一种微型过滤器及声学设备制造技术

本发明专利技术公开了一种微型过滤器及声学设备，包括具有背腔的基底，以及设置在基底上且悬置在背腔上的金属薄膜；且所述金属薄膜的外侧表面涂覆有不粘层；所述不粘层与颗粒之间的粘性低于金属薄膜与颗粒之间的粘性；所述金属薄膜及不粘层上具有排布的通孔。根据本公开的一个实施例，通过在金属薄膜上设置不粘层，可以避免长时间使用后颗粒粘附在具有通孔的金属薄膜上的问题，从而保证了传感器的灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种微型过滤器及声学设备
本专利技术涉及微型过滤器，其可以是一种适用于声学设备的微型过滤器，以过滤粉尘颗粒或/和水等不希望进入声学设备内部的物质。
技术介绍
诸如笔记本电脑、平板电脑之类的便携式计算设备无处不在，诸如智能电话之类的便携式通信设备也是普遍存在的。然而，这些设备没有足够的空间来容纳相对较大的麦克风或扬声器。因此，麦克风和扬声器尺寸变得越来越紧凑并且尺寸减小。此外，这些便携式设置中的麦克风和扬声器通常需要靠近终端的相关声学输入或输出端口，使得颗粒和水容易进入麦克风、扬声器中，而造成这些声学设备的失效。以前的设备中有时会部署过滤膜，以防止某些类型的碎屑进入组件中。不幸的是，这些滤波器往往会对麦克风的操作产生不利影响。例如，当使用这些先前的方法时，麦克风的性能有时会显着降低。由于性能下降，麦克风客户经常选择不在其应用中使用此类麦克风。当制造过滤膜片时，普通金属薄膜具有应力极限。当普通金属薄膜的应力显示压缩而形成褶皱后，光学自动检测设备无法检测到压力。为了制造过滤芯片结构，在将合适的薄金属膜沉积到基板上时，需要获得低拉应力的膜。没有低拉伸应力的薄膜倾向于剥离、破裂、起皱或以其它方式从其基板上脱离，因此PB芯片在投入运行后不得不经常丢弃。另外，这种过滤膜片在使用的时候，污染物可能粘附到膜片表面从而降低声学设备的性能。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种微型过滤器的新技术方案。根据本专利技术的第一方面，提供了一种微型过滤器，包括具有背腔的基底，以及设置在基底上且悬置在背腔上的金属薄膜；且所述金属薄膜的外侧表面涂覆有不粘层；所述不粘层与颗粒之间的粘性低于金属薄膜与颗粒之间的粘性；所述金属薄膜及不粘层上具有排布的通孔。可选地，所述不粘层为硅氧烷化合物涂层或者含氟聚合物涂层。可选地，所述不粘层选用特氟隆涂层。可选地，所述涂层设置有两层，分别位于金属薄膜相对的两侧。可选地，所述金属薄膜被配置为具有压应力；所述不粘层被配置为具有拉应力；或者，所述金属薄膜被配置为具有拉应力；所述不粘层被配置为具有压应力；所述金属薄膜、不粘层被配置为降低整个膜层的应力。可选地，所述膜层的应力在-300MPa至300MPa之间。可选地，所述金属薄膜采用金属玻璃。可选地，所述基底采用聚合物材料、金属、硅或者SiO2。根据本专利技术的另一方面，还提供了一种声学设备，包括上述的微型过滤器。可选地，所述声学设备为麦克风模组或者麦克风芯片。根据本公开的一个实施例，通过在金属薄膜上设置不粘层，可以避免长时间使用后颗粒粘附在具有通孔的金属薄膜上的问题，从而保证了传感器的灵敏度。通过以下参照附图对本专利技术的示例性实施例的详细描述，本专利技术的其它特征及其优点将会变得清楚。附图说明被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本专利技术的实施例，并且连同其说明一起用于解释本专利技术的原理。图1是本专利技术微型过滤器第一实施方式的剖视图。图2是本专利技术微型过滤器第二实施方式的剖视图。图3是本专利技术微型过滤器第二实施方式的剖视图(具有通孔)。图4是本专利技术微型过滤器第三实施方式的剖视图。图5是本专利技术微型过滤器第三实施方式中另一视角的剖视图。图6是本专利技术微型过滤器第四实施方式的剖视图。具体实施方式现在将参照附图来详细描述本专利技术的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本专利技术的范围。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本专利技术及其应用或使用的任何限制。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。本专利技术提供了一种微型过滤器及应用此微型过滤器的声学设备。该声学设备例如可以是麦克风芯片，也可以是麦克风模组。例如当声学设备是麦克风芯片时，微型过滤器设置在麦克风芯片上；当声学设备是麦克风模组上，微型过滤器可以设置在模组中壳体的声孔位置。当然，对于本领域技术人员而言，该声学设备也可以是其它类型的声换能器，在此对种类不再具体说明。本专利技术提供的微型过滤器，包括基底以及设置在基底上的膜层。基底具有中空的背腔结构，膜层的边缘位置连接在基底上，其膜层的中部区域悬置在背腔的上方，使得膜层构成悬臂桥结构。图1示出了本专利技术微型过滤器一个实施方式的结构示意图。在图1所示的实施例中，与图4、图5、图6所示实施例不同的是，金属薄膜6a设置在基底5上，且悬置在基底5中空背腔7的上方。该金属薄膜6a可以采用非晶金属薄膜，例如金属玻璃等。基底5可以采用聚合物材料、金属、硅或者SiO2。在金属薄膜6a的外侧表面涂覆有不粘层6b。不粘层6b与颗粒之间的粘性低于金属薄膜6a与颗粒之间的粘性；金属薄膜6a及不粘层6b上具有排布的通孔(视图未给出)。在本专利技术一个可选的实施方式中，不粘层6b为硅氧烷化合物涂层或者含氟聚合物涂层。在本专利技术一个可选的实施方式中，不粘层6b选用特氟隆涂层。特氟隆具有高温特性，而且摩擦系数低。通过在金属薄膜上设置不粘层，可以避免长时间使用后颗粒粘附在具有通孔的金属薄膜上的问题，从而保证了传感器的灵敏度。该不粘层同时还具有防腐的功能，提高了微型过滤器的使用寿命。在本专利技术一个可选的实施方式中，金属薄膜6a被配置为具有压应力；不粘层6b被配置为具有拉应力；金属薄膜6a与不粘层6b复合在一起，可以降低整个膜层的应力。当然，也可以是，金属薄膜6a被配置为具有拉应力，不粘层6b被配置为具有压应力。具体原理与图5、图6所示实施例相同，在此不再具体说明。例如，在一个可选的实施方式中，复合在一起的膜层的应力控制在-300MPa(压应力)至300MPa(拉应力)之间。例如，在一个可选的实施方式中，复合在一起的膜层的应力控制在0至300MPa(拉应力)之间。图2示出了本专利技术微型过滤器另一个实施方式的结构示意图。与图1所示实施例不同的是，基底50上的膜层包括三层膜片，该三层膜片悬置在基底50的中空背腔70之上。该三层膜片包括一层具有压应力的金属薄膜60a、两层具有拉应力的不粘层60b。金属薄膜60a位于两层不粘层60b之间，三层复合在一起。通过两侧具有拉应力的不粘层60b来抵消位于中间的金属薄膜的压应力；反之，位于中间的具有压应力的金属薄膜60a也会抵消其两侧不粘层60b的压应力，在此不再具体说明。另外，在金属薄膜60a的两侧分别设置不粘层60b，可以避免或者减少金属薄膜60a的颗粒吸附，保证了微型过滤器的性能。金属薄膜60a及不粘层60b上具有排布的通孔，参考图3，通孔的周围均被不粘层60b覆盖。图4、图5示出了本专利技术微型过滤器其中一个实施方式的结构示意图。参考图4、图5，膜层2连接在基底1的上方，且悬空在基底1的中空背腔3上。膜层2上具有排布的通孔4，以供气流通过。基底1可以采用金属、硅或者SiO2，并可通过本领域技术人员所熟知的方式形成中空的背腔3。例如通过刻蚀等工艺形成，在此不再具体说本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型过滤器，其特征在于，包括具有背腔的基底，以及设置在基底上且悬置在背腔上的金属薄膜；且所述金属薄膜的外侧表面涂覆有不粘层；所述不粘层与颗粒之间的粘性低于金属薄膜与颗粒之间的粘性；所述金属薄膜及不粘层上具有排布的通孔。

【技术特征摘要】
1.一种微型过滤器，其特征在于，包括具有背腔的基底，以及设置在基底上且悬置在背腔上的金属薄膜；且所述金属薄膜的外侧表面涂覆有不粘层；所述不粘层与颗粒之间的粘性低于金属薄膜与颗粒之间的粘性；所述金属薄膜及不粘层上具有排布的通孔。2.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述不粘层为硅氧烷化合物涂层或者含氟聚合物涂层。3.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述不粘层选用特氟隆涂层。4.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述涂层设置有两层，分别位于金属薄膜相对的两侧。5.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述金属薄膜被配置为具有压应力；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：林育菁，
申请(专利权)人：歌尔股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37