蓝宝石切片立式双面研磨设备制造技术

本发明专利技术涉及蓝宝石打磨设备技术领域，提供一种蓝宝石切片立式双面研磨设备，所述蓝宝石切片立式双面研磨设备，包括：第一研磨盘和第二研磨盘，所述第一研磨盘和所述第二研磨盘平行设置，且所述第一研磨盘和所述第二研磨盘能够在不与地面垂直的第一状态和垂直地面的第二状态之间转换。本发明专利技术的蓝宝石切片立式双面研磨设备通过设置两个相互平行的研磨盘，在放置待研磨的蓝宝石切片时，研磨盘处于第一状态，在对蓝宝石切片研磨时，研磨盘处于第一状态，垂直地面设置，以消除蓝宝石切片自身重力对去除量的影响，避免蓝宝石切片报废。

【技术实现步骤摘要】
蓝宝石切片立式双面研磨设备
本专利技术涉及蓝宝石打磨设备
，特别涉及一种蓝宝石切片立式双面研磨设备。
技术介绍
蓝宝石单晶，具有硬度高、透光性好、耐磨性高、化学稳定性好、热传导性、电磁绝缘性、力学特性优良等特点，被广泛地当做窗口和蓝宝石晶圆材料应用于国防工业尖端科技研究及民用领域。蓝宝石脆性大，是典型的难加工材料，目前，蓝宝石晶圆的制备主要包括切片、平整和抛光等工序。在平整加工中主要是通过研磨去除线切过程中所产生的切痕，并获得较为平整的表面，为后续抛光提供一个良好基础。但是研磨过程中，无论是游离磨料研磨还是固结磨料研磨，都会受蓝宝石自身重力的影响，出现蓝宝石切片两面去除量不一致的现象，造成蓝宝石切片报废。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术旨在提出一种蓝宝石切片立式双面研磨设备，该蓝宝石切片立式双面研磨设备能够通过设置两个相互平行的研磨盘，在对蓝宝石切片研磨时，研磨盘垂直地面设置，以消除蓝宝石切片自身重力对去除量的影响。为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：一种蓝宝石切片立式双面研磨设备，包括：第一研磨盘和第二研磨盘，所述第一研磨盘和所述第二研磨盘平行设置，且所述第一研磨盘和所述第二研磨盘能够在不与地面垂直的第一状态和垂直地面的第二状态之间转换。优选地，所述蓝宝石切片立式双面研磨设备包括转动齿圈和驱动齿轮，所述转动齿圈的轴线平行地面设置，且外周面上设有轮齿，所述驱动齿轮与所述轮齿啮合，所述第一研磨盘和所述第二研磨盘可转动的安装在所述转动齿圈的内周。优选地，所述蓝宝石切片立式双面研磨设备包括支撑齿轮，所述支撑齿轮和所述驱动齿轮设置在所述转动齿圈靠近地面的一侧，且同时与所述转动齿圈啮合。优选地，所述第一研磨盘和所述第二研磨盘的转动轴沿所述转动齿圈的径向设置。优选地，所述蓝宝石切片立式双面研磨设备包括内齿轮、外齿圈和游星轮，所述内齿轮和所述外齿圈与所述第一研磨盘同轴线设置，且安装在所述第一研磨盘靠近所述第二研磨盘的端面上，所述游星轮同时与所述内齿轮和所述外齿圈啮合。优选地，所述内齿轮可旋转地安装在所述第一研磨盘靠近所述第二研磨盘的端面上，所述外齿圈固定在所述第一研磨盘靠近所述第二研磨盘的端面上。优选地，所述蓝宝石切片立式双面研磨设备包括内齿轮电机，所述内齿轮的齿轮轴贯穿所述第一研磨盘与所述内齿轮电机连接。优选地，所述蓝宝石切片立式双面研磨设备包括研磨盘支撑圈，所述研磨盘支撑圈的外周与所述转动齿圈的内周固定连接，所述研磨盘支撑圈的轴线与所述转动齿圈的轴线垂直，所述第一研磨盘远离所述第二研磨盘的端面与所述研磨盘支撑圈可旋转连接。优选地，所述蓝宝石切片立式双面研磨设备包括升降装置，所述第二研磨盘通过所述升降装置与所述转动齿圈连接。优选地，所述升降装置包括气缸，所述气缸的一端与所述转动齿圈固定连接，另一端与所述第二研磨盘可旋转连接。相对于现有技术，本专利技术的蓝宝石切片立式双面研磨设备通过设置两个相互平行的研磨盘，在放置待研磨的蓝宝石切片时，研磨盘处于第一状态，在对蓝宝石切片研磨时，研磨盘处于第一状态，垂直地面设置，以消除蓝宝石切片自身重力对去除量的影响，避免蓝宝石切片报废。本专利技术的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明构成本专利技术的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施方式及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1为本专利技术的蓝宝石切片立式双面研磨设备的结构示意图；图2为本专利技术的蓝宝石切片立式双面研磨设备的主视图；图3为本专利技术的蓝宝石切片立式双面研磨设备的左视图；图4为本专利技术的蓝宝石切片立式双面研磨设备的仰视图；图5为本专利技术的第一研磨盘的结构示意图；图6为本专利技术的第二研磨盘与气缸的的连接结构示意图。附图标记说明：1第一研磨盘2第二研磨盘3转动齿圈4驱动齿轮5支撑齿轮6内齿轮7外齿圈8游星轮9内齿轮电机10研磨盘支撑圈11升降装置12驱动齿轮驱动电机具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。在本专利技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是指参考附图所示的上、下；“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外。下面将参考附图并结合实施方式来详细说明本专利技术。本专利技术提供一种蓝宝石切片立式双面研磨设备，如图1至图6所示，所述蓝宝石切片立式双面研磨设备，包括：第一研磨盘1和第二研磨盘2，所述第一研磨盘1和所述第二研磨盘2平行设置，且所述第一研磨盘1和所述第二研磨盘2能够在不与地面垂直的第一状态和垂直地面的第二状态之间转换。优选地，所述第一状态时，所述第一研磨盘1和所述第二研磨盘2与水平面的夹角为0°到45°中任意一角度，进一步优选地，所述第一研磨盘1和所述第二研磨盘2与水平面的夹角为0°，上述中，所述水平面与地面平行。本专利技术的蓝宝石切片立式双面研磨设备通过设置两个相互平行的研磨盘，且第一研磨盘1和第二研磨盘2能够在不与地面垂直的第一状态和垂直地面的第二状态之间转换。在放置待研磨的蓝宝石切片时，第一研磨盘1和第二研磨盘2处于第一状态；在对蓝宝石切片研磨时，第一研磨盘1和第二研磨盘2处于第二状态，垂直地面设置，带动蓝宝石切片垂直地面设置，以消除蓝宝石切片自身重力对去除量的影响，避免蓝宝石切片报废。上述中，为了驱动所述第一研磨盘1和所述第二研磨盘2转动，所述蓝宝石切片立式双面研磨设备包括转动齿圈3、驱动齿轮4和驱动齿轮驱动电机12，所述转动齿圈3的轴线平行地面设置，且所述转动齿圈3的外周面上设有轮齿，所述驱动齿轮4与所述轮齿啮合，所述驱动齿轮4安装在所述驱动齿轮驱动电机12的转动轴上，所述驱动齿轮驱动电机12通过带动所述驱动齿轮4以驱动所述转动齿圈3转动，所述第一研磨盘1和所述第二研磨盘2可转动的安装在所述转动齿圈3的内周。这样的设置使得所述第一研磨盘1和所述第二研磨盘2能够在不与地面垂直的第一状态和垂直地面的第二状态之间转换。上述中，为了配合所述转动齿圈3转动，所述蓝宝石切片立式双面研磨设备包括支撑齿轮5，所述支撑齿轮5和所述驱动齿轮4设置在所述转动齿圈3靠近地面的一侧，且同时与所述转动齿圈3啮合。所述支撑齿轮5为所述转动齿圈3提供支撑，其中，所述支撑齿轮5的个数可以为一个或者多个。优选的，所述支撑齿轮5的个数为两个。为了保持所述蓝宝石切片立式双面研磨设备的动平衡，所述第一研磨盘1和所述第二研磨盘2的转动轴沿所述转动齿圈3的径向设置。这样的设置使得在所述第一研磨盘1和所述第二研磨盘2绕转动轴转动时，所述第一研磨盘1和所述第二研磨盘2形成一个陀螺转子，所述第一研磨盘1和所述第二研磨盘2的自转轴在惯性空间中的指向保持稳定不变，即指向一个固定的方向，同时反抗任何改变陀螺转子轴向的力量，这样的设置利用陀螺转子的定轴性，保持所述蓝宝石切片立式双面研磨设备的动平衡，使得转动齿圈3不会主动转动，以使得所述第一研磨盘1和所述第二研磨盘2在工作时保持第二状态。为了提高蓝宝石切片的打磨质量，所述蓝宝石切片立式双面研磨设备包括内齿轮6、外齿圈7和游星轮8，所述内齿轮6和所述外齿圈7同时与所述第一研磨盘1同轴线设置，且同时安装在所述第一研磨盘1靠近所述第二研磨盘本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蓝宝石切片立式双面研磨设备，其特征在于，包括：第一研磨盘(1)和第二研磨盘(2)，所述第一研磨盘(1)和所述第二研磨盘(2)平行设置，且所述第一研磨盘(1)和所述第二研磨盘(2)能够在不与地面垂直的第一状态和垂直地面的第二状态之间转换。

