【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】专利说明 一、
本技术涉及一种微位移移动平台,尤其是指一种栅线相移器的微位移发生器。二
技术介绍
目前,微位移装置大多采用压电陶瓷产生微位移,在需要产生几百微米位移时通常需要采用压电陶瓷堆和高电压实施,由于使用高电压,因此,设置复杂难以精确控制,且只能用于100微米以下,而不能用于变化范围在几百纳米至几百微米微位移的场合。三、技术方案技术问题本技术提供一种适于产生几百纳米至几百微米的微位移控制简便易行且成本低廉的微位移发生器。技术方案一种用于栅线相移器的微位移发生器,包括位移平台,该位移平台由固定台和移动台组成,固定台与移动台弹性连接,在固定台上设有推杆孔,在推杆孔内设推杆,推杆的一端设在端面凸轮上,推杆的另一端设在移动台上,端面凸轮连于步进电机。有益效果①由于本技术采用了端面凸轮,使得较大的角位移可以转化为微小的直线位移,由推杆推动移动台发生微位移,步进电机所具有的脉冲控制的特性以及端面凸轮,推杆的技术措施使得本技术能够简便地控制移动台移动,且能满足该类微位移装置的精度要求并具线性好的优点,此外,本技术的这种产生位移的措施无需现有技术中用高电压来使压电陶瓷产生所需位移的技术措施,所以,本技术还具有成本低廉的优点。②本技术将端凸轮选定为螺纹推轮,而螺纹推轮可以是短螺杆,将推杆设在其螺纹侧面后,可以使推杆随螺纹推轮的旋转运动而发生轴向平移,由于螺杆的制造简单,成本低廉,所以,本技术所采用的这一技术措施具有成本更趋低廉的优点。③由于本技术所采用的推杆与移动台的相对位置关系即推杆与移动台的接触位置位于移动台的中心对称位置,而移动台又是一个轴对称结构,所以本技术 ...
【技术保护点】
一种用于栅线相移器的微位移发生器,包括位移平台,该位移平台由固定台(1)和移动台(2)组成,固定台(1)与移动台(2)弹性连接,其特征在于在固定台(1)上设有推杆孔,在推杆孔内设推杆(3),推杆(3)的一端设在端面凸轮(4)上,推杆(3)的另一端设在移动台(2)上,端面凸轮(4)连于步进电机(5)。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
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