一种太阳晶硅生长炉用行星减速机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种减速机，尤其涉及一种太阳晶硅生长炉用行星减速机，包括从后向前依次连接的输入法兰、输入连接盖、机座和输出轴盖，机座内设有联轴器和输出轴，联轴器的侧边和输入连接盖之间设有输入轴承，联轴器的后端两侧设有螺孔，联轴器的前端连接有第一太阳轮，第一太阳轮外齿与设于机座内壁上的齿圈之间啮合有第一行星轮，其前侧设有中间行星架，第一行星轮与中间行星架之间通过第一轴销连接，中间行星架前侧连接有第二太阳轮，第二太阳轮和齿圈之间啮合有第二行星轮，第二行星轮与输出轴之间通过第二轴销连接，输出轴与输出轴盖之间设有输出轴承，本实用新型专利技术的行星减速机可靠性高，寿命较长，且运动准确，适用于太阳晶硅生长炉。

A planetary reducer for solar crystal silicon growth furnace

【技术实现步骤摘要】
一种太阳晶硅生长炉用行星减速机
本技术涉及一种减速机，尤其涉及一种太阳晶硅生长炉用行星减速机。
技术介绍
近代工业技术日新月异的迅猛发展，机械传动技术也推陈出新，以适应现代社会的需求，特别是对其技术经济性能要求越来越高。常用的圆柱齿轮传动一级传动比小、体积大、结构笨重普通蜗杆传动在大功率传递时效率较低，而行星传动由定轴传动改为动轴传动，采用功率分流并合理应用内啮合，以及采用合理的均载装置，使其具有许多显著的优点，主要体现在重量轻、体积小、结构紧凑、传动比范围大、承载能力高、效率高，太阳能是一种清洁环保的可再生资源，太阳能利用由几乎全部以半导体物料（例如硅）制成的固体光伏电池组成，太阳能产业的迅猛发展需要更多的硅料及生产设备来支撑，减速机是晶硅生长炉的重要驱动及控制部件，然而，目前的行星减速机可靠性不够，寿命较短，且运动不够准确。例如，一种在中国专利文献上公开的“一种轴向定位立式行星减速机”，其公告号CN101761643A，其公开了一种轴向定位立式行星减速机，包括机体、输入轴，输入端盖、球轴承、输入轴套、挡垫和挡垫、调心轴承、氟板垫、调整垫、和风扇组成，其中，输入轴套和调心轴承设在输入轴的输入端和输出端中间，且输入轴的传动齿轮与安装链轮的位置在输入轴的两端；输入轴下端轴承两侧的球轴承下端还安装有一对碟簧，所述碟簧为输入轴的辅助定位装置，安装在输入轴下端轴承两侧的球轴承下端，然而该专利技术行星减速机可靠性不够，寿命较短，且运动不够准确。
技术实现思路
本技术是为了克服目前行星减速机可靠性不够，寿命较短，且运动不够准确，无法较好得运用于晶硅生长炉等问题，做出了针对性的修改，提出了一种太阳晶硅生长炉用行星减速机。为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种太阳晶硅生长炉用行星减速机，包括从后向前依次连接的输入法兰、输入连接盖、机座和输出轴盖，所述机座内设有联轴器和输出轴，所述联轴器的侧边和输入连接盖之间设有输入轴承，所述输入法兰前端内侧壁上设有凸出的定位支口，所述定位支口与输入连接盖的内侧壁抵接，且定位支口的前端与设于输入连接盖前端内侧壁上的限位凸台之间形成安装区，输入轴承嵌设于安装区内，所述联轴器的后端两侧设有螺孔，所述联轴器的前端连接有第一太阳轮，所述第一太阳轮外齿与设于机座内壁上的齿圈之间啮合有若干第一行星轮，第一行星轮前侧设有中间行星架，第一行星轮与中间行星架之间通过第一轴销连接，所述中间行星架前侧连接有第二太阳轮，第二太阳轮和齿圈之间啮合有第二行星轮，第二行星轮与输出轴之间通过第二轴销连接，输出轴与输出轴盖之间设有输出轴承，且输出轴相对输出轴盖向外凸出。