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石切片立式双面研磨设备，其特征在于，包括：第一研磨盘(1)和第二研磨盘(2)，所述第一研磨盘(1)和所述第二研磨盘(2)平行设置，且所述第一研磨盘(1)和所述第二研磨盘(2)能够在不与地面垂直的第一状态和垂直地面的第二状态之间转换。2.根据权利要求1所述的蓝宝石切片立式双面研磨设备，其特征在于，所述蓝宝石切片立式双面研磨设备包括转动齿圈(3)和驱动齿轮(4)，所述转动齿圈(3)的轴线平行地面设置，且外周面上设有轮齿，所述驱动齿轮(4)与所述轮齿啮合，所述第一研磨盘(1)和所述第二研磨盘(2)可转动的安装在所述转动齿圈(3)的内周。3.根据权利要求2所述的蓝宝石切片立式双面研磨设备，其特征在于，所述蓝宝石切片立式双面研磨设备包括支撑齿轮(5)，所述支撑齿轮(5)和所述驱动齿轮(4)设置在所述转动齿圈(3)靠近地面的一侧，且同时与所述转动齿圈(3)啮合。4.根据权利要求2所述的蓝宝石切片立式双面研磨设备，其特征在于，所述第一研磨盘(1)和所述第二研磨盘(2)的转动轴沿所述转动齿圈(3)的径向设置。5.根据权利要求1所述的蓝宝石切片立式双面研磨设备，其特征在于，所述蓝宝石切片立式双面研磨设备包括内齿轮(6)、外齿圈(7)和游星轮(8)，所述内齿轮(6)和所述外齿圈(7)与所述第一研磨盘(1)同轴线设置，且安装在所述第一研磨盘(1)靠近所述第二研磨盘(2)的端面...

【专利技术属性】
技术研发人员：郁炜，冯凯萍，赵天晨，尹涛，
申请(专利权)人：衢州学院，
类型：发明
国别省市：浙江,33