空中搬送车制造技术

空中搬送车(1)沿着行驶轨道(2)行驶，将能够拆卸地设置有盖(93)的FOUP(90)以悬吊状态搬送，该空中搬送车具备：保持装置(11)，该保持装置(11)以使盖朝向与行驶方向交叉的宽度方向的状态把持FOUP；一对框架(8、8)，该一对框架(8、8)相对于保持装置设置在行驶方向上的前后；以及第一盖落下防止部件(20)，该第一盖落下防止部件(20)设置为能够在配置于盖的正面的进入位置(P1)与配置于从盖的正面退避的位置处的退避位置(P2)之间，以铅垂方向为转动轴沿着水平面转动。

Air Carrier

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】空中搬送车
本专利技术的一个方面涉及空中搬送车。
技术介绍
已知一种空中搬送车，在清洁室等的天花板附近或比地板面高的位置行驶，搬送半导体晶片或液晶基板等物品(例如专利文献1)。在这种空中搬送车中，物品以收纳于设置有盖的容器中的状态被搬送。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2000－191272号公报
技术实现思路
这种空中搬送车在高位置行驶，因此在空中搬送车的行驶轨道的下方供作业车或无人搬送车等通过、作业车进行作业。因此，有时在空中搬送车的行驶时限制作业车向行驶轨道的下方进入，以使得即使盖从空中搬送车落下也是安全的。然而，就这种应用而言，每当空中搬送车通过时都不得不限制作业车的进入，因而不便。因此，本专利技术的一个方面的目的在于提供能够防止盖从容器落下的空中搬送车。本专利技术的一个方面的空中搬送车沿着轨道行驶，将能够拆卸地设置有盖的容器以悬吊状态搬送，该空中搬送车具备：把持部，该把持部以使盖朝向与行驶方向交叉的宽度方向的状态把持容器；一对框架，该一对框架相对于把持部设置在行驶方向上的前后；以及第一盖落下防止部件，该第一盖落下防止部件设置为能够在配置于盖的正面的进入位置与配置于从盖的正面退避的位置处的退避位置之间，以铅垂方向为转动轴沿着水平面转动。在这种结构的空中搬送车中，设置有能够以铅垂方向为转动轴向配置于盖的正面的进入位置进入的第一盖落下防止部件，因此即使在盖从容器脱落的情况下，也能够在该位置支承盖。由此，能够防止盖从容器落下。本专利技术的一个方面的空中搬送车也可以为，第一盖落下防止部件的转动机构分别收纳于一对框架，在宽度方向上以盖的位置为基准位置时，转动轴的位置在从正面观察盖的情况下向基准位置的后方偏移。在这样的空中搬送车中，配置在主体框架的前后的前侧框架以及后侧框架为了减小行驶方向的移动限制而期望尽可能地缩小与行驶方向正交的宽度方向的尺寸。在这种结构的空中搬送车中，转动轴的位置在从正面观察盖的情况下向基准位置的后方偏移，因此能够使第一盖落下防止部件的转动机构靠近框架的宽度方向上的中央部。由此，即使在将防止盖从容器落下的盖落下防止部件的转动机构设置于行驶方向前后的框架的情况下，也能够抑制框架宽度方向的尺寸的增大。在本专利技术的一个方面的空中搬送车中也可以为，第一盖落下防止部件是以转动轴为基点延伸至顶端部并且具有弯曲部的板状部件，并在弯曲部与顶端部之间形成有直线部。在这种结构的空中搬送车中，例如，在第一盖落下防止部件位于进入位置时，能够使第一盖落下防止部件与盖平行。因此，容易调整第一盖落下防止部件与容器之间的距离。本专利技术的一个方面的空中搬送车中也可以为，直线部设置为，在第一盖落下防止部件位于进入位置时，该直线部与盖平行。在这种结构的空中搬送车中，容易调整第一盖落下防止部件与容器之间的距离。在本专利技术的一个方面的空中搬送车中也可以为，在将第一盖落下防止部件位于进入位置时的、行驶方向上的容器的端部与第一盖落下防止部件之间的距离设为第一距离、将容器的比端部靠中央的中央部与第一盖落下防止部件之间的距离设为第二距离时，第一距离与第二距离相同或者比第二距离长。在这种结构的空中搬送车中，容易调整第一盖落下防止部件与其容易接触的容器的端部之间的距离。在本专利技术的一个方面的空中搬送车中也可以为，还具备引导部件，该引导部件具有：沿铅垂方向延伸的圆柱状的第一支承部；以及设置为能够在与第一支承部的外周面之间维持固定的间隙的状态下沿着第一支承部的外周面转动的第二支承部，并且该引导部件分别设置于一对框架，第一盖落下防止部件设置为能够在间隙中移动。在这种结构的空中搬送车中，能够使第一盖落下防止部件顺利的向进入位置以及退避位置移动。另外，能够针对行驶时的振动而将第一盖落下防止部件稳定地收纳于框架。在本专利技术的一个方面的空中搬送车中也可以为，还具备第二盖落下防止部件，该第二盖落下防止部件设置为能够在配置于盖的下方的进入位置与配置于从盖的下方退避的位置处的退避位置之间移动，第二盖落下防止部件的向进入位置以及退避位置的移动与第一盖落下防止部件的向进入位置以及退避位置的移动连动。在这种结构的空中搬送车中，能够使各自功能不同的部件同时移动，因此能够有效地防止盖的落下。另外，例如能够利用共同的驱动源使不同的部件移动。