工艺数据管理方法及设备技术

本发明专利技术提供一种工艺数据管理方法及设备，所述方法包括：接收工艺数据采集设备上报的发生了变化的工艺标识信息，其中，所述工艺标识信息为可表征各个工艺步骤的工艺内容的信息；根据所述发生了变化的工艺标识信息在所述工艺数据采集设备采集的所有工艺数据中查找与所述发生了变化的工艺标识信息对应的目标工艺数据，并对所述目标工艺数据进行解析处理，得到解析数据；将所述解析数据按照预设格式存储在本地文件中。采用本发明专利技术，降低了工艺数据管理设备中应用程序的运行压力，实现了工艺数据自动导出的功能，降低了用户查询使用时，进行筛选、查询操作的复杂度，节省了大量的在线查询、解析等待时间。

Process Data Management Method and Equipment

【技术实现步骤摘要】
工艺数据管理方法及设备
本专利技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种工艺数据管理方法及设备。
技术介绍
在生产半导体的工艺过程中，工艺人员可以通过对采集到的工艺数据进行分析，根据不同参数(如功率、电压、电流、压力等)间的内在关系了解工艺过程中相关参数的各种波动，从而实现对工艺过程的有效监控，以便及时发现工艺过程中的异常情况，并依此改进工艺，提高工艺质量等。现有技术中，工艺人员获取工艺数据时，需要在线向半导体设备发送请求，半导体设备对采集的工艺数据进行预处理，处理成便于工艺人员进行分析处理的文本格式，然后再返回给工艺人员。但是，此过程中需要多次向设备发送请求，且设备需要对工艺数据进行在线处理，耗时较长，用户体验较差。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种工艺数据管理方法及设备。为实现本专利技术的目的，一方面提供一种工艺数据管理方法，所述方法包括：接收工艺数据采集设备上报的发生了变化的工艺标识信息，其中，所述工艺标识信息为可表征各个工艺步骤的工艺内容的信息；根据所述发生了变化的工艺标识信息在所述工艺数据采集设备采集的所有工艺数据中查找与所述发生了变化的工艺标识信息对应的目标工艺数据，并对所述目标工艺数据进行解析处理，得到解析数据；将所述解析数据按照预设格式存储在本地文件中。可选地，所述工艺标识信息包物料名称、时间、批次号、腔室名称、执行动作及工艺步骤中的一项或多项。可选地，在所述接收工艺数据采集设备上报的发生了变化的工艺标识信息之前，还包括：与所述工艺数据采集设备建立订阅关系，使所述工艺数据采集设备在所述工艺标识信息发生变化时上报所述发生了变化的工艺标识信息。可选地，将所述解析数据按照预设格式存储在本地文件中，包括：判断本地指定目录下以指定命方式命名的文件夹中是否存在与所述发生了变化的工艺标识信息对应的纯文本文件；如果存在，则将所述解析数据存储在所述纯文本文件中；如果不存在，则创建一个所述纯文本文件，再将所述解析数据存储在所述纯文本文件中。可选地，所述方法还包括：若接收到用户查询请求，则根据所述用户查询请求中携带的工艺标识信息在本地文件中进行查找，直接打开查找到的与所述用户查询请求对应的本地文件。为实现本专利技术的目的，另一方面提供一种工艺数据管理设备，所述设备包括接收模块、解析模块及存储模块，其中：所述接收模块，用于接收工艺数据采集设备上报的发生了变化的工艺标识信息，其中，所述工艺标识信息为可表征各个工艺步骤的工艺内容的信息；所述解析模块，用于根据所述发生了变化的工艺标识信息在所述工艺数据采集设备采集的所有工艺数据中查找与所述发生了变化的工艺标识信息对应的目标工艺数据，并对所述目标工艺数据进行解析处理，得到解析数据；所述存储模块，用于将所述解析数据按照预设格式存储在本地文件中。可选地，所述工艺标识信息包括物料名称、时间、批次号、腔室名称、执行动作及工艺步骤中的一项或多项。可选地，还包括：订阅模块，用于与所述工艺数据采集设备建立订阅关系，使所述工艺数据采集设备在所述工艺标识信息发生变化时上报所述发生了变化的工艺标识信息。可选地，所述存储模块包括：判断单元，用于判断本地指定目录下以指定命方式命名的文件夹中是否存在与所述发生了变化的工艺标识信息对应的纯文本文件；直接存储单元，用于在所述判断单元判断所述纯文本文件存在时，将所述解析数据存储在所述纯文本文件中；创建存储单元，用于在所述判断单元判断所述纯文本文件不存在时，创建一个所述纯文本文件，再将所述解析数据存储在所述纯文本文件中。。可选地，还包括：查询模块，用于接收用户查询请求，根据所述用户查询请求中携带的工艺标识信息在本地文件中进行查找，并直接打开查找到的与所述用户查询请求对应的目标本地文件。本专利技术具有以下有益效果：本专利技术提供的工艺数据管理方法，可以接收工艺数据采集设备上报的工艺数据和表征各个工艺步骤的工艺内容信息的工艺标识信息，当接收到发生了变化的工艺标识信息时，可以根据该发生了变化的工艺标识信息在所有工艺数据中查找与该发生了变化的工艺标识信息对应的目标工艺数据，并对目标工艺数据进行解析处理，得到解析数据；然后可以将所述解析数据按照预设格式存储在本地文件中，以供用户查询使用，如此采用后台异步处理的方式进行工艺数据管理，降低了工艺数据管理设备中应用程序的运行压力，实现了工艺数据自动导出的功能，降低了用户查询使用时，进行筛选、查询操作的复杂度，节省了大量的在线查询、解析等待时间。附图说明图1为为本实施例提供的工艺数据管理方法的流程示意图；图2为本实施例提供的工艺数据管理设备的模块化结构示意图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图来对本专利技术提供的工艺数据管理方法及设备进行详细描述。本实施例提供一种工艺数据管理方法，可应用于半导体生产系统中的工艺数据管理设备，实现工艺数据管理功能可以基于一台设备(既采集数据也处理数据)，也可以基于一个系统，即多台设备(如包括负责数据采集的设备和负责数据具体处理的设备)，共同完成工艺数据的导出。采用本实施例，可以通过工艺标识信息解析工艺数据，并将解析后的工艺数据存储到本地，以供用户查询使用。如此采用后台异步处理的方式进行工艺数据管理，降低了工艺数据管理设备中应用程序的运行压力，实现了工艺数据自动导出的功能，降低了用户查询使用时，进行筛选、查询操作的复杂度，节省了大量的在线查询、解析及等待时间。图1为本实施例提供的工艺数据管理方法的流程示意图，下面结合附图对该方法进行详细说明。步骤S1，接收工艺数据采集设备上报的发生了变化的工艺标识信息，其中，工艺标识信息为可表征各个工艺步骤的工艺内容的信息。在本实施例中，工艺数据可以理解为具体的物料名称(如1号晶圆)、时间(如2019.05.24)、批次号(如第1批)及执行动作(如完成退火工艺)等信息的集合，具体地，这些数据通常是以如表1所示的数字形式存储在设备中，工艺数据采集设备可以按照工艺步骤为单位时间，当步骤开始时启动采集机制并以增量采集的方式收集工艺数据，当有新的工艺数据值产生时，系统将产生的新值以及采集时间以追加记录的方式临时保存成一字符串，并在每步骤结束后将所有的字符串信息实时的记录在数据库系统中，数据库中记录的为原始工艺数据变化点的集合。为了实现对这些数字形式存储的工艺数据进行解析预处理，可以根据该工艺数据定义各工艺步骤中表征工艺内容等信息的工艺标识信息(如TransferData)，用来实时记录物料、工艺执行、传输等信息，如此，工艺数据管理设备只需订阅该工艺标识信息，便可直接读取到该工艺标识信息表征的所有工艺内容的描述信息。表1：参数Pressure保存在数据库中的原始数据信息具体地，工艺标识信息可以包括物料名称、时间、批次号、腔室名称、执行动作及工艺步骤中的一项或多项。比如一条工艺标识信息的书写形式可以为：2018-05-0915:37:30.581#Marathon-Esc-150509153405#PM2##finishedProcessStep#LP3.6#6:Dep#，其中，2018-05-0915:37:30.581表征时间，Marathon-Esc-150509153405表征批次，LP3.6表征晶圆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工艺数据管理方法，其特征在于，所述方法包括：接收工艺数据采集设备上报的发生了变化的工艺标识信息，其中，所述工艺标识信息为可表征各个工艺步骤的工艺内容的信息；根据所述发生了变化的工艺标识信息在所述工艺数据采集设备采集的所有工艺数据中查找与所述发生了变化的工艺标识信息对应的目标工艺数据，并对所述目标工艺数据进行解析处理，得到解析数据；将所述解析数据按照预设格式存储在本地文件中。

【技术特征摘要】
1.一种工艺数据管理方法，其特征在于，所述方法包括：接收工艺数据采集设备上报的发生了变化的工艺标识信息，其中，所述工艺标识信息为可表征各个工艺步骤的工艺内容的信息；根据所述发生了变化的工艺标识信息在所述工艺数据采集设备采集的所有工艺数据中查找与所述发生了变化的工艺标识信息对应的目标工艺数据，并对所述目标工艺数据进行解析处理，得到解析数据；将所述解析数据按照预设格式存储在本地文件中。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工艺标识信息包括物料名称、时间、批次号、腔室名称、执行动作及工艺步骤中的一项或多项。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在所述接收工艺数据采集设备上报的发生了变化的工艺标识信息之前，还包括：与所述工艺数据采集设备建立订阅关系，使所述工艺数据采集设备在工艺标识信息发生变化时上报所述发生了变化的工艺标识信息。4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，将所述解析数据按照预设格式存储在本地文件中，包括：判断本地指定目录下以指定命方式命名的文件夹中是否存在与所述发生了变化的工艺标识信息对应的纯文本文件；如果存在，则将所述解析数据存储在所述纯文本文件中；如果不存在，则创建一个所述纯文本文件，再将所述解析数据存储在所述纯文本文件中。5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：若接收到用户查询请求，则根据所述用户查询请求中携带的工艺标识信息在本地文件中进行查找，直接打开查找到的与所述用户查询请求对应的本地文件。6.一种工艺数据管理设备，其特征在于，所述设备包括接收模块、解析模块及...

【专利技术属性】
技术研发人员：相会凤，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11