低温泵制造技术

低温泵(10)具备：制冷机(16)，其具备室温部、第1冷却台及第2冷却台；放射屏蔽件，其与第1冷却台热连接，并以与第2冷却台非接触的方式包围所述第2冷却台；及低温泵壳体(70)，其具备屏蔽件容纳部(74)及制冷机容纳部(76)，所述屏蔽件容纳部(74)具有进气口(12)并在与进气口(12)相反的一侧具备壳体底面(70a)，并且以与放射屏蔽件非接触的方式包围放射屏蔽件，所述制冷机容纳部(76)将屏蔽件容纳部(74)连接在制冷机(16)的室温部(26)。低温泵(10)设置有以从低温泵壳体(70)外部向内部赋予热量的方式配置在制冷机容纳部(76)的外表面的第1加热器(84)或配置在壳体底面(70a)的第2加热器，或者，设置有与第1冷却台热连接并且配置在制冷机容纳部(76)与制冷机(16)之间的间隙中的导热构件。

Cryogenic pump

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】低温泵
本专利技术涉及一种低温泵。
技术介绍
低温泵是通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中要求的清洁的真空环境。由于低温泵为所谓气体捕集式真空泵，因此需要定期进行将捕捉的气体向外部排出的再生。为了再生，低温泵从超低温被加热至室温或比其稍高的温度。因此，低温泵通常在制冷机的冷却台等冷却源附设有电加热器等热源。并且，制冷机本身有时也可以代替制冷循环而进行伴随热力学的升温循环(包括工作气体的绝热压缩)的加热动作。被捕捉到低温板上的冰通过加热而融化，最后被气化而排出至低温泵的外部。以往技术文献专利文献专利文献1：日本专利第2725689号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题本专利技术人等对低温泵的再生反复进行深入研究的结果，认识到了以下问题。被低温泵捕捉的除了水以外的各种气体在室温程度的再生温度下容易气化，因此其容易从低温泵排出。但是，水在该温度范围处于液态。液态水随着重力而向下流动，积存于低温泵内的底部或其他部位。排出口的位置并不一定在最下部。要想排出排出口下方的积水，必须使水蒸发。水在蒸发时从周围吸收热量。积存的水量越多，蒸发所吸收热量也会增加，有时水面可能会结冰。尤其，在被设计成能够排出大量水的大容量低温泵中，由于水量较多，因而更容易产生这种结冰。水的蒸发伴随结冰而显著抑制，基于气化的排出会变得困难，会导致再生时间变长。有可能会出现在实际使用中容许的时间内无法结束再生的情况。因此，要想进一步缩短再生时间，期待更有效地排出水。本专利技术的一种实施方式的例示性目的之一在于缩短低温泵的再生时间。用于解决技术课题的手段根据本专利技术的一种实施方式提供一种低温泵，其具备：制冷机，其具备室温部、第1冷却台及第2冷却台；放射屏蔽件，其与所述第1冷却台热连接，并以与所述第2冷却台非接触的方式包围所述第2冷却台；低温泵壳体，其具备屏蔽件容纳部及制冷机容纳部，所述屏蔽件容纳部具有低温泵进气口并在与所述低温泵进气口相反一侧具备壳体底面，并且以与所述放射屏蔽件非接触的方式包围所述放射屏蔽件，所述制冷机容纳部将所述屏蔽件容纳部连接在所述制冷机的所述室温部；及加热器，其配置在所述制冷机容纳部的外表面或所述壳体底面，以便从所述低温泵壳体外部向内部赋予热量。根据本专利技术的一种实施方式提供一种低温泵，其具备：制冷机，其具备室温部、第1冷却台及第2冷却台；放射屏蔽件，其与所述第1冷却台热连接，并且包围所述第2冷却台；低温泵壳体，其具备屏蔽件容纳部及制冷机容纳部，所述屏蔽件容纳部具有低温泵进气口并在与所述低温泵进气口相反一侧具备壳体底面，并且以与所述放射屏蔽件非接触的方式包围所述放射屏蔽件，所述制冷机容纳部将所述屏蔽件容纳部连接在所述制冷机的所述室温部；及导热构件，其与所述第1冷却台热连接，并且配置在所述制冷机容纳部与所述制冷机之间的间隙中。另外，在方法、装置、系统等之间相互替代以上构成要件的任意组合或本专利技术的构成要件或表现形式的方式也作为本专利技术的方式而有效。专利技术效果根据本专利技术，能够缩短低温泵的再生时间。附图说明图1是概略地表示第1实施方式所涉及的低温泵的图。图2是概略地表示第2实施方式所涉及的低温泵的图。图3是概略地表示第3实施方式所涉及的低温泵的图。具体实施方式以下，参考附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。在以下说明及附图中，对相同或相等的构成要件、构件及处理标注相同的符号，并适当省略重复说明。为了便于说明，在附图中适当设定各部分的比例尺和形状，除非另有说明，其并不作限定性解释。实施方式指示示例，并不对本专利技术的范围作任何限定。在实施方式中记载的所有特征或其组合并不一定是专利技术的本质。＜第1实施方式＞图1是概略地表示第1实施方式所涉及的低温泵10的图。图1中示出了低温泵10的概略侧视图。低温泵10例如安装于离子注入装置、溅射装置、蒸镀装置或其他真空处理装置的真空腔室，并用于将真空腔室内部的真空度提高到所希望的真空处理中要求的水平。