用于对准两个基板的方法技术

提出了用于对准基板的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于对准两个基板的方法专利技术描述。根据现有技术，基板借助于对准系统相对于彼此定向。借助于对准系统而相对于彼此对准的对准标记位于基板上。现有技术认识到了用于测量对准标记的数种方法，用于正确地定位基板，对准标记位于所述基板上，并且用于后续结合步骤。对准标记的测量所具有的主要问题在于，对准标记本身永远不是完美的。它们被扭曲，具有粗糙表面、不良地产生的边缘等。对比度或光学效应经常对于以下负有决定性责任：透镜系统和相机不能够获得对准标记的最佳图像。由于对准标记借助于软件而被识别和测量，因此对准标记的位置确定的准确度实质上取决于其质量。然而，不可任意地提升对准标记的质量，使得必须假设的是，必须测量不完美的对准标记。现有技术中的其它问题在于，可产生从对准标记的设定点位置的最小偏差。尽管对准标记的位置在计算机中以最大可能的准确度限定，然而对准标记的产生由在基板表面上产生对准标记的过程和设备的准确度限制。即使对准标记不具有从其理想几何形状的偏差，但其真实位置可最小程度地从理想位置偏离。对准标记偏差大约在1-100nm之间，即，在纳米范围中。因此，本专利技术的问题是提出方法，利用此方法可改进两个基板相对于彼此对准的准确度。此问题利用独立权利要求的特征解决。从属权利要求中给定了本专利技术的有利拓展。在说明书、权利要求书和/或附图中给定的至少两个特征的所有组合也落入本专利技术的范围内。在数值范围中，在所陈述的极限内部的数值也视作被公开为极限数值，并且可以任何组合要求保护。提出了用于对准待结合的两个基板的专利技术，其中，第一基板包括第一基板表面，所述第一基板表面具有第一基板表面侧（下文中也被称为左手基板表面侧）和位于与第一基板表面侧相对的第二基板表面侧（下文中也被称为右手基板表面侧），其中，第二基板包括待与第一基板表面结合的第二基板表面，其中，第二基板表面包括第三基板表面侧（下文中也被称为左手基板表面侧）和位于与第三基板表面侧相对的第四基板表面侧（下文中也被称为右手基板表面侧），其中，所述方法至少包括以下步骤：--检测和存储第一基板的第一基板表面上的第一对准标记对的第一位置，其中，第一对准标记对中的第一对准标记被布置在第一基板表面侧上，并且第一对准标记对中的第二对准标记被布置在第二基板表面侧上，--检测和存储第二基板的第二基板表面上的第二对准标记对的第二位置，其中，第二对准标记对中的第三对准标记被布置在第三基板表面侧上，并且第二对准标记对中的第四对准标记被布置在第四基板表面侧上，--检测和存储第二基板的第二基板表面上的第三对准标记对的第三位置，其中，第三对准标记对中的第五对准标记被布置在第三基板表面侧上，并且第三对准标记对中的第六对准标记被布置在第四基板表面侧上，--检测和存储第一基板上的第四对准标记对的第四位置，其中，第四对准标记对中的第七对准标记被布置在第一基板表面侧上，并且第四对准标记对中的第八对准标记被布置在第二基板表面侧上，--取决于所检测的第一位置、第二位置、第三位置和第四位置，将两个基板相对于彼此对准。所述方法优选地包括以下步骤，特别是以下序列：--将基板布置和固定在基板保持器上，--将具有第一基板的第一基板保持器移动到第一检测位置中，--在第一检测位置中检测和存储第一基板的第一基板表面上的第一对准标记对的第一位置，其中，第一对准标记对中的第一对准标记被布置在第一基板表面侧上，并且第一对准标记对中的第二对准标记被布置在第二基板表面侧上，--将具有第二基板的第二基板保持器移动到第二检测位置中，并且特别是同时将具有第一基板的第一基板保持器移动到第一等待位置中，--在第二检测位置中检测和存储第二基板的第二基板表面上的第二对准标记对的第二位置，其中，第二对准标记对中的第三对准标记被布置在第三基板表面侧上，并且第二对准标记对中的第四对准标记被布置在第四基板表面侧上，--在第二基板保持器的第二检测位置中检测和存储第二基板的第二基板表面上的第三对准标记对的第三位置，其中，第三对准标记对中的第五对准标记被布置在第三基板表面侧上，并且第三对准标记对中的第六对准标记被布置在第四基板表面侧上，--将具有第一基板的第一基板保持器移动到第一检测位置中，并且特别是同时将具有第二基板的第二基板保持器移动到第二等待位置中，--在第一检测位置中检测和存储第一基板上的第四对准标记对的第四位置，其中，第四对准标记对中的第七对准标记被布置在第一基板表面侧上，并且第四对准标记对中的第八对准标记被布置在第二基板表面侧上，--取决于所检测的第一位置、第二位置、第三位置和第四位置，将两个基板相对于彼此对准。