阀门及吸盘制造技术

本实用新型专利技术提供一种阀门及吸盘，其中，所述吸盘包括：活塞缸，包括缸体，所述缸体的底部和侧壁围成腔体，缸体侧壁中具有分离的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与所述腔体连通，所述第二通孔与所述腔体连通；位于所述腔体中的弹性结构；位于所述腔体中的活塞杆，所述弹性结构位于所述缸体底部和活塞杆之间，所述活塞杆包括相邻的第一杆区和第二杆区，所述第一杆区用于隔离第一通孔和第二通孔，所述第二杆区用于连通第一杆区和第二杆区。

Valves and suckers

【技术实现步骤摘要】
阀门及吸盘
本技术涉及机械
，尤其涉及一种阀门及吸盘。
技术介绍
在晶圆加工或检测过程中，经常需要将晶圆固定于加工装置上，从而方便对晶圆的加工。现有半导体加工工艺中，固定晶圆的方式主要由以下三种：第一，通过夹持头对晶圆进行夹持，从而固定晶圆；第二，通过静电吸附作用将晶圆固定于加工装置上；第三，采用真空吸附的方式来固定晶圆。其中，真空吸附的方式能够使晶圆受力均匀，不容易损伤晶圆，且真空吸附对环境的要求低。因此，通过真空吸附固定晶圆的方式应用较广泛。现有的晶圆的直径为8寸或12寸。为了能够使吸盘能够固定两种尺寸的晶圆，往往将吸盘的吸附面分为两个区域，在两个区域中均形成沟槽。并通过两套真空装置分别对两个区域的沟槽进行抽真空。然而，现有的吸盘结构复杂、成本较高，且抽气管较多，抽气管容易缠绕。
技术实现思路
本技术解决的问题是提供一种阀门及吸盘，能够简化吸盘结构，降低成本，并抑制抽气管相互缠绕。为解决上述问题，本技术提供一种阀门，包括：活塞缸，包括缸体，所述缸体的底部和侧壁围成腔体，缸体侧壁中具有分离的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与所述腔体连通，所述第二通孔与所述腔体连通；位于所述腔体中的弹性结构；位于所述腔体中的活塞杆，所述弹性结构位于所述缸体底部和活塞杆之间，所述活塞杆包括相邻的第一杆区和第二杆区，所述第一杆区用于隔离第一通孔和第二通孔，所述第二杆区用于连通第一杆区和第二杆区。所述阀门结构简单，能够通过所述弹性结构顶部的压力自动调节阀门的开启和关断。与现有技术相比，本技术的技术方案具有以下优点：本技术技术方案提供的阀门中，所述阀门包括弹性结构和活塞杆。当弹性结构受到压力的作用时能够发生变形，从而使第二杆区位于所述第一通孔和第二通孔之间，使所述第一通孔和第二通孔导通，进而使所述阀门开启；当所述活塞杆顶端不具有压力时，所述第一杆区位于所述第一通孔和第二通孔之间，从而能够断开所述管道。综上，所述阀门能够根据弹性结构定的压力自动调节所述阀门的开启和关断，且所述阀门结构简单。进一步，所述阀门还包括活塞缸，所述活塞缸中具有第一凹槽和第二凹槽。在沿垂直于所述吸附面的方向上，所述第一凹槽的尺寸大于所述管道的尺寸，所述第二凹槽的尺寸大于所述管道的尺寸，则当所述阀门开启时，所述第一凹槽和第二凹槽能够增加管道中气流进出阀门的截面积，增加抽真空处理的效率。本技术技术方案提供的吸盘中，所述第一区和第二区的沟槽通过所述管道连通，且所述盘体中具有阀门，所述阀门能够控制所述管道的导通与断开。当弹性结构受到待吸附物的压力作用时能够发生变形，能够使第二杆区位于所述阀门两侧的管道之间，进而使所述阀门两侧的管道贯通；当所述活塞杆顶端不具有待吸附物时，所述第一杆区位于所述阀门两侧的管道之间，从而能够断开所述管道。综上，所述阀门能够根据待吸附物的位置自动调节所述阀门的开启和关断。附图说明图1至图5是本技术的阀门一实施例的结构示意图；图6和图7是本技术的吸盘一实施例的结构示意图。具体实施方式阀门存在诸多问题，例如：阀门结构复杂、体积较大。为解决所述技术问题，本技术提供了一种阀门，包括：活塞缸，包括缸体，所述缸体的底部和侧壁围成腔体，缸体侧壁中具有分离的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与所述腔体连通，所述第二通孔与所述腔体连通；位于所述腔体中的弹性结构；位于所述腔体中的活塞杆，所述弹性结构位于所述缸体底部和活塞杆之间，所述活塞杆包括相邻的第一杆区和第二杆区，所述第一杆区用于隔离第一通孔和第二通孔，所述第二杆区用于连通第一杆区和第二杆区。所述阀门结构简单，体积小，且能够根据弹性结构顶部压力的作用自动开启或关断。为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施例做详细的说明。图1至图5是本技术一实施例中阀门的结构示意图。请参考图1至图5，图1是本技术一实施例的阀门的立体图；图2是图1所示阀门的内部结构剖视图；图3是图1所示阀门200中活塞缸沿x方向的视图；图4是图1所示阀门中活塞缸沿y方向的视图；图5是图1所示阀门中活塞杆沿x方向的视图。所述阀门包括：活塞缸220，包括缸体，所述缸体的底部和侧壁围成腔体，缸体侧壁中具有分离的第一通孔221和第二通孔，所述第一通孔221与所述腔体连通，所述第二通孔与所述腔体连通；位于所述腔体中的弹性结构230；位于所述腔体中的活塞杆220，所述弹性结构230位于所述缸体底部和活塞杆210之间，所述活塞杆210包括相邻的第一杆区I和第二杆区II，所述第一杆区I用于隔离第一通孔221和第二通孔，所述第二杆区II用于连通第一通孔221和第二通孔。需要说明的是，由于所述阀门200包括弹性结构230，所述活塞杆210位于所述弹性结构230顶部，所述活塞杆210顶部表面凸出于所述吸附面。当所述弹性结构230在压力的作用下收缩时，使得所述活塞杆210朝向所述弹性结构230运动，进而使所述第二杆区位于所第一通孔221和第二通孔之间，从而使所述阀门200开启。当所述活塞杆210顶端不具有压力的作用时，所述第一杆区I位于所述阀门200两侧的管道110之间，从而能够断开所述管道110。综上，所述阀门200能够根据待吸附物的位置自动调节阀门的开启和关断。本实施例中，所述活塞杆210第二杆区II平行于吸附面的横截面积小于活塞杆210第一杆区I平行于吸附面的横截面积。所述活塞杆210第二杆区II沿垂直于所述活塞杆210延伸方向的平面内的任一方向上的尺寸小于所述腔体沿相同方向上的尺寸。本实施例中，所述活塞杆210第二杆区II为圆柱体；所述活塞杆210第一杆区I为圆柱体；所述腔体为圆柱体。所述第一杆区I直径大于所述第二杆区II直径。本实施例中，所述第一杆区I的直径等于所述腔体的直径；所述第二杆区II的直径小于所示腔体的直径。在其他实施例中，所述活塞杆第二杆区为棱柱体；所述容纳槽的横截面为多边形；所述活塞杆第一杆区为棱柱体。在其他实施例中，所述活塞杆第二杆区中具有杆孔，所述杆孔沿所述管道延伸方向贯穿所述活塞杆。当所述第二杆区位于所述第一通孔221和第二通孔之间时，所述杆孔使所述阀门两侧的管道导通。在沿活塞杆延伸方向上，所述第二杆区II的尺寸小于或等于所述第一通孔221的尺寸，且所述第二杆区II的尺寸小于或等于所述第二通孔的尺寸。本实施例中，所述第一通孔221的个数为多个；所述第一杆区I和第二杆区II的个数为多个，所述第一杆区I和第二杆区II交替排列。具体的，相邻第二杆区II之间的距离等于相邻第一通孔221之间的距离，且相邻第二杆区II之间的距离等于相邻第二通孔之间的距离；在沿活塞杆延伸方向上，所述第一通孔221的尺寸等于所述第二杆区II的尺寸，且所述第二通孔的尺寸等于所述第二区I杆I的尺寸。相邻第二杆区II之间的距离等于相邻第一通孔221之间的距离，且相邻第二杆区II之间的距离等于相邻第二通孔之间的距离。当所述活塞杆顶部具有压力作用时，所述第二杆区II与第一通孔221和第二通孔对齐，能够增加与所述管道110贯通的第一通孔221及第二通孔的面积，从而能够增加抽真空处理的效率。具体的，所述活塞杆210顶部与缸体之间的间距等于相邻第一杆区I和第二杆区II中心之本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阀门，其特征在于，包括：活塞缸，包括缸体，所述缸体的底部和侧壁围成腔体，缸体侧壁中具有分离的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与所述腔体连通，所述第二通孔与所述腔体连通；位于所述腔体中的弹性结构；位于所述腔体中的活塞杆，所述弹性结构位于所述缸体底部和活塞杆之间，所述活塞杆包括相邻的第一杆区和第二杆区，所述第一杆区用于隔离第一通孔和第二通孔，所述第二杆区用于连通第一通孔和第二通孔。