在本专利技术的一个方面的空中搬送车中也可以为，还具备摆动防止部件，该摆动防止部件设置为能够在接触配置于容器的侧面的进入位置与配置于从容器的侧面离开的位置处的退避位置之间移动，摆动防止部件的向进入位置以及退避位置的移动与第一盖落下防止部件的向进入位置以及退避位置的移动连动。在这种结构的空中搬送车中，能够使各自功能不同的部件同时移动，因此能够有效地防止盖的落下以及容器的摆动。另外，例如能够利用共同的驱动源使不同的部件移动。专利技术效果根据本专利技术的一个方面，能够防止盖从容器落下。附图说明[图1]图1是表示一实施方式的空中搬送车的主视图。[图2]图2是图1的第一盖落下防止部件位于进入位置时的从II－II线观察到的剖视图。[图3]图3是图1的第一盖落下防止部件位于进入位置时的配置在框架内部的各机构的立体图。[图4]图4是图1的第一盖落下防止部件位于退避位置时的从II－II线观察到的剖视图。[图5]图5是图1的第一盖落下防止部件位于退避位置时的配置在框架内部的各机构的立体图。[图6]图6是放大表示引导部件附近的立体图。[图7]图7的(A)～图7的(C)是表示图1的第一盖落下防止部件从退避位置向进入位置移动的情况下的过渡的图。[图8]图8是图1的第二盖落下防止部件以及摆动防止部件位于退避位置时的俯视图。[图9]图9是图1的第二盖落下防止部件以及摆动防止部件位于进入位置时的俯视图。[图10]图10的(A)～图10的(C)是表示一实施方式的第一盖落下防止部件以及第二盖落下防止部件的功能的说明图。[图11]图11是变形例的第一盖落下防止部件位于进入位置时的配置在框架内部的各机构的立体图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的一个方面的优选实施方式进行详细说明。此外，在附图的说明中，对相同要素标注相同的附图标记，并省略重复的说明。图1所示的空中搬送车1沿着设置在清洁室的天花板等比地板面高的位置的行驶轨道(轨道)2行驶。空中搬送车1在例如保管设备与规定的装载口之间搬送FOUP(Front-OpeningUnifiedPod)(容器)90。FOUP90包括具有开口部的箱状的箱体91和覆盖开口部的盖93。盖93设置为能够相对于箱体91拆下。在FOUP90中收纳例如多枚半导体晶片或掩模版(reticle)等。FOUP90具有保持于空中搬送车1的凸缘95。在以下的说明中，为了方便说明，将图1中的左右方向(X轴方向)设为空中搬送车1的前后方向(行驶方向)。将图1中的上下方向设为空中搬送车1的铅垂方向(Z轴方向)。将图1中的进深方向设为空中搬送车1的宽度方向(Y轴方向)。X轴、Y轴以及Z轴相互正交。如图1所示，空中搬送车1具备行驶驱动部3、水平驱动部5、旋转驱动部6、升降驱动部7、升降装置10、保持装置(把持部)11、第一盖落下防止部件20、第二盖落下防止部件40、摆动防止部件70、第一盖落下防止部件20的转动机构50(参照图3)、以及第二盖落下防止部件40及摆动防止部件70的移动机构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种空中搬送车，沿着轨道行驶，将能够拆卸地设置有盖的容器以悬吊状态搬送，所述空中搬送车的特征在于，具备：把持部，该把持部以使所述盖朝向与行驶方向交叉的宽度方向的状态把持所述容器；一对框架，该一对框架相对于所述把持部设置在行驶方向上的前后；以及第一盖落下防止部件，该第一盖落下防止部件设置为能够在配置于所述盖的正面的进入位置与配置于从所述盖的正面退避的位置处的退避位置之间，以铅垂方向为转动轴沿着水平面转动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.06 JP 2017-0196861.一种空中搬送车，沿着轨道行驶，将能够拆卸地设置有盖的容器以悬吊状态搬送，所述空中搬送车的特征在于，具备：把持部，该把持部以使所述盖朝向与行驶方向交叉的宽度方向的状态把持所述容器；一对框架，该一对框架相对于所述把持部设置在行驶方向上的前后；以及第一盖落下防止部件，该第一盖落下防止部件设置为能够在配置于所述盖的正面的进入位置与配置于从所述盖的正面退避的位置处的退避位置之间，以铅垂方向为转动轴沿着水平面转动。2.根据权利要求1所述的空中搬送车，其特征在于，所述第一盖落下防止部件的转动机构分别收纳于所述一对框架，在所述宽度方向上以所述盖的位置为基准位置时，所述转动轴的位置在从正面观察所述盖的情况下向所述基准位置的后方偏移。3.根据权利要求1或2所述的空中搬送车，其特征在于，所述第一盖落下防止部件是以所述转动轴为基点延伸至顶端部并且具有弯曲部的板状部件，并在所述弯曲部与所述顶端部之间形成有直线部。4.根据权利要求3所述的空中搬送车，其特征在于，所述直线部设置为，在所述第一盖落下防止部件位于所述进入位置时，该直线部与所述盖平行。5.根据权利要求1至3中任一项所述的空中搬送车，其特征在于，在将第一盖落下防止部件位于所述进入位置时的、所述行驶...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林诚，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP