用于喷溅装置的基材支撑体制造方法及图纸

喷溅装置和方法包括室、布置在室内的靶和布置在室内的基材支撑体，所述基材支撑体包括基本由非含铝且非磁性金属材料构成的至少一部分。基材支撑体可以包括载具和用于装纳基材的装置器。在一些实施方式中，至少载具的面朝靶的表面基本由非含铝且非磁性金属材料构成。在一些实施方式中，装置器基本由非含铝且非磁性金属材料构成。喷溅装置可以是鼓式喷溅装置。喷溅方法可以是磁控喷溅方法。

Substrate support for splashing device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于喷溅装置的基材支撑体技术背景相关申请的交叉引用本申请根据35U.S.C.§119，要求2017年02月13日提交的美国临时申请系列第62/458,207号的优先权，本文以该申请为基础并将其全文通过引用结合于此。
本公开涉及基材(例如玻璃基材，例如覆盖玻璃)的喷溅涂层。具体来说，本公开涉及用于将基材装纳在喷溅装置(例如，鼓式喷溅装置)中的基材支撑体。
技术介绍
喷溅沉积是用于在基材上沉积材料薄膜的物理气相沉积(PVD)方法。喷溅涉及从靶(源)将材料喷射到基材(例如玻璃基材)上。玻璃制品(例如覆盖玻璃，例如用于手机的覆盖玻璃)的制造可以具有一种或多种表面处理，以增强其功能和为终端用户提供积极的体验。例如，覆盖玻璃可以涂覆一层或多层涂层，以提供所需的特性。此类涂层包括减反射涂层、易清洁涂层和耐划痕涂层。可以采用喷溅工艺将这些涂层施涂到覆盖玻璃的表面上。用于沉积这些涂层的喷溅工艺应该产生提供所需特性的均匀且无缺陷的涂层。因此，需要不断革新用于玻璃制品的涂层以及将这些涂层沉积到玻璃制品表面上的方法。
技术实现思路
本公开涉及用于在喷溅装置内装纳一个或多个基材的基材支撑体，以及包括这些基材支撑体中的一个或多个的喷溅装置。一些实施方式涉及喷溅装置，其包括：室；布置在室内的靶；转鼓，其包括布置在室内的鼓框架；和基材支撑体，其包括连接到鼓框架的载具和用于装纳基材的装置器，所述装置器连接到载具的面朝靶的表面，以及其中，至少载具的面朝靶的表面基本由非含铝且非磁性金属材料构成。在一些实施方式中，根据前述段落实施方式的喷溅装置可以包括载具，其包括连接到载具的面朝靶的表面的夹具，用于将装置器夹在载具上。在一些实施方式中，夹具可以基本由非含铝且非磁性材料构成。在一些实施方式中，任意前述段落实施方式还可以包括装置器，所述装置器基本由非含铝且非磁性金属材料构成。在一些实施方式中，任意前述段落实施方式可以包括载具，所述载具基本由非含铝且非磁性金属材料构成。在一些实施方式中，任意前述段落实施方式可以包括基材支撑体，所述基材支撑体基本由非含铝且非磁性金属材料构成。在一些实施方式中，任意前述段落实施方式可以包括载具，其中，至少载具的面朝靶的表面基本由不锈钢316构成。在一些实施方式中，任意前述段落实施方式可以包括基材支撑体，其中，至少90体积％的基材支撑体基本由非含铝且非磁性金属材料构成。在一些实施方式中，任意前述段落实施方式可以包括载具，所述载具包括限定了载具的面朝靶的表面的板。在一些实施方式中，板可以是中空板，和/或板可以基本由不具有磁荷的不锈钢316构成。在一些实施方式中，可以通过在600摄氏度至1400摄氏度的温度范围对不锈钢进行热处理来去除磁荷。在一些实施方式中，任意前述段落实施方式可以包括装置器，其包括底板和连接到底板的顶板，用于在它们之间夹住基材，以及顶板和底板基本由非含铝且非磁性金属材料构成。在一些实施方式中，任意前述段落实施方式可以包括装置器，其包括真空板，所述真空板具有多个通孔和布置在真空板的顶表面的一部分上的双面粘合剂层，用于与基材粘附，以及真空板基本由非含铝且非磁性金属材料构成。在一些实施方式中，任意前述段落实施方式可以包括连接到载具的面朝靶的表面的多个装置器，至少一个装置器用于装纳至少一个基材，以及载具包括一个或多个夹具用于将装置器夹到载具上。在一些实施方式中，任意前述段落实施方式可以包括载具，其中，至少载具的面朝靶的表面基本由选自下组的材料构成：铜合金和钛合金。在一些实施方式中，任意前述段落实施方式可以包括载具，其中，至少载具的面朝靶的表面基本由20℃时的热膨胀系数等于或小于21.6ppm/℃的材料构成。在一些实施方式中，任意前述段落实施方式可以包括载具，其中，至少载具的面朝靶的表面基本由20℃时的热膨胀系数等于或小于18ppm/℃的材料构成。在一些实施方式中，任意前述段落的实施方式可以包括重量是100千克或更轻的载具。一些实施方式可以涉及喷溅方法，其包括如下步骤：将基材连接到载具；将载具连接到转鼓，所述转鼓包括鼓框架，所述鼓框架布置在喷溅装置的室内，所述室包括布置在室内的靶；以及用涂层涂覆基材，其中，至少载具的面朝靶的表面基本由20℃时的热膨胀系数等于或小于18ppm/℃的非含铝且非磁性金属材料构成。在一些实施方式中，前述段落的喷溅方法可以是鼓式喷溅方法。在一些实施方式中，任意前述段落的喷溅方法可以是磁控喷溅方法。在一些实施方式中，任意前述段落的喷溅方法可以包括：将基材连接到装置器和将装置器连接到载具，从而将基材连接到载具，其中，装置器基本由20℃时的热膨胀系数等于或小于18ppm/℃的非含铝且非磁性金属材料构成。在一些实施方式中，任意前述段落的喷溅方法可以包括：在一次或多次基材涂覆过程之后，用强酸和强碱对载具的面朝靶的表面进行蚀刻，以从面朝靶的表面去除涂层材料。一些实施方式涉及喷溅装置，其包括：室；布置在室内的靶；布置在室内的基材支撑体，所述基材支撑体包括载具和用于装纳基材的装置器，所述装置器连接到载具的面朝靶的表面，其中，至少载具的面朝靶的表面基本由非含铝且非磁性金属材料构成。一些实施方式涉及一种制品，其包括经涂覆的覆盖玻璃，所述经涂覆的覆盖玻璃由如下喷溅方法制造，该方法包括：将覆盖玻璃连接到载具；将载具连接到转鼓，所述转鼓包括鼓框架，所述鼓框架布置在喷溅装置的室内，所述室包括布置在室内的靶；以及用涂层涂覆覆盖玻璃，其中，至少载具的面朝靶的表面基本由20℃时的热膨胀系数等于或小于18ppm/℃的非含铝且非磁性金属材料构成。在一些实施方式中，根据前述段落的制品可以是消费者电子产品，所述消费者电子产品包括：具有前表面、背表面和侧表面的外壳；至少部分提供在外壳内的电子组件，所述电子组件至少包括控制器、存储器和显示器，所述显示器提供在外壳的前表面或者与外壳的前表面相邻；以及布置在显示器上方的前述段落的经涂覆的覆盖玻璃。附图说明被结合入本文的附图形成说明书的一部分且阐述了本公开的实施方式。结合说明书，附图进一步起到解释所公开的实施方式的原理并使得相关领域技术人员能够执行和使用的作用。这些附图旨在是说明性的，而不是限制性的。虽然在这些实施方式的上下文中描述了本公开，但是应理解的是，并不旨在将本公开的范围限制为这些特定实施方式。在附图中，相同附图标记表示相同或功能相似元件。图1显示根据一些实施方式的喷溅装置。图2A显示根据一些实施方式的基材支撑体和框架的横截面图。图2B显示根据一些实施方式的基材支撑体和框架的横截面图。图3A显示根据一些实施方式的用于装纳至少一个基材的装置器。图3B显示根据一些实施方式的图3A中的装置器的孔沿线3B-3B’的横截面图。