一种双层蒸镀容器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种双层蒸镀容器，其特征在于：为一圆桶形双层坩埚，所述双层坩埚的内坩埚壁比外坩埚壁低或等高，两壁之间有间隙，外坩埚壁的上部开口往外延展出一圈外檐。本实用新型专利技术采用双层结构，减缓了内坩埚内被蒸镀材料受热的速度，缓和蒸镀时材料受热不均匀的问题；在内坩埚壁与外坩埚壁间留出缝隙，使得Al在沿壁爬升后溢出内坩埚时，会进入两层坩埚间的缓冲缝隙内，而不会流至外坩埚壁外与加热丝或电极接触，避免短路或容器炸裂的问题。

A double layer evaporation vessel

【技术实现步骤摘要】
一种双层蒸镀容器
本技术涉及有机电子发光器件制备器具领域，特别是涉及一种有机或金属材料蒸镀用容器。
技术介绍
蒸镀是指在真空环境中，通过加热材料，使之气化在基板上沉积成膜的方式，又可称之为真空蒸镀。真空蒸镀具有非常多的优点，如，可以在金属、半导体、玻璃等硬基板或塑料、纸张、织物等软基板上成膜；可控制不同的沉积速率、沉积角度，形成不同显微结构和结晶形态的薄膜；可精确的在分子层级上控制膜层厚度；膜层纯度很高；因此，在OLED器件领域中，目前真空蒸镀作为主流的镀膜手段，广泛的被各大厂商使用。蒸镀有机或金属材料使用的容器为坩埚，通常为单层，上方开口，下方有底的圆柱桶形，然而，现有的坩埚在蒸镀时，有些材料含有金属铝，由于Al的特殊性质，往往容易沿容器内壁爬升并溢至外部，或发生容器炸裂的现象，对蒸发源造成污染和破坏，同样的，部分有机材料也容易发生喷料或炸料的现象，难以保持蒸镀时沉积速率的稳定性。
技术实现思路
针对上述领域中的缺陷，本技术提供一种双层蒸镀容器，将该容器用于有机或金属材料蒸镀，获得了很好的蒸镀稳定性，并能有效防止材料发生喷溅或容器炸裂。双层蒸镀容器，为一圆桶形双层坩埚，其特征在于：所述双层坩埚的内坩埚壁比外坩埚壁低或等高，两壁之间有间隙，外坩埚壁的上部开口往外延展出一圈外檐。所述外檐与外坩埚壁之间圆滑过渡后往外水平延展。所述两壁之间的间隙为2-6mm，外檐宽度为4-8mm。优选：两壁之间的间隙为2-4mm，外檐宽度为6-8mm，内坩埚壁和外坩埚壁的壁厚为1-2mm。特别优选：两壁之间的间隙为2mm，外檐宽度为6mm，内坩埚壁和外坩埚壁的壁厚为1mm。所述双层坩埚高度为12-16mm，内坩埚壁内直径为12-16mm，外坩埚壁内直径为18-22mm。所述双层坩埚高度为15mm，内坩埚内直径为12mm，外坩埚壁内直径为18mm。所述双层坩埚材质为石英、BN、石墨、Si3N4、ZrO2或SiC。本技术采用双层结构，减缓内坩埚壁的受热，从而减缓内坩埚内被蒸镀材料受热的速度，缓和蒸镀时材料受热不均匀的问题；在内坩埚壁与外坩埚壁间留出缝隙，使得Al在沿壁爬升后溢出内坩埚时，会进入两层坩埚间的缓冲缝隙内，外檐也会作为进一步的缓冲层，不会流至外坩埚壁外与加热丝或电极接触，避免短路或容器炸裂的问题。附图说明图1本技术俯视图，图2图1中A-A剖面图。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明。如图1、2所示，本技术双层蒸镀容器，为一圆桶形双层坩埚，所述双层坩埚的内坩埚壁1与外坩埚壁2之间有间隙，外坩埚壁2的上部开口圆滑过渡后往外延展出一圈外檐3。内坩埚壁1与外坩埚壁2等高15mm，且两壁之间间距为2mm，壁厚为1mm，内坩埚壁1内直径为12mm，外坩埚壁2内直径为18mm，外檐3宽度为6mm。所述双层坩埚材质为石英、BN、石墨、Si3N4、ZrO2或SiC。本技术采用双层结构，减缓了内坩埚内被蒸镀材料受热的速度，缓和蒸镀时材料受热不均匀的问题；在内坩埚壁与外坩埚壁间留出缝隙，使得Al在沿壁爬升后溢出内坩埚时，会进入两层坩埚间的缓冲缝隙内，而不会流至外坩埚壁外与加热丝或电极接触，外檐也会作为进一步的缓冲层，避免短路或容器炸裂的问题。