下部电极检测系统技术方案

本发明专利技术公开了一种下部电极检测系统，包括检测箱，所述检测箱呈中空结构，其内部具有检测室；真空泵，其用于对所述检测室进行抽真空操作；导电接头，其竖向设置于检测室内，所述检测箱外侧壁上设有与该导电接头导通的检测接驳口。采用以上方案，充分模拟下部电极使用环境，排除环境空气及湿度等影响，快速检测下部电极电阻及漏电流等指标，大大提高检测效率和检测质量，有效防止不合格下部电极板用于生产，有利于提高后期蚀刻产品的良品率，同时减少安全事故。

【技术实现步骤摘要】
下部电极检测系统
本专利技术涉及LCD干刻反应腔部件领域，具体涉及一种下部电极检测系统。
技术介绍
下部电极被广泛应用于诸如平板显示器件、集成电路的干法刻蚀工艺中，其主要包括母材、母材表面的氧化铝涂层、钨涂层和安装在母材上的电极棒，使用过程中主要通过电极棒引入高电压，下部电极的涂层结构为上下两个绝缘层(氧化铝)中间夹着一层电极层(钨层)，导电棒给电极层(钨层)供电并在上部绝缘层表面形成静电，通过产生的静电吸附、固定需要被加工的玻璃面板。随着技术的进步，对涂层绝缘性的要求也越来越高。下部电极在长期储存过程中，容易受到环境温度、湿度等影响，例如当母材表面的绝缘涂层受潮或电极棒自身受损时，则会大大影响电极棒的导电效率，也会增加下部电极下部绝缘层的漏电流，从而影响产品蚀刻质量，故亟需一种快速检测下部电极质量是否达标的设备，以确保其可正常用于蚀刻生产，避免出现安全或质量事故。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术提供了一种下部电极检测系统，通过模拟使用环境，快速检测下部电极的电阻、漏电流等指标，实现下部电极的快速检测，确保安全生产。为实现上述目的，本专利技术技术方案如下：一种下部电极检测系统，其关键在于，包括：检测箱，所述检测箱呈中空结构，其内部具有检测室；真空泵，其用于对所述检测室进行抽真空操作；导电接头，其竖向设置于检测室内，所述检测箱外侧壁上设有与该导电接头导通的检测接驳口。采用以上结构，检测过程中，将下部电极放入检测室中，并使电极棒与导电接头接触，然后通过真空泵对检测室进行抽真空，模拟蚀刻过程的真空环境，然后再通过绝缘电阻测试仪与检测接驳口相连，对其通电，并检测其导通情况和漏电情况，从而实现下部电极的快速检测。作为优选：所述检测室内具有水平设置的加热铝板，所述加热铝板的周向外缘与检测箱内侧壁之间留有间隙，该加热铝板内部均匀分布有加热棒，所述检测箱外侧壁上设有与所有加热棒导通的加热接驳口。采用上述方案，一方面模拟蚀刻过程的加热环境，另一方面可对下部电极进行烘干，蒸发水分，避免或弱化受潮绝缘涂层的影响，提高检测结果的准确性。作为优选：所述加热铝板上对应导电接头的位置设有安装孔，所述导电接头位于该安装孔内，其包括上下正对设置的绝缘顶座和绝缘底座，其中绝缘顶座的上表面与加热铝板的上表面齐平，所述绝缘底座上通过弹簧竖直支承有金属导电杆，所述弹簧处于自然状态时，所述金属导电杆的上端凸出于绝缘顶座的上表面，所述加热铝板，所述金属导电杆的下端通过电线与检测接驳口电性连接。采用以上方案，因为下部电极通常较重，这样设置可避免在下部电极下放过程中，与金属导电杆发生刚性触碰，对其造成损伤，同时确保下部电极下放之后，能与加热铝板紧贴，避免出现缝隙，有利于进一步提高检测结果的精确度，同时金属导电杆采用弹性支撑，避免直接承重，有利于延长其使用寿命。作为优选：所述绝缘顶座和绝缘底座固定连接，并在两者之间设有导向座，所述导向座具有上端敞口的安装腔，所述金属导电杆竖向设置于该安装腔内，所述金属导电杆上端靠近其端部的位置具有与所述安装腔滑动配合的导平盘，所述弹簧套设于金属导电杆上，其上下两端分别与导平盘和安装腔底壁抵接，所述弹簧处于自然状态时，所述导平盘与绝缘顶座的上表面齐平。采用以上方案，有利于保证金属导电杆伸缩位置固定，防止其发生偏斜，确保下部电极上的电极棒可与金属导电杆正对接触。作为优选：所述检测箱上设有与所述检测室贯通的通风阀门。可快速平衡检测室内和外部气压，消除真空环境，便于打开检测室，将下部电极取出。作为优选：所述真空泵配置有冷冻机。采用以上方案，可对真空泵进行降温，延长其使用寿命和工作时长。作为优选：所述检测箱包括呈长方体结构的箱体，所述检测室成型于箱体上，其上端敞口，所述箱体配置有与所述检测室相适应的顶盖，所述箱体上端面设有密封圈，所述密封圈位于检测室的周向外侧。采用以上方案，便于快速密封检测室，提高检测室的密封性，有利于提高检测效率。作为优选：所述箱体的至少一个对角线的两端均设有定位销，所述定位销竖直朝上设置，所述顶盖上具有与所述定位销一一对应的定位销孔。采用以上方案，有利于顶盖与箱体的快速配合固定，防止顶盖偏斜导致检测室的密封性能降低。作为优选：所述箱体的四周对称设置有夹紧件，所述夹紧件用于将顶盖与箱体夹紧。采用以上方案，确保顶盖与箱体相对固定，有利于进一步提高检测过程中顶盖的稳定性，提高密封性能。作为优选：所述检测箱配置有电控箱，所述电控箱包括PLC控制器及与该PLC控制器相连的触屏，所述检测箱上设有透明的观测窗。采用以上方案，有利于根据检测情况实时调整检测参数，提高检测准确度，并可适应不同的下部电极。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：采用本专利技术提供的下部电极检测系统，充分模拟下部电极使用环境，排除环境空气及湿度等影响，快速检测下部电极电阻及漏电流等指标，大大提高检测效率和检测质量，有效防止不合格下部电极板用于生产，有利于提高后期蚀刻产品的良品率，同时减少安全事故。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为图1的轴测图；图3为图1的剖视图；图4为图3中A处局部放大图；图5为图1的爆炸图；图6为图5中B处局部放大图；图7为导电接头安装结构示意图。具体实施方式以下结合实施例和附图对本专利技术作进一步说明。参考图1至图7所示的下部电极检测系统，其主要包括呈中空结构的检测箱1、真空泵2和导电接头3，如图3和图5所示，本申请中检测箱1主要包括大体呈长方体结构的箱体1a，箱体1a底部具有支撑框架1c，箱体1a内具有横截面呈长方形的检测室10，检测室10的顶部敞口，箱体1a配置有顶盖1b，顶盖1b可将检测室10的顶部完全覆盖，顶盖1b的下表面为光滑平面，便于与箱体1a的上表面配合实现检测室10的密封，顶盖1b的上表面具有呈经纬分布的加固板1b1，加固板1b1可防止顶盖1b在抽真空、吊装等使用过程中发生变形、变形导致真空失效等现象。加固板1b1上具有对称设置的四个吊孔1b0，以便于顶盖1b的吊装。本实施例中为实现顶盖1b与箱体1a快速配合，完成对检测室10的密封，故在箱体1a顶部四角均对称设置有竖直朝上的定位销15，而顶盖1b上正对定位销15的位置则设有定位销孔16，当顶盖1b下放时，只需对角线两端的定位销15与对应定位销孔16配合时，顶盖1b和箱体1a的相对位置则实现固定，与此同时，在箱体1a上端端面设有呈方形环状的密封圈14，密封圈14突出于箱体1a的上端端面，并位于检测室10的周向外侧，顶盖1b下放之后，在其自重作用下，其下表面与密封圈14紧密接触，可大大提高检测室10内的密封性。考虑到气压或环境抖动等，可能会对顶盖1b的位置造成影响，故在箱体1b上还设有夹紧件6，如图1至图4所示，夹紧件6主要包括大体均呈L形的固定块60和活动块61，其中固定块60的下端与箱体1a固定连接，活动块61的下端则通过连接轴62与固定块60铰接，活动块61则可以连接轴62为转动中心转动，当活动块61处于竖直状态时，其至少部分位于顶盖1b的正上方，同时该部分的活动块61上具有竖直设置的锁紧螺栓63，这样拧动锁紧螺栓63，则可对顶盖1b施加一定压力，使顶盖1b与箱体1a进一步紧贴，提高密封可靠性。真空泵2则主要用于对检测室10进行抽真空操作，以模拟真空环境本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种下部电极检测系统，其特征在于，包括：检测箱(1)，所述检测箱(1)呈中空结构，其内部具有检测室(10)；真空泵(2)，其用于对所述检测室(10)进行抽真空操作；导电接头(3)，其竖向设置于检测室(10)内，所述检测箱(1)外侧壁上设有与该导电接头(3)导通的检测接驳口(11)。

