检查装置及其检查方法制造方法及图纸

一种检查装置及其检查方法，检查装置(16)对具有涂层(CL)的检查对象物(W)进行检查，其具备：多个发光部(44)，它们对涂层(CL)照射截面为环形的光；拍摄部(46)，其拍摄涂层(CL)所反射的反射光；计数部(62)，其根据拍摄部(46)所拍摄到的图像，对每单位面积的环形的光像的个数进行计数；以及厚度判定部(64)，其基于计数部(62)所计数的环形的光像的个数，判定涂层(CL)的厚度的优劣。

Inspection Device and Its Inspection Method

【技术实现步骤摘要】
检查装置及其检查方法
本专利技术涉及一种检查形成有涂层的检查对象物的检查装置及其检查方法。
技术介绍
日本专利特开2014-083791号公报中，揭示了一种装置，其具备：涂覆部，其对片材的涂覆区域进行涂覆处理；以及检查部，其基于在对涂覆区域照射黑光后用相机拍摄到的图像判断是否适当地进行了涂覆。具体而言，在涂覆区域整体发出青白光的情况下判断为进行了涂覆，在涂覆区域发青白光的部分和发白光的部分混杂存在的情况下判断为未适当地进行涂覆。
技术实现思路
然而，日本专利特开2014-083791号公报的装置中，虽然能够判断有无对涂覆区域进行涂覆，但难以判断该涂覆后的涂层的厚度是否形成为合适的膜厚。于是，本专利技术的目的在于，提供一种能够检查涂层是否形成为合适的厚度的检查装置及其检查方法。本专利技术的第1形态是一种对具有涂层的检查对象物进行检查的检查装置，其具备：多个发光部，它们对所述涂层照射截面为环形的光；拍摄部，其拍摄所述涂层所反射的反射光；计数部，其根据所述拍摄部所拍摄到的图像，对每单位面积的环形的光像的个数进行计数；以及厚度判定部，其基于所述计数部所计数到的所述环形的光像的个数，判定所述涂层的厚度的优劣。本专利技术的第2形态是一种对具有涂层的检查对象物进行检查的检查装置的检查方法，其包括：照射步骤，从多个发光部对所述涂层照射截面为环形的光；拍摄步骤，拍摄所述涂层所反射的反射光；计数步骤，根据在所述拍摄步骤中拍摄到的图像，对每单位面积的环形的光像的个数进行计数；以及厚度判定步骤，基于在所述计数步骤中计数到的所述环形的光像的个数，判定所述涂层的厚度的优劣。依据本专利技术，能够检查涂层是否形成为合适的厚度。上述的目的、特征及优点应可从参照附图说明的以下的实施方式的说明容易地了解。附图说明图1是表示本实施方式的检查系统的概略图。图2是表示图1的检查设备的框体的下表面侧的概略图。图3是表示图1的检查处理部的构成的框图。图4是表示从图3的拍摄部取得的图像的概念图。图5是表示图1的检查处理部的处理顺序的流程图。图6是表示变形例1的检查处理部的构成的框图。图7是表示图6的拍摄部所拍摄到的图像的概念图。图8是表示变形例2的检查系统的概略图。图9是表示变形例2的检查处理部的构成的框图。图10是表示变形例3的检查设备的框体的下表面侧的概略图。具体实施方式对本专利技术所涉及的检查装置，列举优选的实施方式，一边参照附图一边在以下详细地说明。[实施方式]图1是表示本实施方式的检查系统10的概略图。检查系统10是对检查对象物W上的涂层CL的膜厚进行检查的系统，具备检查台12、多关节机器人14、以及检查装置16。检查对象物W具有基板ST和形成在基板ST的表面上的涂层CL，载置在检查台12上。本实施方式中，基板ST为大致长方体形状，且设为在该基板ST的上表面整体形成了涂层CL。另外，基板ST的上表面为与载置在检查台12的面相反侧的面。基板ST例如为PWB(PrintedWiringBoard：印刷线路板)、PCB(PrintedCircuitBoard：印刷电路板)或金属板等。涂层CL例如为涂料或粘合剂等。另外，涂层CL只要设置在基板ST的表面上即可，可以为未硬化的状态，也可以为已硬化的状态。多关节机器人14使相对于载置在检查台12上的检查对象物W的相对位置而变化，具有机器人主体20与机器人控制装置30。检查装置16检查涂层CL的厚度(膜厚)，具有检查设备40与检查处理部50。机器人主体20具有底座22、旋转部24、臂部26以及手部28。底座22是成为机器人主体20的基础的基座，本实施方式中设置在检查台12上。旋转部24设置在基座22上，绕着Z方向的旋转轴A1相对于基座22旋转。该旋转部24利用未图示的马达旋转。另外，本实施方式中，以Z方向为上方向，以与Z方向相反的方向为下方向。下方向是重力作用的方向。臂部26连结旋转部24与手部28，具有1个或多个臂。本实施方式中，臂部26设为3个：第1臂26a、第2臂26b、以及第3臂26c。第1臂26a设置在旋转部24上，绕着与Z方向大致正交的方向的旋转轴A2相对于旋转部24旋转。第2臂26b设置在第1臂26a上，绕着与旋转轴A2大致平行的旋转轴A3相对于第1臂26a旋转。第3臂26c设置在第2臂26b上，绕着与旋转轴A3大致平行的旋转轴A4相对于第2臂26b旋转。第1臂26a、第2臂26b以及第3臂26c各自利用未图示的马达旋转。手部28是成为机器人主体20的末端的部位，具有台架28a和将台架28a相对于臂部26(第3臂26c)可装卸地连结的连结部28b。机器人控制装置30是包含处理器及存储器的计算机，通过独立地控制对旋转部24、第1臂26a、第2臂26b以及第3臂26c进行驱动的各个马达，使手部28相对于检查对象物W相对移动。具体而言，机器人控制装置30在检查对象物W的涂层CL上方，使手部28一边与检查台12的载置面保持大致固定距离一边在X-Y方向上扫描(移动)。另外，机器人控制装置30在开始手部28的扫描(移动)时，对检查装置16输出检查开始指令，在结束该扫描(移动)时，对检查装置16输出检查结束指令。检查设备40具有框体42。框体42相对于多关节机器人14的手部28固定。图2是表示检查设备40的框体42的下表面侧的概略图。在框体42的下表面侧，配置有多个发光部44以及拍摄部46。如上所述，形成在检查对象物W的涂层CL(图1)、与在该涂层CL上方沿X-Y方向扫描(移动)的手部28(图1)的距离大致固定。因此，配置在相对于手部28固定的框体42的下表面侧的多个发光部44以及拍摄部46、与涂层CL的距离也成为大致固定。多个发光部44各自对涂层CL照射截面为环形的光。环形的光是在与从发光部44对涂层CL照射的光的光轴正交的截面上轮廓成为环形的光，该环形包含圆形以及椭圆。本实施方式的情况下，多个发光部44以形成成为同心圆的多个圆形的方式，空出规定的间隔排列。另外，本实施方式的情况下，各个发光部44为能够照射红色光、白色光等可见光的LED(LightEmittingDiode：发光二极管)，从该发光部44照射的光强度相互为同等程度。拍摄部46拍摄涂层CL所反射的反射光，具有相机镜头、光圈、快门以及拍摄元件。本实施方式的情况下，拍摄部46配置在框体42的下表面的中央，位于排列成最小的圆形的多个发光部44的内侧。图3是表示检查处理部50的构成的框图。检查处理部50具有诊断部52以及通知部54。诊断部52诊断涂层CL的厚度(膜厚)，具有图像取得控制部60、计数部62以及厚度判定部64。图像取得控制部60控制多个发光部44及拍摄部46，而取得涂层CL(图1)所反射的反射光的图像。即，图像取得控制部60一从机器人控制装置30收到检查开始指令，就使多个发光部44分别点亮。另外，图像取得控制部60一从机器人控制装置30收到检查开始指令，就使拍摄部46开始拍摄。如上所述，机器人控制装置30在使手部28在涂层CL上方开始沿X-Y方向扫描(移动)时输出检查开始指令。因此，固定在手部28的拍摄部46在与涂层CL的距离变成大致固定的状态下，与手部28一同在涂层CL上方移动。因此，图像取得控制部60能够控制拍摄部46，对涂层CL整体、针对多个涂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查装置，其对具有涂层的检查对象物进行检查，所述检查装置的特征在于，具备：多个发光部，它们对所述涂层照射截面为环形的光；拍摄部，其拍摄所述涂层所反射的反射光；计数部，其根据所述拍摄部所拍摄到的图像，对每单位面积的环形的光像的个数进行计数；以及厚度判定部，其基于所述计数部所计数到的所述环形的光像的个数，判定所述涂层的厚度的优劣。