低温泵10具有用于从真空腔室接收待排出气体的低温泵进气口(以下，简称为“进气口”)12。气体通过进气口12进入到低温泵10的内部空间。低温泵10具备制冷机16及低温泵壳体70。低温泵10的内部结构可以采用公知的结构，并且，在后面会参照图2对例示性的结构进行说明，因此在此不进行详述。低温泵壳体70具备屏蔽件容纳部74及制冷机容纳部76。屏蔽件容纳部74在与进气口12的相反一侧具备壳体底面70a。屏蔽件容纳部74以与放射屏蔽件非接触的方式包围放射屏蔽件。制冷机容纳部76将屏蔽件容纳部74连接于制冷机16的室温部26。屏蔽件容纳部74具有一端开放而作为进气口12且另一端封闭而作为壳体底面70a的圆筒状或圆顶状的形状。屏蔽件容纳部74具备划定进气口12的进气口凸缘72。在将进气口凸缘72连接于壳体底面70a的屏蔽件容纳部74的侧壁，形成有供制冷机16插通的与进气口12不同的开口。制冷机容纳部76具有从该开口朝向制冷机16的室温部26延伸的圆筒状的形状。制冷机容纳部76与屏蔽件容纳部74形成为一体。在制冷机容纳部76的圆筒状的侧面安装有用于在再生中从低温泵10排出气体或液体的粗抽阀78及通气阀80。粗抽阀78将低温泵壳体70连接于粗抽泵79。设置通气阀80的目的在于将在低温泵10的内部可能产生的高压释放到外部环境。并且，在屏蔽件容纳部74安装有用于向低温泵10的内部供给吹扫气体的清洗阀82。清洗阀82将低温泵壳体70连接于吹扫气体源83。通常，不会将粗抽泵79及吹扫气体源83视为低温泵10的构成要件。粗抽阀78、通气阀80及清洗阀82的配置只是例示，其并不受特别限定。在制冷机容纳部76也可以不安装这些阀。粗抽阀78及通气阀80也可以安装在屏蔽件容纳部74。并且，在制冷机容纳部76，例如也可以安装有真空计等其他构成要件。在制冷机容纳部76的末端(即，与屏蔽件容纳部74相反一侧的端部)设置有用于安装于制冷机16的室温部26的安装凸缘76a。在室温部26设置有与安装凸缘76a相对应的制冷机凸缘26a，安装凸缘76a通过螺栓等适当的紧固件固定在制冷机凸缘26a。室温部26也可以是容纳用于驱动制冷机16的马达的马达壳体。低温泵10具备配置在制冷机容纳部76的外表面从而从低温泵壳体70的外部向内部赋予热量的第1加热器84。第1加热器84为电加热器。第1加热器84具有片状的形状，其被缠绕在制冷机容纳部76的圆筒状的侧面。第1加热器84包围制冷机容纳部76的整周，但这并不是必须的。第1加热器84也可以设置在制冷机容纳部76的周向上的一部分上。第1加热器84的形状可以是任意形状，其并不只限定于片状。例如，第1加热器84也可以是线状的加热器。第1加热器84与加热器电源85连接。通常，低温泵10的再生包括升温步骤、排出步骤及冷却步骤。在升温步骤中，低温板被加热至再生温度。在排出步骤中，排出被低温泵10捕捉的气体。在冷却步骤中，低温板重新被冷却至用于真空排气运行的超低温。加热器电源85可以构成为，响应于低温泵10的再生开始(例如，升温步骤的开始)而开启第1加热器84，并响应于排出步骤的结束或冷却步骤的开始而关闭第1加热器84。第1加热器84的加热温度的下限可以以防止水结冰的方式选择本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低温泵，其特征在于，具备：制冷机，其具备室温部、第1冷却台及第2冷却台；放射屏蔽件，其与所述第1冷却台热连接，并以与所述第2冷却台非接触的方式包围所述第2冷却台；低温泵壳体，其具备屏蔽件容纳部及制冷机容纳部，所述屏蔽件容纳部具有低温泵进气口并在与所述低温泵进气口相反一侧具备壳体底面，并且以与所述放射屏蔽件非接触的方式包围所述放射屏蔽件，所述制冷机容纳部将所述屏蔽件容纳部连接在所述制冷机的所述室温部；及加热器，其配置在所述制冷机容纳部的外表面或所述壳体底面，以便从所述低温泵壳体外部向内部赋予热量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.10 JP 2017-0464421.一种低温泵，其特征在于，具备：制冷机，其具备室温部、第1冷却台及第2冷却台；放射屏蔽件，其与所述第1冷却台热连接，并以与所述第2冷却台非接触的方式包围所述第2冷却台；低温泵壳体，其具备屏蔽件容纳部及制冷机容纳部，所述屏蔽件容纳部具有低温泵进气口并在与所述低温泵进气口相反一侧具备壳体底面，并且以与所述放射屏蔽件非接触的方式包围所述放射屏蔽件，所述制冷机容纳部将所述屏蔽件容纳部连接在所述制冷机的所述室温部；及加热器，其配置在所述制冷机容纳部的外表面或所述壳体底面，以便从所述低温泵壳体外部向内部赋予热量。2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，所述加热器配置在与所述室温部相邻的所述制冷机容纳部的基部的外表面。3.根据权利要求1或2所述的低温...

【专利技术属性】
技术研发人员：下村诚，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP