一种温度负载模拟控制系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种温度负载模拟控制系统，该系统包括调节模块和控制模块，调节模块与控制模块连接；调节模块用于模拟负载的出口温度，调节模块的调节参数根据控制模块设定。本实用新型专利技术通过控制模块模拟负载出口温度的实际变化，使得控制模块的出口温度接近负载出口温度的实际变化，从而使调节模块能针对控制模块的出口温度调节出对应的调节参数，因此在实际应用中，调节模块能准确调节负载内部的温度，提高了对负载内部温度调节的准确性，且可减少到达负载现场，调节半导体温度控制装置的调节参数的次数，节约了人力成本和时间，提高了对负载内部温度调节的效率。

A Temperature Load Simulated Control System

【技术实现步骤摘要】
一种温度负载模拟控制系统
本技术实施例涉及半导体温控领域，更具体地，涉及一种温度负载模拟控制系统。
技术介绍
半导体温度控制装置(Chiller)主要用于半导体制程中对负载内部温度的精准控制，属于生产过程中的温控设备。目前，半导体温度控制装置在生产调试的过程中，针对负载内部温度的模拟准确性不高，只能根据变化接线、星角连接、实时开关的方式模拟负载变化的最小功率到最大功率，而不能精准模拟出负载出口温度的变化过程，从而导致半导体温度控制装置对负载内部温度调节的准确性不高。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术实施例提供了一种温度负载模拟控制系统，该系统包括:调节模块和控制模块，调节模块与控制模块连接；调节模块用于模拟负载的出口温度，调节模块的调节参数根据控制模块设定。优选地，控制模块包括控制开关、接触器、固态继电器、热继电器、电加热器、PLC、温度传感器、人机界面、停止按钮、启动按钮和保护传感器；控制开关的一端依次与接触器的主触点、固态继电器、热继电器的主触点和电加热器连接；固态继电器和PLC连接，PLC分别与人机界面和温度传感器连接，人机界面和温度传感器连接，PLC与控制开关的一端连接；控制开关的一端还依次与热继电器的辅助触点、停止按钮、启动按钮、保护传感器和接触器的线圈连接，启动按钮和接触器的辅助触点并联；控制开关的另一端与调节模块连接。优选地，保护传感器包括互相连接的流量传感器和高温传感器。优选地，该系统还包括:熔断器，熔断器的一端与控制开关连接，另一端与PLC连接。优选地，该系统还包括扩展模块，PLC与扩展模块连接。优选地，PLC包括PID控制模块，PLC利用PID控制模块控制固态继电器的通断。优选地，调节模块包括半导体温度控制装置。本技术实施例提供了一种温度负载模拟控制系统，通过控制模块模拟负载出口温度的实际变化，使得控制模块的出口温度接近负载出口温度的实际变化，从而使调节模块能针对控制模块的出口温度调节出对应的调节参数，因此在实际应用中，调节模块能准确调节负载内部的温度，提高了对负载内部温度调节的准确性，且可减少到达负载现场，调节半导体温度控制装置的调节参数的次数，节约了人力成本和时间，提高了对负载内部温度调节的效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些图获得其他的附图。图1为本技术实施例的温度负载模拟控制系统的结构示意图；图2为本技术实施例的控制模块的电路示意图；图3为本技术实施例的预设温度的示意图。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。目前，针对负载内部温度的模拟准确性不高，只能根据模拟负载的功率变化，不能模拟负载出口温度的变化过程，从而导致对负载内部温度调节的准确性不高。图1为本技术实施例的温度负载模拟控制系统的结构示意图，如图1所示，本技术实施例提供了一种温度负载模拟控制系统，该系统包括:调节模块和控制模块，调节模块与控制模块连接；调节模块用于模拟负载的出口温度，调节模块的调节参数根据控制模块设定。具体地，通过控制模块模拟负载的出口温度，能精确模拟出负载的出口温度的变化过程，调节模块根据模拟的负载的出口温度设定调节参数，即调节模块能根据控制模块模拟的负载的出口温度设定调节参数，以对现场负载的内部温度进行控制。本技术实施例通过控制模块精确模拟负载的出口温度，使得调节模块能直接根据控制模块模拟的负载的出口温度设定调节参数，使得调节模块能准确调节负载内部的温度，提高了对负载内部温度调节的准确性，且可减少到达负载现场，调节半导体温度控制装置的调节参数的次数，节约了人力成本和时间，提高了对负载内部温度调节的效率。