蒸镀掩模包装体以及蒸镀掩模用包装装置。蒸镀掩模包装体具备第一基部、与第一基部相对的第二基部以及配置在第一基部与第二基部之间且形成有多个贯通孔的蒸镀掩模。在蒸镀掩模的宽度方向两侧配置有隔离件。在蒸镀掩模与第二基部之间配置有第一片材。第二基部具有在俯视时配置在蒸镀掩模的长度方向上的两端部中的至少一方的凸部。凸部按压第一片材。在凸部的周边，在第一片材与第二基部之间形成有空隙。
Steaming mask packaging and packaging device for steaming mask
【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模包装体以及蒸镀掩模用包装装置
本公开的实施方式涉及包装包括多个贯通孔的蒸镀掩模的蒸镀掩模包装体以及蒸镀掩模用包装装置。
技术介绍
近年来，对于在智能手机和平板PC等可携带的设备中使用的显示装置提出了高精细要求，例如要求像素密度在500ppi以上。并且，在可携带的设备中，用于适应超高清的需求日益增加，在这种情况下，希望显示装置的像素密度在例如800ppi以上。在显示装置中，由于响应性良好、耗电低、对比度高，有机EL显示装置也受到关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，公开有利用形成有按照期望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模，按照期望的图案，形成像素的方法。具体地，首先，将蒸镀掩模紧贴于有机EL显示装置用基板，其次，将紧贴的蒸镀掩模以及基板同时放入蒸镀装置，进行将有机材料蒸镀于基板的蒸镀工序。在这种情况下，为了精确制造具有高像素密度的有机EL显示装置，要求沿设计精确地再现蒸镀掩模的贯通孔的位置和形状。作为蒸镀掩模的制造方法，公开有例如如专利文献1公开，通过采用光刻技术的蚀刻在金属板形成贯通孔的方法。例如，首先，在金属板的第一面上形成第一抗蚀图案，并且在金属板的第二面上形成第二抗蚀图案。其次，蚀刻金属板的第一面中未被第一抗蚀图案覆盖的区域，从而在金属板的第一面形成第一开口部。之后，蚀刻金属板的第二面中未被第二抗蚀图案覆盖的区域，从而在金属板的第二面形成第二开口部。这时，以使第一开口部和第二开口部互通的方式进行蚀刻，从而能够形成贯通金属板的贯通孔。用于制作蒸镀掩模的金属板通过例如压延铁合金等母材而得到。除此之外，作为蒸镀掩模的制造方法，公开有例如如专利文献2公开，利用镀敷处理，制造蒸镀掩模的方法。例如在专利文献2记载的方法中，首先，准备具有导电性的基材。其次，在基材上隔开规定的空隙形成抗蚀图案。该抗蚀图案设置在应该形成蒸镀掩模的贯通孔的位置。之后，向抗蚀图案的空隙供给镀敷液，通过电解镀敷处理，使金属层析出在基材上。之后，通过从基材分离金属层，从而能够得到形成多个贯通孔的蒸镀掩模。在这样利用镀敷处理的情况下，能够实现贯通孔的高精密化。先行技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5382259号公报专利文献2：日本特开2001-234385号公报在输送蒸镀掩模时，有时将蒸镀掩模夹持在以塑料板等制作的承受部(第一基部)和盖部(第二基部)之间。但是，在这种情况下，存在从承受部和盖部施加于蒸镀掩模的压力在局部变为不均匀的可能性。由此，当外部的振动经由承受部和盖部传递至蒸镀掩模时，蒸镀掩模中压力相对弱的部分相对于承受部以及盖部进行相对移动，从而存在蒸镀掩模有可能塑性变形的问题。其中，在利用蒸镀掩模，使蒸镀材料在基板上成膜时，除了基板之外，蒸镀材料还附在蒸镀掩模上。例如，在蒸镀材料中存在沿相对于蒸镀掩模的法线方向大幅倾斜的方向朝向基板的蒸镀材料，这样的蒸镀材料在到达基板之前到达蒸镀掩模的贯通孔的壁面且附着。在这种情况下，蒸镀材料难以附在基板中位于蒸镀掩模的贯通孔壁面附近的区域，其结果，有可能出现附着的蒸镀材料的厚度变得比其它部分小或者产生没有附着蒸镀材料的部分。即、有可能出现蒸镀掩模的贯通孔壁面附近的蒸镀变得不稳定。其结果，降低有机EL显示装置的发光效率。为了解决这样的问题，可以采用缩小用于制造蒸镀掩模的金属板的厚度的方法。这是因为通过缩小金属板的厚度，能够缩小蒸镀掩模的贯通孔壁面的高度，由此，能够降低蒸镀材料中附在贯通孔壁面的蒸镀材料的比例。这样，为了抑制有机EL显示装置的发光效率的下降，呈现出蒸镀掩模的厚度变薄的趋势。因此，希望即使是厚度较薄的蒸镀掩模也抑制输送时的塑性变形。并且，还存在因为输送时的温度变化，蒸镀掩模可以塑性变形的问题。即、当承受部、盖部、蒸镀掩模的热膨胀系数不同时，各部件的温度变化导致的尺寸变化不同，存在蒸镀掩模有可能塑性变形为皱纹状的问题。
技术实现思路
本公开的实施方式的目的在于提供能够抑制输送时蒸镀掩模塑性变形的蒸镀掩模包装体以及蒸镀掩模用包装装置。解决课题的手段本公开的第一方面是蒸镀掩模包装体，其具备：第一基部；第二基部，其与所述第一基部相对；蒸镀掩模，其配置在所述第一基部与所述第二基部之间，并且形成有多个贯通孔；隔离件，其配置在所述蒸镀掩模的宽度方向两侧；以及第一片材，其配置在所述蒸镀掩模与所述第二基部之间，其中，所述第二基部具有凸部，在俯视时，所述凸部配置在所述蒸镀掩模的长度方向上的两端部中的至少一方，所述凸部按压所述第一片材，在所述凸部的周边，在所述第一片材与所述第二基部之间形成有空隙。根据本公开的第二方面，在上述的第一方面的蒸镀掩模包装体中，在俯视时，所述凸部与所述贯通孔未重叠。根据本公开的第三方面，在上述的第一方面或者第二方面的蒸镀掩模包装体中，所述蒸镀掩模具有设置在所述长度方向上的两端部的端部开口部，在俯视时，所述凸部配置在与对应的所述端部开口部重叠的位置处。根据本公开的第四方面，在上述的第三方面的蒸镀掩模包装体中，在俯视时，所述凸部未从对应的所述端部开口部超出。根据本公开的第五方面，在上述的第一方面或者第二方面的蒸镀掩模包装体中，所述凸部在所述蒸镀掩模的宽度方向上延伸。根据本公开的第六方面，在上述的第一方面的蒸镀掩模包装体中，所述凸部在所述蒸镀掩模的长度方向上延伸。根据本公开的第七方面，在上述的第六方面的蒸镀掩模包装体中，在俯视时，所述凸部配置在所述蒸镀掩模的长度方向上的两端部，一对所述凸部被一体化而以连续状形成。根据本公开的第八方面，在上述的第一方面～第七方面的蒸镀掩模包装体中，所述凸部的硬度比所述第一基部的硬度以及所述第二基部的硬度低。根据本公开的第九方面，在上述的第一方面～第八方面的蒸镀掩模包装体中，所述隔离件的硬度比所述第一基部的硬度以及所述第二基部的硬度高。根据本公开的第十方面，在所述第一片材与所述第二基部之间配置有第四片材，所述第四片材的厚度比所述第一片材的厚度厚。本公开的第十一方面是蒸镀掩模包装体，其具备：第一基部；第二基部，其与所述第一基部相对；蒸镀掩模，其配置在所述第一基部与所述第二基部之间，并且形成有多个贯通孔；隔离件，其配置在所述蒸镀掩模的宽度方向两侧；以及第一片材，其配置在所述蒸镀掩模与所述第二基部之间，其中，所述第一基部具有与所述第二基部相对的相对面，所述相对面包括以朝所述第二基部侧突出的方式弯曲的弯曲面，所述弯曲面包括脊线，该脊线从所述蒸镀掩模的长度方向的一个端缘延伸到另一个端缘或者从所述蒸镀掩模的宽度方向的一个侧缘延伸到另一个侧缘。根据本公开的第十二方面，在上述的第一方面～第十一方面的蒸镀掩模包装体中，还具备第二片材，该第二片材配置在所述蒸镀掩模与所述第一基部之间。