【技术特征摘要】
1.一种下部电极检测系统，其特征在于，包括：检测箱(1)，所述检测箱(1)呈中空结构，其内部具有检测室(10)；真空泵(2)，其用于对所述检测室(10)进行抽真空操作；导电接头(3)，其竖向设置于检测室(10)内，所述检测箱(1)外侧壁上设有与该导电接头(3)导通的检测接驳口(11)。2.根据权利要求1所述的下部电极检测系统，其特征在于：所述检测室(10)内具有水平设置的加热铝板(4)，所述加热铝板(4)的周向外缘与检测箱(1)内侧壁之间留有间隙，该加热铝板(4)内部均匀分布有加热棒，所述检测箱(1)外侧壁上设有与所有加热棒导通的加热接驳口(12)。3.根据权利要求2所述的下部电极检测系统，其特征在于：所述加热铝板(4)上对应导电接头(3)的位置设有安装孔(40)，所述导电接头(3)位于该安装孔(40)内，其包括上下正对设置的绝缘顶座(31)和绝缘底座(30)，其中绝缘顶座(31)的上表面与加热铝板(4)的上表面齐平，所述绝缘底座(30)上通过弹簧(32)竖直支承有金属导电杆(33)，所述弹簧(32)处于自然状态时，所述金属导电杆(33)的上端凸出于绝缘顶座(31)的上表面，所述加热铝板(4)，所述金属导电杆(33)的下端通过电线与检测接驳口(11)电性连接。4.根据权利要求3所述的下部电极检测系统，其特征在于：所述绝缘顶座(31)和绝缘底座(30)固定连接，并在两者之间设有导向座(34)，所述导向座(34)具有上端敞口的安装腔(340)，所述金属导电杆(33)竖向设置于该安装腔(340)内，所述金属导电杆(33)上端靠近其...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁君，李东一，
申请(专利权)人：重庆臻宝实业有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆,50