在优选的实施例中，进行了规定，使得在基板上对于每个基板表面侧检测至少两个对准标记、优选地至少三个对准标记、仍更优选地至少四个对准标记、最优选地至少五个对准标记并且极度优选地至少六个对准标记的位置。因此，可有利地改进对准的准确度。在优选的实施例中，进行了规定，使得基板表面侧的对准标记被布置在圆K内部，所述圆K具有的半径小于100mm，优选地小于50mm，仍更优选地小于25mm，最优选地小于10mm并且极度优选地小于1mm。因此，用于检测对准标记的透镜系统的行进路径可被最小化，使得由于透镜系统的移动而仅产生最小误差。用于检测的透镜系统优选地不必移动。在根据本专利技术的更优选的实施例中，相同基板表面侧的多个（特别是甚至所有）对准标记位于透镜系统的视场中。在根据本专利技术的另一优选的实施例中，相同基板表面侧的多个（特别是所有）对准标记位于透镜系统的视场中，并且相对于彼此居中。为了此目的，必要的是，对准标记从中心向外变得越来越大，并且不重叠。在根据本专利技术的特别优选的实施例中（其中，多个对准标记位于透镜系统的视场中），特别被关注的是，对准标记在基板的边缘处位于尽可能远，以便提高对准准确度。因此，对准标记位于从基板的边缘隔开小于30mm、优选地小于20mm、仍更优选地小于10mm、最优选地小于5mm并且极度优选地小于1mm。在优选的实施例中，进行了规定，使得对准标记的位置被光学地检测。有利地，相对准确的位置确定因此是可能的。在优选的实施例中，进行了规定，使得由干涉计和/或透镜系统检测基板保持器的位置，所述干涉计和/或透镜系统特别是独立于用于检测对准标记的位置的检测装置。因此，可有利地改进基板保持器的位置确定。也可由检测装置（特别是干涉计）确定透镜系统的位置。在优选的实施例中，进行了规定，使得基板保持器固定在检测位置中。有利地，因此可更好地确定基板保持器的位置。本专利技术还涉及利用所述方法用于对准待结合的两个基板的装置，所述装置包括：--基板保持器，用于保持和固定基板，--移动装置，用于使基板保持器移动，--透镜系统，用于检测基板上的对准标记的位置，--存储装置，用于存储对准标记的位置。关于所述方法的特征也类似地涉及根据本专利技术的装置。本专利技术还涉及具有两个基板的产品，所述基板在每一侧上包括至少两个对准标记。本专利技术的本质特别是在于提出统计方法，借助于所述统计方法，两个基板可相对于对准标记更好地对准，并且结合在一起，由此诉诸于确定多个对准标记，所述对准标记位于不同位置处，特别是位于从基板的中心隔开的不同径向距离处。基板对准的问题特别是由以下改进：不使用对准标记本身而是使用可根据多个对准标记计算本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于对准待结合的两个基板（2u、2o）的方法，其中，第一基板（2u）包括第一基板表面（2us），所述第一基板表面（2us）具有第一基板表面侧和位于与所述第一基板表面侧相对的第二基板表面侧，其中，第二基板（2o）包括待与所述第一基板表面（2us）结合的第二基板表面（2os），其中，所述第二基板表面（2os）包括第三基板表面侧和位于与所述第三基板表面侧相对的第四基板表面侧，其特征在于，所述方法至少包括以下步骤：‑‑ 检测和存储所述第一基板（2u）的所述第一基板表面（2us）上的第一对准标记对（6ul、6ur）的第一位置，其中，所述第一对准标记对（6ul、6ur）中的第一对准标记（6ul）被布置在所述第一基板表面侧上，并且所述第一对准标记对（6ul、6ur）中的第二对准标记（6ur）被布置在所述第二基板表面侧上，‑‑ 检测和存储所述第二基板（2o）的所述第二基板表面（2os）上的第二对准标记对（6ol、6or）的第二位置，其中，所述第二对准标记对（6ol、6or）中的第三对准标记（6ol）被布置在所述第三基板表面侧上，并且所述第二对准标记对（6ol、6or）中的第四对准标记（6or）被布置在所述第四基板表面侧上，‑‑ 