根据本公开的第十三方面，在上述的第十二方面的蒸镀掩模包装体中，在所述第一片材与所述第二片材之间层叠多个所述蒸镀掩模，在彼此邻接的所述蒸镀掩模之间配置有第三片材。本公开的第十四方面是蒸镀掩模用包装装置，其包装形成有多个贯通孔且具有长度方向的蒸镀掩模，其具备：第一基部；第二基部，其与所述第一基部相对；以及一对隔离件，所述一对隔离件配置在所述第一基部与所述第二基部之间，且在一对所述隔离件之间划定收容所述蒸镀掩模的收容空间，其中，所述第二基部具有凸部，在俯视时，所述凸部配置在所述收本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模包装体，其具备：第一基部；第二基部，其与所述第一基部相对；蒸镀掩模，其配置在所述第一基部与所述第二基部之间，并且形成有多个贯通孔；隔离件，其配置在所述蒸镀掩模的宽度方向两侧；以及第一片材，其配置在所述蒸镀掩模与所述第二基部之间，其中，所述第二基部具有凸部，在俯视时，所述凸部配置在所述蒸镀掩模的长度方向上的两端部中的至少一方，所述凸部按压所述第一片材，在所述凸部的周边，在所述第一片材与所述第二基部之间形成有空隙。
【技术特征摘要】
2018.03.30 JP 2018-0696121.一种蒸镀掩模包装体，其具备：第一基部；第二基部，其与所述第一基部相对；蒸镀掩模，其配置在所述第一基部与所述第二基部之间，并且形成有多个贯通孔；隔离件，其配置在所述蒸镀掩模的宽度方向两侧；以及第一片材，其配置在所述蒸镀掩模与所述第二基部之间，其中，所述第二基部具有凸部，在俯视时，所述凸部配置在所述蒸镀掩模的长度方向上的两端部中的至少一方，所述凸部按压所述第一片材，在所述凸部的周边，在所述第一片材与所述第二基部之间形成有空隙。2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模包装体，其中，在俯视时，所述凸部与所述贯通孔未重叠。3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模包装体，其中，所述蒸镀掩模具有设置在所述长度方向上的两端部的端部开口部，在俯视时，所述凸部配置在与对应的所述端部开口部重叠的位置处。4.根据权利要求3所述的蒸镀掩模包装体，其中，在俯视时，所述凸部未从对应的所述端部开口部超出。5.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模包装体，其中，所述凸部在所述蒸镀掩模的宽度方向上延伸。6.根据权利要求1所述的蒸镀掩模包装体，其中，所述凸部在所述蒸镀掩模的长度方向上延伸。7.根据权利要求6所述的蒸镀掩模包装体，其中，在俯视时，所述凸部配置在所述蒸镀掩模的长度方向上的两端部，一对所述凸部被一体化而以连续状形成。8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的蒸镀掩模包装体，其中，所述凸部的硬度比所述第一基部的硬度以及所述第二基部的硬度低。9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的蒸镀掩模包装体，其中，所述隔离件的硬度比所述第一基部的硬度以及所述第二基部的硬度高。10.根据权利要求1至9中的任意一项所述的蒸镀掩模包装体，其中，在所述第一片材与所述第二基部之间配置有第四片材，所述第四片材的厚度比所述第一片材的厚度厚。11.一种蒸镀掩模包装体，其具备：第一基部；第二基部，其与...
【专利技术属性】
技术研发人员：渡部武，射场将文，
申请(专利权)人：大日本印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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