输入法兰、输入连接盖、机座和输出轴盖从后向前依次连接，组成了整个行星减速机的外壳，后端在输入法兰和机座之间设置输入连接盖，使得更换外壳组件时更加方便，显著提高行星减速机的通用性，后端设有输出轴盖，与工作机器连接时便于更换，更进一步提高其通用性。联轴器的后端两侧设有螺孔，使得输入机构能够通过双螺钉无间隙锁紧联轴器，提高输入机构连接的可靠性；联轴器的侧边和输入连接盖之间设有输入轴承，后端输出轴与输出轴盖之间设有输出轴承，使得行星减速机在运行时安全可靠，增加其寿命；输入法兰前端内侧壁上设有凸出的定位支口，一方面，定位支口与限位凸台之间的安装区用于嵌设输出轴承，输出轴承的外圆与定位支口外侧边处于同一平面，具有较高的同心度，提高其运动准确性，另一方面，定位支口与输入连接盖的内侧壁抵接，增加输入法兰和输入连接盖连接稳定性。工作时，减速机后端连接电机，电机轴与联轴器键接带动第一太阳轮自转和第一行星轮公转，第一行星轮通过第一轴销带动中间行星架，中间行星架带动第二太阳轮和第二行星轮转动后，第二行星轮通过第二轴销带动输出轴转动从而完成动力输出，本技术采用了两极减速，减速比范围大，并且，第二行星轮通过第二轴销与输出轴直接连接，输出轴即作为输出轴，同时也是行星架，减小了行星减速机的轴向尺寸。作为优选，所述输出轴承包括前输出轴承和后输出轴承，所述输出轴位于前输出轴承前侧的表面设有环槽，所述环槽凸出设有轴用弹性挡圈，所述轴用弹性挡圈的凸出部分与前输出轴承的前端抵接，所述后输出轴承的后端与输出轴上的凸部抵接，所述前输出轴承和后输出轴承之间通过设于输出轴盖上的隔离凸环分隔。输出端采用了双轴承设计，增加了输出轴的稳定性，设于环槽内的轴用弹性挡圈可以对前输出轴承起到限位的作用，配合输出轴上的凸部和隔离凸环，可以将前输出轴承和后输出轴承牢牢固定，防止行星减速机工作时输出轴承移位，增加行星减速机可靠性。作为优选，所述输入法兰、输入连接盖和机座之间采用第一高强螺钉横向连接，所述连接盖与机座的接缝处设有O型圈。作为优选，所述机座和输出轴盖之间采用第二高强螺钉横向连接，所述机座和输出轴盖的接缝处设有O型圈。采用第一高强螺钉和第二高强螺钉将行星减速机连接成一个有机整体，使得整机的强度和刚度大大增加，接缝处设置的O型圈也能够大大提高整机的密封性。作为优选，所述联轴器位于输入轴承后端的表面设有定位凸环，且输入轴承的后端与定位凸环抵接，所述输入轴承的前端与凸出嵌于联轴器上的轴用弹性挡圈抵接。通过在联轴器上设置定位凸环和轴用弹性挡圈，进一步增加了输入轴承的稳定性，从而增加了行星减速机的稳定性和运转准确性。作为优选，所述第一行星轮与第二行星轮的个数均为三个。因此，本技术具有如下有益效果：本技术的行星减速机可靠性高，寿命较长，且运动准确，适用于太阳晶硅生长炉。附图说明图1是本技术结构示意图。图中：输入法兰1，输入连接盖2，机座3，输出轴盖4，联轴器5，输出轴51，输入轴承6，定位支口7，限位凸台8，第一太阳轮9，齿圈10，第一行星轮11，中间行星架12，第二太阳轮13，第二行星轮14，第一轴销151，第二轴销152，输出轴承16，前输出轴承161，后输出轴承162，螺孔17，环槽18，轴用弹性挡圈19，隔离凸环20，第一高强螺钉21，第二高强螺钉22，定位凸环23，O型圈24。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本技术做进一步的描述。实施例：如图1所示，一种太阳晶硅生长炉用行星减速机，包括从后向前依次连接的输入法兰1、输入连接盖2、机座3和输出轴盖4，输入法兰1、输入连接盖2和机座3之间采用第一高强螺钉21横向连接，机座3和输出轴盖4之间采用第二高强螺钉22横向连接，所述连接盖2与机座3的接缝处设有O型圈24，机座3和输出轴盖4的接缝处设有O型圈24。