【技术特征摘要】
1.一种阀门，其特征在于，包括：活塞缸，包括缸体，所述缸体的底部和侧壁围成腔体，缸体侧壁中具有分离的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与所述腔体连通，所述第二通孔与所述腔体连通；位于所述腔体中的弹性结构；位于所述腔体中的活塞杆，所述弹性结构位于所述缸体底部和活塞杆之间，所述活塞杆包括相邻的第一杆区和第二杆区，所述第一杆区用于隔离第一通孔和第二通孔，所述第二杆区用于连通第一通孔和第二通孔。2.如权利要求1所述的阀门，其特征在于，所述弹性结构为弹簧或弹性塑料。3.如权利要求1所述的阀门，其特征在于，所述活塞杆第二杆区沿垂直于所述活塞杆延伸方向的平面内的任一方向上的尺寸小于所述腔体沿相同方向上的尺寸；或者，所述活塞杆第二杆区中具有杆孔，当所述第二杆区位于所述第一通孔和第二通孔之间时，所述杆孔连通所述第一通孔和第二通孔。4.如权利要求3所述的阀门，其特征在于，所述腔体为圆柱体；所述活塞杆为圆柱体，所述第一杆区直径等于所述腔体的直径；所述第二杆区直径小于第一杆区；或者，所述第二杆区中具有杆孔。5.如权利要求1所述的阀门，其特征在于，所述第一通孔的个数为多个；所述第二通孔的个数为多个；所述第一杆区和第二杆区的个数为多个，所述第一杆区和第二杆区交替排列。6.如权利要求5所述的阀门，其特征在于，相邻第二杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：张朝前，马砚忠，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44