双层坩埚制备方法：1、制备石英砂泥浆：内坩埚和外坩埚由以下原料按其重量份数均匀混合形成配合料：石英砂80-90份，氟硅酸钠0.1-2.0份，碳酸钙0.5-3.5份，聚乙烯醇0.1-0.5份，高岭土1-4份，硅酸钠0.5-1份，将配合料加入球磨机中，按照40ml去离子水/100g配合料的比例，向球磨机中加入去离子水；再放入与配合料等重量的球石球磨24～36小时；最后，将料浆从球磨机中倒出，并经过200目标准筛细分，形成坩埚用的石英砂泥浆；2、成型两种不同尺寸型号的模具：按照工艺要求，将已烘干的两种不同尺寸型号石膏模具内表面修理平滑，并用湿海绵对内表面进行一次刷洗；将已混合均匀的质量分数为60％的300目碳化硅粉和40％的步骤1中的去离子水混合料浆均匀喷涂于石膏模具内壁，喷涂厚度为0.5-1mm；将石膏模具自然晾干既得两种不同型号石英坩埚成型用模具，作为内坩埚的模具为无底圆筒形，作为外坩埚的模具为有底圆桶形，上开口处有外檐；3、注浆成型及修坯：将石英砂泥浆缓慢倒入已制备好的两种不同尺寸型号石膏模具中，并不断震动石膏模具，待石膏内壁吸附的泥浆厚度为5-12mm时，迅速将石膏模具中多余的石英砂泥浆倒出；当石膏模具中的石英砂泥浆与石膏内壁脱离时，迅速进行脱模，并将脱模的坯体在空气中放置24h；然后清理掉坯体表面的碳化硅粉，并对坯体中的缺陷进行修补后既得两种不同尺寸型号的外坩埚和内坩埚坯体；4、两种不同尺寸型号石英坩埚坯体烧制：将两种不同尺寸型号石英坩埚坯体分两次放入带盖的Al2O3匣钵中；将匣钵推入隧道炉中后，按照以下温度制度烧成：首先，以升温速度为3-5℃/min，自室温升温至150℃，并保温240-480min；然后，以升温速度为5-8℃/min，自150℃升温至550℃，并保温30min；其次，以升温速度为1-3℃/min，自550℃升温至850℃，并保温30min；再次，以升温速度为3-4℃/min，自850℃升温至1280℃，保温120min后，关掉电源，待炉温降至室温时，取出匣钵既得圆形石英坩埚，通过两次坯体烧制，既得两种不同尺寸型号的内坩埚和外坩埚；5、组合：内坩埚安放在外坩埚内，内坩埚与外坩埚衔接烧制成一体，形成双层石英坩埚。6、本坩埚应用在真空腔室中，材料装填于内坩埚内，进行有机材料的真空蒸镀时，蒸发速率在连续15min内保持稳定在内浮动，不发生喷料或炸料现象。实验例(I)热解BN材质的制作方式(BN是什么呀，你写名材料名称)1、获得热解BN基体：将1:3比例的氨气和气态卤化硼注入已加热的反应炉，在1400-2300℃温度范围内进行热解沉积，在基体上，获得壁厚为0.05-1mm的热解BN基体，基体可选为BN、石墨、Si3N4、ZrO2、SiC；2、处理热解BN基体：采用车削、磨削等加工方式得到所需要的尺寸外形；3、机械抛光：对基体表面进行机械抛光处理处理，得到所需要的尺寸外形；4、化学抛光：对基体表面进行化学抛光处理，得到所需要的尺寸外形；5、生长热解BN基体：将1:3比例的氨气和气态卤化硼注入已加热的反应炉，在1400-2300℃温度范围内进行热解沉积，在处理后的BN基体上，获得壁厚为0.3-5mm的热解BN基体。6、本坩埚应用在真空腔室中，材料装填于内坩埚内，进行Al或有机材料的真空蒸镀时，蒸发速率在连续15min内保持稳定在内浮动，不发生喷料或炸料现象，亦没有发生Al爬升溢出至外坩埚外壁，与加热丝或电极接触而导致的短路或容器炸裂现象。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.双层蒸镀容器，其特征在于：为一圆桶形双层坩埚，所述双层坩埚的内坩埚壁比外坩埚壁低或等高，两壁之间有间隙，外坩埚壁的上部开口往外延展出一圈外檐。

【技术特征摘要】
1.双层蒸镀容器，其特征在于：为一圆桶形双层坩埚，所述双层坩埚的内坩埚壁比外坩埚壁低或等高，两壁之间有间隙，外坩埚壁的上部开口往外延展出一圈外檐。2.根据权利要求1所述的双层蒸镀容器，其特征在于：所述外檐与外坩埚壁之间圆滑过渡后往外水平延展。3.根据权利要求2所述的双层蒸镀容器，其特征在于：所述两壁之间的间隙为2-6mm，外檐宽度为4-8mm。4.根据权利要求1所述的双层蒸镀容器，其特征在于：所述两壁之间的间隙为2-4mm，外檐宽度为6-8mm，内坩埚壁和外坩埚壁的壁厚为1-2mm。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：王颖，戴雷，蔡丽菲，
申请(专利权)人：广东阿格蕾雅光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44