图4显示根据一些实施方式的装置器组合件。图5显示根据一些实施方式的基材支撑体。图6显示根据一些实施方式的用于装纳至少一个基材的真空装置器。图7显示沿图6中的线7-7’的横截面图。图8显示根据一些实施方式的固定到真空装置器的多个玻璃基材。图9显示根据一些实施方式的真空盒。图10显示根据一些实施方式，用于将基材装载到喷溅装置中的工艺流程图。图11显示根据一些实施方式的喷溅沉积过程的流程图。图12显示根据一些实施方式的消费者产品。具体实施方式本公开的以下例子是示意性的，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种喷溅装置，其包括：室；布置在室内的靶；转鼓，所述转鼓包括布置在室内的鼓框架；和基材支撑体，所述基材支撑体包括连接到鼓框架的载具和用于装纳基材的装置器，所述装置器连接到载具的面朝靶的表面，其中，至少载具的面朝靶的表面基本由非含铝且非磁性金属材料构成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.13 US 62/458,2071.一种喷溅装置，其包括：室；布置在室内的靶；转鼓，所述转鼓包括布置在室内的鼓框架；和基材支撑体，所述基材支撑体包括连接到鼓框架的载具和用于装纳基材的装置器，所述装置器连接到载具的面朝靶的表面，其中，至少载具的面朝靶的表面基本由非含铝且非磁性金属材料构成。2.如权利要求1所述的喷溅装置，其中，载具包括连接到载具的面朝靶的表面的夹具，用于将装置器夹到载具上。3.如权利要求2所述的喷溅装置，其中，夹具基本由非含铝且非磁性金属材料构成。4.如权利要求1-3中任一项所述的喷溅装置，其中，装置器基本由非含铝且非磁性金属材料构成。5.如权利要求1-4中任一项所述的喷溅装置，其中，载具基本由非含铝且非磁性金属材料构成。6.如权利要求1-5中任一项所述的喷溅装置，其中，基材支撑体基本由非含铝且非磁性金属材料构成。7.如权利要求1-6中任一项所述的喷溅装置，其中，至少载具的面朝靶的表面基本由不锈钢316构成。8.如权利要求1-7中任一项所述的喷溅装置，其中，至少90体积％的基材支撑体基本由非含铝且非磁性金属材料构成。9.如权利要求1-8中任一项所述的喷溅装置，其中，载具包括限定了载具的面朝靶的表面的板。10.如权利要求9所述的喷溅装置，其中，板是中空板。11.如权利要求9所述的喷溅装置，其中，板基本由不含磁荷的不锈钢316构成。12.如权利要求1-11中任一项所述的喷溅装置，其中，装置器包括底板和连接到底板的顶板，用于在它们之间夹住基材，以及其中，顶板和底板基本由非含铝且非磁性金属材料构成。13.如权利要求1-12中任一项所述的喷溅装置，其中，装置器包括真空板，所述真空板包括多个通孔和布置在真空板的顶表面的一部分上的双面粘合剂层，用于使其与基材粘附，以及其中，真空板基本由非含铝且非磁性金属材料构成。14.如权利要求1-13中任一项所述的喷溅装置，其还包括连接到载具的面朝靶的表面的多个装置器，至少一个装置器用于装纳至少一个基材，以及其中，载具包括一个或多个夹具用于将装置器夹到载具上。15.如权利要求1-14中任一项所述的喷溅装置，其中，至少载具的面朝靶的表面基本由选自下组的材料构成：铜合金和钛合金。16.如权利要求1-15中任一项所述的喷溅装...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳煦，潘业光，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US