基于上述实施例，图2为本技术实施例的控制模块的电路示意图，如图2所示，控制模块包括控制开关1、接触器、固态继电器3、热继电器、电加热器5、PLC6、温度传感器7、人机界面8、停止按钮9、启动按钮10和保护传感器；控制开关1的一端依次与接触器的主触点2、固态继电器3、热继电器的主触点4和电加热器5连接；固态继电器3和PLC6连接，PLC6分别与人机界面8和温度传感器7连接，人机界面8和温度传感器7连接，PLC6与控制开关1的一端连接；控制开关1的一端还依次与热继电器的辅助触点11、停止按钮9、启动按钮10、保护传感器和接触器的线圈14连接，启动按钮10和接触器的辅助触点17并联；控制开关1的另一端与调节模块连接。具体地，控制模块的主控制模块中，包括接触器、固态继电器3、热继电器、电加热器5、PLC6、温度传感器7和人机界面8；温度传感器7采集调节模块的回口温度，PLC6根据温度传感器7采集的调节模块的回口温度，与预设温度进行PID算法进行控制，以占空比方式输出至固态继电器3，调节电加热丝做功比例，使得控制模块的出口温度接近负载内部的温度变化。需要说明的是，图3为本技术实施例的预设温度的示意图，如图3所示，预设温度为前期根据负载内部温度的实际变化，经过数据建模分析得出的负载内部的实际出口温度，即负载温度目标值(SV)。其中，横坐标为时间，单位为时：分：秒；纵坐标为温度，单位为摄氏度。进一步地，控制模块的分支控制模块中，包括热继电器的辅助触点11、停止按钮9、启动按钮10、保护传感器和接触器的线圈14；其中，热继电器的辅助触点11、停止按钮9、启动按钮10、保护传感器均用于控制分支控制模块的通断，从而控制接触器的线圈14的通断，由此控制接触器的通断。启动按钮10和接触器的辅助触点17并联，接触器的辅助触点17为常开触点，当启动按钮10闭合后即使断开，接触器的辅助触点17仍然闭合，接触器的线圈14继续得电，接触器仍然闭合，主控制回路保持闭合。需要说明的是，当热继电器的辅助触点11或保护传感器断开时，接触器的线圈14失电，接触器断开，从而保护控制模块不会由于意外导致损坏，由此使温度负载模拟控制系统能保持正常运行。进一步地，保护传感器包括互相连接的流量传感器12和高温传感器13。当流量传感器12检测到流量超过阈值时则断开，使得接触器的线圈14失电，接触器断开，使得主控制回路及时断开；同样地，高温传感器13检测到温度超过阈值时则断开，使得接触器的线圈14失电，接触器断开，使得主控制回路及时断开。基于上述实施例，该系统还包括:熔断器15，熔断器的一端与控制开关1连接，另一端与PLC6连接。具体地，在控制模块的电路中接入熔断器，进一步保护控制模块不受损害。进一步地，该系统还包括扩展模块16，PLC6与扩展模块连接，使得控制模块能通过PLC6进一步扩展功能。基于上述实施例，PLC6包括PID控制模块，PLC6利用PID控制模块控制固态继电器3的通断本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种温度负载模拟控制系统，其特征在于，包括:调节模块和控制模块，所述调节模块与所述控制模块连接；所述调节模块用于模拟负载的出口温度，所述调节模块的调节参数根据所述控制模块设定。

【技术特征摘要】
1.一种温度负载模拟控制系统，其特征在于，包括:调节模块和控制模块，所述调节模块与所述控制模块连接；所述调节模块用于模拟负载的出口温度，所述调节模块的调节参数根据所述控制模块设定。2.根据权利要求1所述的一种温度负载模拟控制系统，其特征在于，所述控制模块包括控制开关、接触器、固态继电器、热继电器、电加热器、PLC、温度传感器、人机界面、停止按钮、启动按钮和保护传感器；所述控制开关的一端依次与所述接触器的主触点、所述固态继电器、所述热继电器的主触点和所述电加热器连接；所述固态继电器和所述PLC连接，所述PLC分别与所述人机界面和所述温度传感器连接，所述人机界面和所述温度传感器连接，所述PLC与所述控制开关的一端连接；所述控制开关的一端还依次与所述热继电器的辅助触点、所述停止按钮、所述启动按钮、所述保护传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：董春辉，常鑫，刘紫阳，赵力行，蒋俊海，于浩，邹昭平，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11