一种方便调节载物板的硅片修复机制造技术

技术编号:22341392 阅读:76 留言:0更新日期:2019-10-19 15:21
本实用新型专利技术公开了一种方便调节载物板的硅片修复机,包括底板和活动板。本实用新型专利技术通过设置有调节装置,通过第二电机带动螺纹杆转动,使得活动块在凹槽内可以左右运动,活动块带动连接板运动使得横轴在横板里左右运动,实现载物板的左右运动功能;通过设置有液压缸,通过液压缸推动活动板运动,可以使得竖板在竖轴上运动,实现载物板的前后运动的功能;通过设置有第一电机,若需修复圆形的硅片,第二电机带动螺纹杆转动,使得连接板中心与主轴之间的水平距离等于圆形硅片的半径,通过第一电机带动固定板转动,使得载物板可以转动,完成对圆形硅片的修复。

A silicon wafer repairing machine with convenient adjustment of carrier plate

【技术实现步骤摘要】
一种方便调节载物板的硅片修复机
本技术涉及硅片修复机,尤其涉及一种方便调节载物板的硅片修复机。
技术介绍
硅片修复机是一种对损坏的硅片进行修复的设备。现有技术的硅片修复机在使用时是通过修复机的刀片对损坏的硅片进行操作修复,因此对于硅片修复机的物料载物板的灵活度有很高的要求。现有技术的硅片修复机只能通过电机对一个方向进行移动,因此需要不停的更换硅片的位置进行操作,极大的影响到修复的效率,不利于生产的进行,这是现有技术的一大不足;还有就是,现有的很多硅片都是圆形的,硅片修复机的物料载物板如果能够实现圆形轨迹运行将极大的减少对硅片不停更换夹持位置的操作时间,对于工作效率可以得到极大的提高,这是现有技术的另一不足。基于以上的原因,本技术提出一种方便调节载物板的硅片修复机来解决这些不足。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足,本技术的目的之一在于提供一种方便调节载物板的硅片修复机。本技术的目的之一采用如下技术方案实现:一种方便调节载物板的硅片修复机,包括机壳,所述机壳的底部均匀分布固定连接有若干个支柱,所述机壳的顶面上固定连接有保护壳,所述保护壳内设置有底板,所述底板的顶面靠近前后侧均固定连接有侧板,两个所述侧板之间左右对称设置有两个竖轴,所述竖轴上均套设有竖板,所述竖板的顶面上前后对称设置有两个横板,所述横板的底面与竖板的顶面之间固定连接,所述横板上套设有横轴,所述横轴的两端均延伸出横板,所述横轴的两端均固定连接有连接板,所述连接板的上侧设置有载物板,所述载物板的底面与连接板的顶面之间固定连接,所述底板的右侧活动连接有活动板,前侧所述侧板的右侧面上固定连接有安装板,所述安装板的中心固定连接有液压缸,所述液压缸的液压杆与活动板之间固定连接,所述活动板的底面上固定连接有第一电机,所述第一电机的转子上固定连接有主轴,所述主轴远离第一电机一端贯穿活动板固定连接有固定板,所述主轴与活动板之间活动连接,所述固定板的顶面上固定连接有平板,所述平板上设置有调节装置。进一步的,所述调节装置包括第二电机,所述第二电机固定连接在平板的右侧面中心,所述平板的顶面上开设有凹槽,所述凹槽内设置有螺纹杆,所述螺纹杆的两端均活动连接在凹槽的左右侧壁上,所述螺纹杆的右端贯穿凹槽固定连接在第二电机的转子上,所述凹槽内活动连接有活动块,所述活动块的顶面上固定连接有转轴,所述转轴远离活动块一端与右侧的连接板底面活动连接。进一步的,所述横板的中心开设有第一通孔,所述第一通孔贯穿横板的左右侧壁,所述横轴贯穿第一通孔,所述横轴与第一通孔之间活动连接。进一步的,所述竖板的中心开设有第二通孔,所述第二通孔贯穿竖板的前后侧面,所述竖轴贯穿第二通孔,所述竖轴与第二通孔之间活动连接。进一步的,所述底板的右侧面上开设有第一滑槽,所述活动板的右侧面上固定连接有第一滑块,所述第一滑块插入到第一滑槽内,所述第一滑块与第一滑槽之间活动连接。进一步的,所述活动块上开设有螺纹孔,所述螺纹孔贯穿活动块的左右侧壁,所述螺纹杆贯穿螺纹孔,所述螺纹杆与螺纹孔之间活动连接。进一步的,右侧所述连接板的底面中心开设有圆形的第二滑槽,所述转轴远离活动块一端插入到第二滑槽内,所述转轴与第二滑槽之间活动连接。相比现有技术,本技术的有益效果在于:1、本技术通过设置有调节装置,通过第二电机带动螺纹杆转动,使得活动块在凹槽内可以左右运动,活动块带动连接板运动使得横轴在横板里左右运动,实现载物板的左右运动功能;2、通过设置有液压缸,通过液压缸推动活动板运动,可以使得竖板在竖轴上运动,实现载物板的前后运动的功能;3、通过设置有第一电机,若需修复圆形的硅片,第二电机带动螺纹杆转动,使得连接板中心与主轴之间的水平距离等于圆形硅片的半径,通过第一电机带动固定板转动,使得载物板可以转动,完成对圆形硅片的修复。