【技术特征摘要】
2018.03.19 JP 2018-0511791.一种检查装置，其对具有涂层的检查对象物进行检查，所述检查装置的特征在于，具备：多个发光部，它们对所述涂层照射截面为环形的光；拍摄部，其拍摄所述涂层所反射的反射光；计数部，其根据所述拍摄部所拍摄到的图像，对每单位面积的环形的光像的个数进行计数；以及厚度判定部，其基于所述计数部所计数到的所述环形的光像的个数，判定所述涂层的厚度的优劣。2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述厚度判定部在所述计数部所计数到的所述环形的光像的个数为阈值以上的情况下判定所述涂层的厚度为良好，在所述计数部所计数到的所述环形的光像的个数低于所述阈值的情况下，判定所述涂层的厚度为不良。3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，具备组检测部，其根据所述拍摄部所拍摄到的图像，检测所述环形的光像的大小成为规定值以下的所述环形的光像相互在规定距离的范围内相邻的组，所述计数部对由所述组检测部检测到的所述组内每单位面积的所述环形的光像的个数进行计数。4.根据权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其特征在于，具备区域取得部，其在所述检查对象物之中，取得形成有所述涂层的形成区域，所述计数部对由所述区域取得部取得的所述形成区域内每单位面积的所述环形的光像的个数进行计数。5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，所述区域取得部基于在使所述涂层所包含的荧光物质发光的状态下所拍摄到的图像，来取得...

【专利技术属性】
技术研发人员：本脇淑雄，
申请(专利权)人：发那科株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP