光检测器及光检测器的制造方法技术

光检测器具备：基板；光纤，其载置于上述基板上；以及光检测元件，其相对于上述基板固定，并检测由上述光纤引导的光的散射光。

Manufacturing Method of Photodetector and Photodetector

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光检测器及光检测器的制造方法
本专利技术涉及光检测器及光检测器的制造方法。本申请基于2017年2月2日在日本申请的日本特愿2017-017430号、日本特愿2017-017476号、日本特愿2017-017477号要求优先权，并在此引用其内容。
技术介绍
以往，已知一种专利文献1所示那样的光检测器。该光检测器具备对通过光纤进行引导的光的散射光进行检测的光检测元件。在这种光检测器中，散射光的检测结果根据光检测元件与光纤的相对位置而发生变化，因此需要通过固定部件等对光检测元件与光纤进行固定。专利文献1：日本特表2013-508688号公报然而，存在若由于环境温度的变化等而使固定部件的温度发生变化，则固定部件膨胀或者收缩，从而光检测元件与光纤的相对位置产生偏移的情况。结果，散射光的检测结果伴随着固定部件的温度变化而发生变化。
技术实现思路
本专利技术是考虑这样的情况所做出的，目的在于提供能够抑制由于温度变化所引起的光检测元件与光纤的相对位置偏移的光检测器。为了解决上述课题，本专利技术的第一方式所涉及的光检测器具备：基板；光纤，其载置在上述基板上；以及光检测元件，其相对于上述基板固定，并检测由上述光纤引导的光的散射光。另外，本专利技术的第二方式所涉及的光检测器在第一方式所涉及的光检测器的基础上，还具备第一固定部件和第二固定部，它们将上述光纤相对于上述基板进行固定，上述第一固定部件在上述光纤延伸的长边方向上配置在隔着上述光检测元件的与上述第二固定部件相反的一侧，将上述第一固定部件中的、俯视观察时在与上述长边方向正交的短边方向上隔着上述光纤的一侧的部分的体积设为V1，将另一侧的部分的体积设为V2，将上述第二固定部件中的、俯视观察时上述短边方向上的上述光纤的上述一侧的部分的体积设为V3，将上述另一侧的部分的体积设为V4时，满足V1＞V2且V3＜V4、或者V1＜V2且V3＞V4中的任一方。根据上述第二方式，由于构成为第一固定部件和第二固定部件满足V1＞V2且V3＜V4、或者V1＜V2且V3＞V4中的任一方，因此伴随着温度变化而使光纤相对于光检测元件旋转移动。由此，例如与构成为光检测器为V1＞V2且V3＞V4，光纤相对于光检测元件平行移动的情况相比较，能够减小伴随着温度变化的光纤与光检测元件的相对位置的偏移。本专利技术的第三方式所涉及的光检测器在上述第二方式所涉及的光检测器的基础上，将形成上述第一固定部件的材质的线膨胀系数设为α1，将形成上述第二固定部件的材质的线膨胀系数设为α2，将俯视观察时，上述短边方向上的上述第一固定部件的重心与上述光纤的距离设为X1，将上述短边方向上的上述第二固定部件的重心与上述光纤的距离设为X2时，满足α1/α2＝X2/X1。根据上述第三方式，由于伴随着温度变化而使光纤伴以光检测元件的附近为中心旋转，因此能够更加可靠地降低光检测元件与光纤的相对位置的偏移。对于本专利技术的第四方式所涉及的光检测器的制造方法而言，上述光检测器具备：基板；光纤，其载置在上述基板上；光检测元件，其相对于上述基板固定，并检测由上述光纤引导的光的散射光；以及第一固定部件和第二固定部件，它们将上述光纤相对于上述基板进行固定，上述第一固定部件在上述光纤延伸的长边方向上配置在隔着上述光检测元件的与上述第二固定部件相反的一侧，其中，具有：第一涂敷工序，将成为上述第一固定部件的树脂涂敷于上述基板和上述光纤；体积检测工序，检测在俯视观察时上述第一固定部件中的、在与上述长边方向正交的短边方向上隔着上述光纤的一侧的部分的体积V1和另一侧的部分的体积V2；以及第二涂敷工序，基于上述体积检测工序中的检测结果，将成为所述第二固定部件的树脂涂敷于所述基板和所述光纤，将俯视观察时，所述第二固定部件中的、在上述短边方向上隔着上述光纤的上述一侧的部分的体积设为V3，将上述另一侧的部分的体积设为V4时，在上述第二涂敷工序中，以满足V1＞V2且V3＜V4、或者V1＜V2且V3＞V4的方式控制成为上述第二固定部件的树脂的排出量。根据上述第四方式的制造方法，由于基于第一固定部件的体积V1、V2的检测结果排出成为第二固定部件的树脂，因此例如在第一固定部件相对于光纤被偏向短边方向涂敷的情况下，能够以降低伴随着温度变化的光检测元件与光纤的相对位置的偏移的方式控制成为第二固定部件的树脂的排出量，来形成第二固定部件。本专利技术的第五方式所涉及的光检测器在上述第一～第三中的任一个方式所涉及的光检测器的基础上，还具备第一固定部件和第二固定部件，它们将上述光纤相对于上述基板进行固定，上述第一固定部件在上述光纤延伸的长边方向上配设在隔着上述光检测元件的与上述第二固定部件相反的一侧，上述第一固定部件由具有正的线膨胀系数的材质形成，上述第二固定部件由具有负的线膨胀系数的材质形成。根据上述第五方式的光检测器，光纤通过第一固定部件和第二固定部件被相对于基板固定。另外，第一固定部件由具有正的线膨胀系数的材质形成，第二固定部件由具有负的线膨胀系数的材质形成。因此，当在第一固定部件及第二固定部件产生了温度变化的情况下，第一固定部件及第二固定部件中的一方收缩，另一方膨胀。而且，第一固定部件及第二固定部件在光纤的长边方向上配设在隔着光检测元件的两侧。由此，例如能够抑制在第一固定部件及第二固定部件两者以具有正的线膨胀系数的材质形成的情况下，由于第一固定部件及第二固定部件两者膨胀而产生的光纤与光检测元件的相对位置偏移。另外，例如能够抑制在第一固定部件及第二固定部件两者以具有负的线膨胀系数的材质形成的情况下，由于第一固定部件及第二固定部件两者收缩，而对光纤作用张力。本专利技术的第六方式所涉及的光检测器在上述第五方式所涉及的光检测器的基础上，上述第二固定部件由在上述长边方向上具有负的线膨胀系数的材质形成。本专利技术的第七方式所涉及的光检测器在上述第五或者第六方式所涉及的光检测器的基础上，形成上述第二固定部件的材质的线膨胀系数的绝对值大于形成上述第一固定部件的材质的线膨胀系数的绝对值。根据上述第七方式，当光检测器的温度上升时，第二固定部件的收缩量超过第一固定部件的膨胀量，因此在第一固定部件与第二固定部件之间，例如能够更加可靠地抑制光纤沿上下方向或者左右方向挠曲，而相对于光检测元件的位置发生变化。本专利技术的第八方式所涉及的光检测器在上述第五～第七中的任一个方式所涉及的光检测器的基础上，将形成上述第一固定部件的材质的线膨胀系数设为αA，将形成上述第二固定部件的材质的线膨胀系数的绝对值设为αB，将上述第一固定部件的重心与上述光纤的距离设为X0A，将上述第二固定部件的重心与上述光纤的距离设为X0B时，αA/αB的值与X0B/X0A的值为大致相等的值。根据上述第八方式，在光纤被从理想的设计位置偏移地配置的情况下，由于以伴随着温度变化而使光纤以光检测元件的附近为中心旋转的方式移动，因此能够进一步降低与温度相应的光纤相对于光检测元件的距离的变化量。由此，能够进一步降低基于光检测元件的检测结果的温度依存性。本专利技术的第九方式所涉及的光检测器在上述第一～第三或者第五～第八中的任一个方式所涉及的光检测器的基础上，还具备：第一固定部件和第二固定部件，它们将上述光纤相对于上述基板进行固定；和固定台，其将上述光检测元件固定于上述基板，上述固定台具有至少一个开本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光检测器，其具备：基板；光纤，其载置在所述基板上；以及光检测元件，其相对于所述基板固定，并检测由所述光纤引导的光的散射光。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.02 JP 2017-017430;2017.02.02 JP 2017-017471.一种光检测器，其具备：基板；光纤，其载置在所述基板上；以及光检测元件，其相对于所述基板固定，并检测由所述光纤引导的光的散射光。2.根据权利要求1所述的光检测器，其还具备：第一固定部件和第二固定部，它们将所述光纤相对于所述基板进行固定，所述第一固定部件在所述光纤延伸的长边方向上配置在隔着所述光检测元件的与所述第二固定部件相反的一侧，将所述第一固定部件中的、俯视观察时在与所述长边方向正交的短边方向上隔着所述光纤的一侧的部分的体积设为V1，将另一侧的部分的体积设为V2，将所述第二固定部件中的、俯视观察时所述短边方向上的所述光纤的所述一侧的部分的体积设为V3，将所述另一侧的部分的体积设为V4时，满足V1＞V2且V3＜V4、或者V1＜V2且V3＞V4中的任一方。3.根据权利要求2所述的光检测器，其中，将形成所述第一固定部件的材质的线膨胀系数设为α1，将形成所述第二固定部件的材质的线膨胀系数设为α2，将俯视观察时所述短边方向上的所述第一固定部件的重心与所述光纤的距离设为X1，将所述短边方向上的所述第二固定部件的重心与所述光纤的距离设为X2时，满足α1/α2＝X2/X1。4.一种光检测器的制造方法，所述光检测器具备：基板；光纤，其载置在所述基板上；光检测元件，其相对于所述基板固定，并检测由所述光纤引导的光的散射光；以及第一固定部件和第二固定部件，它们将所述光纤相对于所述基板进行固定，所述第一固定部件在所述光纤延伸的长边方向上配置在隔着所述光检测元件的与所述第二固定部件相反的一侧，其中，所述光检测器的制造方法具有：第一涂敷工序，将成为所述第一固定部件的树脂涂敷于所述基板和所述光纤；体积检测工序，检测俯视观察时所述第一固定部件中的、在与所述长边方向正交的短边方向上隔着所述光纤的一侧的部分的体积V1和另一侧的部分的体积V2；以及第二涂敷工序，基于所述体积检测工序中的检测结果，将成为所述第二固定部件的树脂涂敷于所述基板和所述光纤，将俯视观察时所述第二固定部件中的、在所述短边方向上隔着所述光纤的所述一侧的部分的体积设为V3，将所述另一侧的部分的体积设为V4时，在所述第二涂敷工序中，以满足V1＞V2且V3＜V4、或者V1＜V2且V3＞V4的方式控制成为所述第二固定部件的树脂的排出量。5.根据权利要求1～3中的任一项所述的光检测器，其还具备：第一固定部件和第二固定部件，它们将所述光纤相对于所述基板进行固定，所述第一固定部件在所述光纤延伸的长边方向上配设在隔着所述光检测元件的与所述第二固定部件相反的一侧，所述第一固定部件由具有正的线膨胀系数的材质形成，所述第二固定部件由具有负的线膨胀系数的材质形成。6.根据权利要求5所述的光...

【专利技术属性】
技术研发人员：山内隆典，清山航，阪本真一，高桥明理，
申请(专利权)人：株式会社藤仓，
类型：发明
国别省市：日本,JP