上述说明仅是本技术技术方案的概述,为了能够更清楚了解本技术的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。附图说明图1为本实施例的立体图;图2为本实施例的内部结构示意图;图3为本实施例的图2的A面结构示意图;图4为本实施例的图3的B处放大图。图中:1a、机壳;1b、支柱;1c、保护壳;1、底板;2、侧板;3、竖轴;4、竖板;5、横板;6、横轴;7、连接板;8、载物板;9、活动板;10、安装板;11、液压缸;12、第一电机;13、主轴;14、固定板;15、平板;16、调节装置;17、第二电机;18、凹槽;19、螺纹杆;20、活动块;21、转轴;22、第一通孔;23、第二通孔;24、第一滑槽;25、第一滑块;26、螺纹孔;27、第二滑槽。具体实施方式下面,结合附图以及具体实施方式,对本技术做进一步描述,需要说明的是,在不相冲突的前提下,以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。需要说明的是,当组件被称为“固定于”另一个组件,它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件,它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件,它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请参阅图1至图4,一种方便调节载物板的硅片修复机,包括机壳1a,机壳1a的底部均匀分布固定连接有若干个支柱1b,机壳1a的顶面上固定连接有保护壳1c,保护壳1c内设置有底板1,底板1的顶面靠近前后侧均固定连接有侧板2,两个侧板2之间左右对称设置有两个竖轴3,竖轴3上均套设有竖板4,竖板4的中心开设有第二通孔23,第二通孔23贯穿竖板4的前后侧面,竖轴3贯穿第二通孔23,竖轴3与第二通孔23之间活动连接,竖板4的顶面上前后对称设置有两个横板5,横板5的底面与竖板4的顶面之间固定连接,横板5上套设有横轴6,横板5的中心开设有第一通孔22,第一通孔22贯穿横板5的左右侧壁,横轴6贯穿第一通孔22,横轴6与第一通孔22之间活动连接,横轴6的两端均延伸出横板5,横轴6的两端均固定连接有连接板7,连接板7的上侧设置有载物板8,载物板8的底面与连接板7的顶面之间固定连接,底板1的右侧活动连接有活动板9,底板1的右侧面上开设有第一滑槽24,活动板9的右侧面上固定连接有第一滑块25,第一滑块25插入到第一滑槽24内,第一滑块25与第一滑槽24之间活动连接,实现载物板8的前后运动功能,前侧侧板2的右侧面上固定连接有安装板10,安装板10的中心固定连接有液压缸11,液压缸11的液压杆与活动板9之间固定连接,活动板9的底面上固定连接有第一电机12,第一电机12的转子上固定连接有主轴13,主轴13远离第一电机12一端贯穿活动板9固定连接有固定板14,主轴1本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种方便调节载物板的硅片修复机,包括机壳(1a),所述机壳(1a)的底部均匀分布固定连接有若干个支柱(1b),所述机壳(1a)的顶面上固定连接有保护壳(1c),所述保护壳(1c)内设置有底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶面靠近前后侧均固定连接有侧板(2),两个所述侧板(2)之间左右对称设置有两个竖轴(3),所述竖轴(3)上均套设有竖板(4),所述竖板(4)的顶面上前后对称设置有两个横板(5),所述横板(5)的底面与竖板(4)的顶面之间固定连接,所述横板(5)上套设有横轴(6),所述横轴(6)的两端均延伸出横板(5),所述横轴(6)的两端均固定连接有连接板(7),所述连接板(7)的上侧设置有载物板(8),所述载物板(8)的底面与连接板(7)的顶面之间固定连接,所述底板(1)的右侧活动连接有活动板(9),前侧所述侧板(2)的右侧面上固定连接有安装板(10),所述安装板(10)的中心固定连接有液压缸(11),所述液压缸(11)的液压杆与活动板(9)之间固定连接,所述活动板(9)的底面上固定连接有第一电机(12),所述第一电机(12)的转子上固定连接有主轴(13),所述主轴(13)远离第一电机(12)一端贯穿活动板(9)固定连接有固定板(14),所述主轴(13)与活动板(9)之间活动连接,所述固定板(14)的顶面上固定连接有平板(15),所述平板(15)上设置有调节装置(16)。...

【技术特征摘要】
1.一种方便调节载物板的硅片修复机,包括机壳(1a),所述机壳(1a)的底部均匀分布固定连接有若干个支柱(1b),所述机壳(1a)的顶面上固定连接有保护壳(1c),所述保护壳(1c)内设置有底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶面靠近前后侧均固定连接有侧板(2),两个所述侧板(2)之间左右对称设置有两个竖轴(3),所述竖轴(3)上均套设有竖板(4),所述竖板(4)的顶面上前后对称设置有两个横板(5),所述横板(5)的底面与竖板(4)的顶面之间固定连接,所述横板(5)上套设有横轴(6),所述横轴(6)的两端均延伸出横板(5),所述横轴(6)的两端均固定连接有连接板(7),所述连接板(7)的上侧设置有载物板(8),所述载物板(8)的底面与连接板(7)的顶面之间固定连接,所述底板(1)的右侧活动连接有活动板(9),前侧所述侧板(2)的右侧面上固定连接有安装板(10),所述安装板(10)的中心固定连接有液压缸(11),所述液压缸(11)的液压杆与活动板(9)之间固定连接,所述活动板(9)的底面上固定连接有第一电机(12),所述第一电机(12)的转子上固定连接有主轴(13),所述主轴(13)远离第一电机(12)一端贯穿活动板(9)固定连接有固定板(14),所述主轴(13)与活动板(9)之间活动连接,所述固定板(14)的顶面上固定连接有平板(15),所述平板(15)上设置有调节装置(16)。2.如权利要求1所述的一种方便调节载物板的硅片修复机,其特征在于:所述调节装置(16)包括第二电机(17),所述第二电机(17)固定连接在平板(15)的右侧面中心,所述平板(15)的顶面上开设有凹槽(18),所述凹槽(18)内设置有螺纹杆(19),所述螺纹杆(19)的两端均活动连接在凹...

【专利技术属性】
技术研发人员:王军
申请(专利权)人:嘉兴斯密斯机械设备有限公司
类型:新型
国别省市:浙江,33

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