限制密封板最大行程的限位结构。

【技术特征摘要】
1.真空腔体密封用门阀，其特征在于，包括：门阀组件，及用于驱动所述门阀组件的驱动组件；所述门阀组件包括固定设置的导轨，滑动设置在所述导轨上的推动板，以及通过连杆活动连接在所述推动板一侧的密封板，所述连杆的一端铰接在所述推动板上，另一端铰接在所述密封板上，所述驱动组件驱动所述推动板沿所述导轨移动，所述门阀组件还包括固定设置的用于限制密封板最大行程的限位结构。2.如权利要求1所述的真空腔体密封用门阀，其特征在于，所述限位结构包括设置在密封板下方的第一限位块和用于限制推动板最大行程位置的第二限位块，所述推动板及密封板在最大行程位置时，所述连杆与所述导轨呈垂直状态。3.如权利要求2所述的真空腔体密封用门阀，其特征在于，所述密封板及所述推动板相对的一侧皆设置有连接块，连杆的两端分别铰接在相应连接块上，第二限位块对应设置在两个连接块下...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐飞，张敬娣，廖良生，高永喜，黄龙根，
申请(专利权)人：苏州方昇光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32