检测和存储所述第二基板（2o）的所述第二基板表面（2os）上的第三对准标记对（6ol’、6or’）的第三位置，其中，所述第三对准标记对（6ol’、6or’）中的第五对准标记（6ol’）被布置在所述第三基板表面侧上，并且所述第三对准标记对（6ol’、6or’）中的第六对准标记（6or’）被布置在所述第四基板表面侧上，‑‑ 检测和存储所述第一基板（2u）上的第四对准标记对（6ul’、6ur’）的第四位置，其中，所述第四对准标记对（6ul’、6ur’）中的第七对准标记（6ul’）被布置在所述第一基板表面侧上，并且所述第四对准标记对（6ul’、6ur’）中的第八对准标记（6ur’）被布置在所述第二基板表面侧上，‑‑ 取决于所检测的第一位置、第二位置、第三位置和第四位置，将所述两个基板（2u、2o）相对于彼此对准。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.用于对准待结合的两个基板（2u、2o）的方法，其中，第一基板（2u）包括第一基板表面（2us），所述第一基板表面（2us）具有第一基板表面侧和位于与所述第一基板表面侧相对的第二基板表面侧，其中，第二基板（2o）包括待与所述第一基板表面（2us）结合的第二基板表面（2os），其中，所述第二基板表面（2os）包括第三基板表面侧和位于与所述第三基板表面侧相对的第四基板表面侧，其特征在于，所述方法至少包括以下步骤：--检测和存储所述第一基板（2u）的所述第一基板表面（2us）上的第一对准标记对（6ul、6ur）的第一位置，其中，所述第一对准标记对（6ul、6ur）中的第一对准标记（6ul）被布置在所述第一基板表面侧上，并且所述第一对准标记对（6ul、6ur）中的第二对准标记（6ur）被布置在所述第二基板表面侧上，--检测和存储所述第二基板（2o）的所述第二基板表面（2os）上的第二对准标记对（6ol、6or）的第二位置，其中，所述第二对准标记对（6ol、6or）中的第三对准标记（6ol）被布置在所述第三基板表面侧上，并且所述第二对准标记对（6ol、6or）中的第四对准标记（6or）被布置在所述第四基板表面侧上，--检测和存储所述第二基板（2o）的所述第二基板表面（2os）上的第三对准标记对（6ol’、6or’）的第三位置，其中，所述第三对准标记对（6ol’、6or’）中的第五对准标记（6ol’）被布置在所述第三基板表面侧上，并且所述第三对准标记对（6ol’、6or’）中的第六对准标记（6or’）被布置在所述第四基板表面侧上，--检测和存储所述第一基板（2u）上的第四对准标记对（6ul’、6ur’）的第四位置，其中，所述第四对准标记对（6ul’、6ur’）中的第七对准标记（6ul’）被布置在所述第一基板表面侧上，并且所述第四对准标记对（6ul’、6ur’）中的第八对准标记（6ur’）被布置在所述第二基板表面侧上，--取决于所检测的第一位置、第二位置、第三位置和第四位置，将所述两个基板（2u、2o）相对于彼此对准。2.根据权利要求1所述的方法，具有以下步骤，特别是具有以下序列：--将所述基板（2u、2o）布置和固定在基板保持器（12u、12o）上，--将具有所述第一基板（2u）的所述第一基板保持器（12u）移动到第一检测位置中，--在所述第一检测位置中检测和存储所述第一基板（2u）的所述第一基板表面（2us）上的所述第一对准标记对（6ul、6ur）的所述第一位置，其中，所述第一对准标记对（6ul、6ur）中的所述第一对准标记（6ul）被布置在所述第一基板表面侧上，并且所述第一对准标记对（6ul、6ur）中的所述第二对准标记（6ur）被布置在所述第二基板表面侧上，--将具有所述第二基板（2o）的所述第二基板保持器（12o）移动到第二检测位置中，并且将具有所述第一基板（2u）的所述第一基板保持器（12u）移动到第一等待位置中，--在所述第二检测位置中检测和存储所述第二基板（2o）的所述第二基板表面（2os）上的所述第二对准标记对（6ol、6or）的所述第二位置，其中，所述第二对准标记对（6ol、6or）中的所述第三对准标记（6ol）被布置在所述第三基板表面侧上，并且所述第二对准标记对（6ol、6or）中的所述第四对准标记（6or）被布置在所述第四基板表面侧上，--在所述第二基板保持器（12o）的所述第二检测位置中检测和存储所述第二基板（2o）的所述第二基板表面（2o...

【专利技术属性】
技术研发人员：T瓦根莱特纳，
申请(专利权)人：EV集团E·索尔纳有限责任公司，
类型：发明
国别省市：奥地利,AT