所述机座3内设有联轴器5和输出轴51，所述联轴器5的侧边和输入连接盖2之间设有输入轴承6，所述输入法兰1前端内侧壁上设有凸出的定位支口7，所述定位支口7与输入连接盖2的内侧壁抵接，且定位支口7的前端与设于输入连接盖2前端内侧壁上的限位凸台8之间形成安装区，输入轴承6外圆嵌设于安装区内，且联轴器5位于输入轴承6后端的表面设有定位凸环23，输入轴承6的后端与定位凸环23抵接，输入轴承6的前端与凸出嵌于联轴器5上的轴用弹性挡圈19抵接，进一步增加了输入轴承6的稳定性；所述联轴器5的后端两侧设有螺孔17，使得输入机构能够通过双螺钉无间隙锁紧联轴器5。联轴器5的前端连接有第一太阳轮9，所述第一太阳轮9外齿与设于机座3内壁上的齿本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳晶硅生长炉用行星减速机，其特征在于，包括从后向前依次连接的输入法兰（1）、输入连接盖（2）、机座（3）和输出轴盖（4），所述机座（3）内设有联轴器（5）和输出轴（51），所述联轴器（5）的侧边和输入连接盖（2）之间设有输入轴承（6），所述输入法兰（1）前端内侧壁上设有凸出的定位支口（7），所述定位支口（7）与输入连接盖（2）的内侧壁抵接，且定位支口（7）的前端与设于输入连接盖（2）前端内侧壁上的限位凸台（8）之间形成安装区，输入轴承（6）嵌设于安装区内，所述联轴器（5）的后端两侧设有螺孔（17），所述联轴器（5）的前端连接有第一太阳轮（9），所述第一太阳轮（9）外齿与设于机座（3）内壁上的齿圈（10）之间啮合有若干第一行星轮（11），第一行星轮（11）前侧设有中间行星架（12），第一行星轮（11）与中间行星架（12）之间通过第一轴销（151）连接，所述中间行星架（12）前侧连接有第二太阳轮（13），第二太阳轮（13）和齿圈（10）之间啮合有第二行星轮（14），第二行星轮（14）与输出轴（51）之间通过第二轴销（152）连接，输出轴（51）与输出轴盖（4）之间设有输出轴承（16），且输出轴（51）相对输出轴盖（4）向外凸出。...

【技术特征摘要】
1.一种太阳晶硅生长炉用行星减速机，其特征在于，包括从后向前依次连接的输入法兰（1）、输入连接盖（2）、机座（3）和输出轴盖（4），所述机座（3）内设有联轴器（5）和输出轴（51），所述联轴器（5）的侧边和输入连接盖（2）之间设有输入轴承（6），所述输入法兰（1）前端内侧壁上设有凸出的定位支口（7），所述定位支口（7）与输入连接盖（2）的内侧壁抵接，且定位支口（7）的前端与设于输入连接盖（2）前端内侧壁上的限位凸台（8）之间形成安装区，输入轴承（6）嵌设于安装区内，所述联轴器（5）的后端两侧设有螺孔（17），所述联轴器（5）的前端连接有第一太阳轮（9），所述第一太阳轮（9）外齿与设于机座（3）内壁上的齿圈（10）之间啮合有若干第一行星轮（11），第一行星轮（11）前侧设有中间行星架（12），第一行星轮（11）与中间行星架（12）之间通过第一轴销（151）连接，所述中间行星架（12）前侧连接有第二太阳轮（13），第二太阳轮（13）和齿圈（10）之间啮合有第二行星轮（14），第二行星轮（14）与输出轴（51）之间通过第二轴销（152）连接，输出轴（51）与输出轴盖（4）之间设有输出轴承（16），且输出轴（51）相对输出轴盖（4）向外凸出。2.根据权利要求1所述的一种太阳晶硅生长炉用行星减速机，其特征在于，所述输出轴承（16）包括前输出轴承（161...

【专利技术属性】
技术研发人员：萧永民，梁爽，
申请(专利权)人：杭州行星传动设备有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33