放射线检测器、放射线图像摄影装置以及制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种放射线检测器、放射线图像摄影装置以及制造方法。放射线检测器具备：基板，在具有微粒层的基材的与具有所述微粒层的面相反侧的面的像素区域，形成有对根据从放射线变换后的光而产生的电荷进行蓄积的多个像素，所述基材为可挠性且为树脂制，所述微粒层包含平均粒径为0.05μm以上且2.5μm以下的无机的微粒；变换层，设置在所述基材的设置有所述像素区域的面，将所述放射线变换为光；和增强基板，设置在层叠有所述基板以及所述变换层的层叠体的所述基板侧的面以及所述变换层侧的面的至少一方。

Radiation Detector, Radiation Image Photography Device and Manufacturing Method

【技术实现步骤摘要】
放射线检测器、放射线图像摄影装置以及制造方法
本专利技术涉及放射线检测器、放射线图像摄影装置以及制造方法。
技术介绍
以往，已知有进行以医疗诊断为目的的放射线摄影的放射线图像摄影装置。在这样的放射线图像摄影装置中，利用了用于检测透过了被摄体的放射线并生成放射线图像的放射线检测器。作为放射线检测器，有具备将放射线变换为光的闪烁器等变换层、和在基材的像素区域设有多个像素的基板的放射线检测器，其中，所述多个像素对根据由变换层变换后的光而产生的电荷进行蓄积。作为这样的放射线检测器的基板的基材，已知利用了可挠性基材的基材(例如，参照日本特开2013-217769号公报)。通过利用可挠性基材，例如能够使放射线图像摄影装置(放射线检测器)轻量化，此外存在被摄体的摄影变得容易的情况。但是，在放射线图像摄影装置的制造工序的中途等，存在放射线检测器以单体来处理的情况。在与变换层和基板被层叠的层叠方向交叉的方向上排列配置放射线检测器和电气电路，并且遍及放射线检测器以及电气电路的整体地设置了挠曲调整构件的放射线图像摄影装置中，未考虑以放射线检测器单体来处理的情况。因而，在上述结构的放射线图像摄影装置中的放射线检测器以单体来处理的情况下，变换层有可能被破坏。
技术实现思路
专利技术要解决的课题本公开提供一种放射线检测器、放射线图像摄影装置以及制造方法，较之于在与变换层和基板被层叠的层叠方向交叉的方向上排列配置放射线检测器和电气电路、且遍及放射线检测器以及电气电路的整体设置了挠曲调整构件的放射线图像摄影装置，能够抑制放射线检测器单体中的变换层的破坏。用于解决课题的手段本公开的第1形态为放射线检测器，具备：基板，在具有微粒层的基材的与具有微粒层的面相反侧的面的像素区域，形成有对根据从放射线变换后的光而产生的电荷进行蓄积的多个像素，所述基材为可挠性且为树脂制，所述微粒层包含平均粒径为0.05μm以上且2.5μm以下的无机的微粒；变换层，设置在基材的设置有像素区域的面，将放射线变换为光；和增强基板，设置在层叠有基板以及变换层的层叠体的基板侧的面以及变换层侧的面的至少一方。在上述方案中，包含平均粒径为0.05μm以上且2.5μm以下的无机的微粒的基材，可以为单层或者改变了无机微粒的含有率(重量％)的两层以上的层叠的任意构造。本公开的第2形态的放射线检测器在第1形态的放射线检测器中，基材在300℃～400℃下的热膨胀系数为20ppm/K以下。本公开的第3形态的放射线检测器在第1形态的放射线检测器或者第2形态的放射线检测器中，基材在厚度为25μm的状态下，满足400℃下的MD(MachineDirection；纵向)方向的热收缩率为0.5％以下以及500℃下的弹性模量为1GPa以上的至少一方。本公开的第4形态的放射线检测器在第1形态至第3形态的任一个形态的放射线检测器中，微粒包含原子序号比构成基材的元素大且原子序号为30以下的元素。本公开的第5形态的放射线检测器在第1形态至第4形态的任一个形态的放射线检测器中，增强基板的弯曲弹性模量为150MPa以上且2500MPa以下。本公开的第6形态的放射线检测器在第1形态至第5形态的任一个形态的放射线检测器中，增强基板的热膨胀系数相对于变换层的热膨胀系数之比为0.5以上且2以下。本公开的第7形态的放射线检测器在第1形态至第6形态的任一个形态的放射线检测器中，增强基板的热膨胀系数为30ppm/K以上且80ppm/K以下。本公开的第8形态的放射线检测器在第1形态至第7形态的任一个形态的放射线检测器中，增强基板包含具有屈服点的材料。本公开的第9形态的放射线检测器在第1形态至第8形态的任一个形态的放射线检测器中，增强基板与基材相比刚性高。本公开的第10形态的放射线检测器在第1形态至第9形态的任一个形态的放射线检测器中，增强基板的厚度比基材的厚度厚。本公开的第11形态的放射线检测器在第1形态至第10形态的任一个形态的放射线检测器中，变换层覆盖像素区域，并且设置在基材的设置有像素区域的面的一部分的区域，增强基板设置在比设置有变换层的区域大的区域。本公开的第12形态的放射线检测器在第1形态至第11形态的任一个形态的放射线检测器中，增强基板设置在层叠有基板以及变换层的层叠体的基板侧的面以及变换层侧的面，在变换层侧的面设置的增强基板的厚度比在基板侧的面设置的增强基板的厚度厚。本公开的第13形态的放射线检测器在第1形态至第12形态的任一个形态的放射线检测器中，增强基板是将塑料作为材料的基板。本公开的第14形态的放射线检测器在第13形态的放射线检测器中，塑料为聚碳酸酯以及聚对苯二甲酸乙二醇酯的至少一种。本公开的第15形态的放射线检测器在第13形态或者第14形态的放射线检测器中，塑料为苯乙烯、丙烯酸、聚缩醛、以及尼龙的至少一种。本公开的第16形态的放射线检测器在第13形态至第15形态的任一个形态的放射线检测器中，塑料为聚丙烯、ABS、工程塑料、聚对苯二甲酸乙二醇酯、以及聚苯醚的至少一种。本公开的第17形态的放射线检测器在第13形态的放射线检测器中，塑料为热可塑性的树脂。本公开的第18形态的放射线检测器在第1形态至第17形态的任一个形态的放射线检测器中，还具备：缓冲层，设置在基板与变换层之间，对变换层的热膨胀系数与基板的热膨胀系数之差进行缓冲。本公开的第19形态的放射线检测器在第1形态至第18形态的任一个形态的放射线检测器中，像素具有：传感器部，产生与被照射的放射线的剂量相应的电荷，并对产生的电荷进行蓄积；以及开关元件，将传感器部中蓄积的电荷读出。本公开的第20形态的放射线检测器在第19形态的放射线检测器中，开关元件为具有栅极电极的晶体管，基板在基材与栅极电极之间设置有由无机材料形成的层。本公开的第21形态的放射线检测器在第1形态至第20形态的任一个形态的放射线检测器中，增强基板设置在层叠有变换层的层叠体的基板侧的面，在增强基板与基板中的变换层侧的面之间还具备对变换层的侧面进行密封的密封构件。本公开的第22形态的放射线检测器在第1形态至第21形态的任一个形态的放射线检测器中，层叠体在变换层侧还具有依次层叠了粘结层、粘合层和保护层的部分，所述粘结层是对由变换层变换后的光进行反射的反射性的粘结层，所述粘合层对包含从粘结层的端部到基板的表面的区域在内的区域进行覆盖，所述保护层对粘结层以及粘合层进行覆盖，增强基板设置在层叠体的基板侧的面以及保护层侧的面的至少一方。本公开的第23形态的放射线检测器在第1形态至第21形态的任一个形态的放射线检测器中，在变换层侧还具有依次层叠了粘结层和保护层的部分，所述粘结层是对由变换层变换后的光进行反射、并对变换层整体以及包含到基板的表面的区域在内的区域进行覆盖的反射性的粘结层，所述保护层对粘结层进行覆盖，增强基板设置在层叠体的基板侧的面以及保护层侧的面的至少一方。本公开的第24形态的放射线检测器在第1形态至第23形态的任一个形态的放射线检测器中，变换层包含CsI的柱状晶体。此外，本公开的第25形态的放射线图像摄影装置具备：第1形态至第24形态的任一个形态的放射线检测器；控制部，输出用于将多个像素中蓄积的电荷读出的控制信号；驱动部，根据控制信号使得从多个像素读出电荷；和信号处理部，输入与从多个像素读出的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种放射线检测器，具备：基板，在具有微粒层的基材的与具有所述微粒层的面相反侧的面的像素区域，形成有对根据从放射线变换后的光而产生的电荷进行蓄积的多个像素，所述基材为可挠性且为树脂制，所述微粒层包含平均粒径为0.05μm以上且2.5μm以下的无机的微粒；变换层，设置在所述基材的设置有所述像素区域的面，将所述放射线变换为光；和增强基板，设置在层叠有所述基板以及所述变换层的层叠体的所述基板侧的面以及所述变换层侧的面的至少一方。

【技术特征摘要】
2018.03.19 JP 2018-051690;2018.06.22 JP 2018-119351.一种放射线检测器，具备：基板，在具有微粒层的基材的与具有所述微粒层的面相反侧的面的像素区域，形成有对根据从放射线变换后的光而产生的电荷进行蓄积的多个像素，所述基材为可挠性且为树脂制，所述微粒层包含平均粒径为0.05μm以上且2.5μm以下的无机的微粒；变换层，设置在所述基材的设置有所述像素区域的面，将所述放射线变换为光；和增强基板，设置在层叠有所述基板以及所述变换层的层叠体的所述基板侧的面以及所述变换层侧的面的至少一方。2.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，所述基材在300℃～400℃下的热膨胀系数为20ppm/K以下。3.根据权利要求1或2所述的放射线检测器，其中，所述基材在厚度为25μm的状态下，满足400℃下的纵向MD方向的热收缩率为0.5％以下以及500℃下的弹性模量为1GPa以上的至少一方。4.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，所述微粒包含原子序号比构成所述基材的元素大且原子序号为30以下的元素。5.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，所述增强基板的弯曲弹性模量为150MPa以上且2500MPa以下。6.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，所述增强基板的热膨胀系数相对于所述变换层的热膨胀系数之比为0.5以上且2以下。7.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，所述增强基板的热膨胀系数为30ppm/K以上且80ppm/K以下。8.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，所述增强基板包含具有屈服点的材料。9.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，所述增强基板与所述基材相比刚性高。10.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，所述增强基板的厚度比所述基材的厚度厚。11.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，所述变换层覆盖所述像素区域，并且设置在所述基材的设置有所述像素区域的面的一部分的区域，所述增强基板设置在比设置有所述变换层的区域大的区域。12.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，所述增强基板设置在层叠有所述基板以及所述变换层的层叠体的所述基板侧的面以及所述变换层侧的面，在所述变换层侧的面设置的增强基板的厚度比在所述基板侧的面设置的增强基板的厚度厚。13.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，所述增强基板是将塑料作为材料的基板。14.根据权利要求13所述的放射线检测器，其中，所述塑料为聚碳酸酯以及聚对苯二甲酸乙二醇酯的至少一种。15.根据权利要求13或14所述的放射线检测器，其中，所述塑料为苯乙烯、丙烯酸、聚缩醛、以及尼龙的至少一种。16.根据权利要求13所述的放射线检测器，其中，所述塑料为聚丙烯、ABS、工程塑料、聚对苯二甲酸乙二醇酯、以及聚苯醚的至少一种。17.根据权利要求13所述的放射线检测器，其中，所述塑料为热可塑性的树脂。18.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，还具备：缓冲层，设置在所述基板与所述变换层之间，对所述变换层的热膨胀系数与所述基板的热膨胀系数之差进行缓冲。19.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，所述像素具有：传感器部，产生与被照射的放射线的剂量相应的电荷，并对产生的电荷进行蓄积；和开关元件，将所述传感器部中蓄积的电荷读出。20.根据权利要求19所述的放射线检测器，其中，所述开关元件为具有栅极电极的晶体管，所述基板在所述基材与所述栅极电极之间设置有由无机材料形成的层。21.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，所述增强基板设置在层叠有所述变换层的层叠体的所述基板侧的面，在所述增强基板与所述基板中的所述变换层侧的面之间还具备对所述变换层的侧面进行密封的密封构件。22.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈田美广，赤松圭一，牛仓信一，加藤宗贵，中津川晴康，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP