用于装载端口门开启器的系统、设备及方法技术方案

实施方式提供了用于改良的装载端口的系统、设备及方法，所述装载端口是可操作的以净化受困于基板载体门与载体门开启器之间的空气。实施方式包括：对接盘，适于接收包括载体门的基板载体；门开启器，邻近所述对接盘且适于耦接至所述载体门并打开所述载体门，其中所述门开启器包括：净化气体入口端口、至少一个排气出口端口、及脊壁，所述脊壁与对接的基板载体协作以界定周边通道，其中所述脊壁包括靠近这些端口的开口，并且其中所述门开启器进一步包括转向器结构，所述转向器结构经设置以将净化气体从净化气体入口端口引导至所述脊壁中的开口中的至少一个。公开了许多额外的方面。

System, Equipment and Method for Loading Port Door Opener

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于装载端口门开启器的系统、设备及方法相关申请本申请主张于2017年2月6日提交的第15/426,037号，标题为“SYSTEMS,APPARATUS,ANDMETHODSFORALOADPORTDOOROPENER(用于装载埠端口启门器门开启器的系统、设备及方法)”(代理人案号24696/USA)的美国非临时专利申请的优先权，出于所有目的，该美国专利申请通过引用的方式而整体并入本文中。
本申请涉及电子装置制造系统，且更具体地涉及用于装载端口门开启器的系统、设备及方法。
技术介绍
设备前端模块(EquipmentFrontEndModule,EFEM)(有时称为生产界面(factoryinterface,FI))提供了用于将基板从载体传送到处理工具的非反应性环境。此举通过尽可能密封EFEM的内部容积并利用不与基板材料反应的气体(诸如，氮气)注满内部容积来实现。非反应性气体迫使任何反应性气体(诸如，氧气)离开EFEM。用于对接基板载体的装载端口附接至EFEM的正面。装载端口包括门开启器，所述门开启器用于从对接在装载端口上的基板载体移除门。受困于门开启器与载体门之间的空气能够渗入EFEM本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种装载端口系统，包含：一对接盘，所述对接盘适于接收包括一载体门的一基板载体；一门开启器，所述门开启器邻近所述对接盘，且适于耦接至所述载体门并打开所述载体门，其中所述门开启器包括：一净化气体入口端口；至少一个排气出口端口，及一脊壁，所述脊壁与对接的基板载体协作以界定一周边通道，其中所述脊壁包括靠近所述端口的开口。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.06 US 15/426,0371.一种装载端口系统，包含：一对接盘，所述对接盘适于接收包括一载体门的一基板载体；一门开启器，所述门开启器邻近所述对接盘，且适于耦接至所述载体门并打开所述载体门，其中所述门开启器包括：一净化气体入口端口；至少一个排气出口端口，及一脊壁，所述脊壁与对接的基板载体协作以界定一周边通道，其中所述脊壁包括靠近所述端口的开口。2.根据权利要求1所述的装载端口系统，其中所述门开启器进一步包括一转向器结构，所述转向器结构经设置以将净化气体从所述净化气体入口端口引导至所述脊壁中的所述开口中的至少一个。3.根据权利要求2所述的装载端口系统，其中所述转向器结构是一新月形。4.根据权利要求2所述的装载端口系统，其中所述转向器结构、所述净化气体入口端口、所述至少一个排气出口端口、及所述脊壁中的所述开口经定位并调整尺寸以产生通过所述周边通道的流动。5.根据权利要求1所述的装载端口系统，其中所述门开启器包括三个排气出口端口。6.根据权利要求5所述的装载端口系统，其中所述净化气体入口端口和所述三个排气出口端口各自位于所述门开启器的不同的角落中。7.根据权利要求1所述的装载端口系统，其中所述净化气体入口端口及所述排气出口端口被设置在所述门开启器的沿对角线相对的角落中。8.一种装载端口门开启器，包含：一净化气体入口端口；至少一个排气出口端口，及一脊壁，当所述脊壁耦接至一基板载体时，所述脊壁界定一周边通道，其中所述脊壁包含靠近所述端口的开口。9.根据权利要求8所述的装载端口门开启器，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：大卫·T·布拉尼克，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US