脆性材料基板的端部精加工装置和脆性材料基板的端部精加工方法制造方法及图纸

作为脆性材料基板的玻璃基板(1)的端部精加工装置(90)具备第一加热部(10)及第二加热部(20)。第一加热部(10)为了将玻璃基板(1)的端部熔融、使凹凸平滑化而加热该端部。第二加热部(20)用比第一加热部(10)产生的加热温度低的温度对通过第一加热部(10)而被实施平滑化的位置附近的玻璃基板(1)的板面进行加热。

End Finishing Device of Brittle Material Substrate and End Finishing Method of Brittle Material Substrate

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】脆性材料基板的端部精加工装置和脆性材料基板的端部精加工方法
本专利技术涉及一种脆性材料基板的端部精加工装置和脆性材料基板的端部精加工方法。
技术介绍
先前，为了精加工玻璃基板等脆性材料基板的端部，普遍采用机械研磨该端部且进行抛光加工的方法。专利文献1公开一种端面加工方法，其通过进行此种的抛光加工而用以精加工平板玻璃的端部。在上述专利文献1的端面加工方法中，为了以少的工序顺利地精加工平板玻璃的端部，将分割平板玻璃原料而得到的多个平板玻璃堆叠而形成分割玻璃块，通过具有平坦的研磨面的旋转研磨盘研磨其端面。然后，通过在外周呈放射状设置有大量的可挠性的刷材的旋转刷，进一步对分割玻璃块的端面进行机械研磨，从而对端部进行精加工。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010-269389号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在利用上述专利文献1的方法精加工平板玻璃的端部的情况下，虽然通过进行此精加工处理，使该端部的表面粗糙度变小，但仍有在端部残留微小的缺陷的情况。在平板玻璃等脆性材料基板的端部具有微小缺陷的情况下，一般来说，此部分的强度并不充足，因此容易在该部分产生破裂或缺口，有改善的余地。本专利技术鉴于以上的实际情况而完成，其潜在的目的在于提高脆性材料基板的强度，防止破裂或缺口。用于解决课题的手段本专利技术所要解决的课题如上所述，下面对用以解决此课题的手段及其效果进行说明。根据本公开的第一观点，提供以下的构成的脆性材料基板的端部精加工装置。即，此脆性材料基板的端部精加工装置具备第一加热部及第二加热部。上述第一加热部为了将脆性材料基板的端部熔融而使凹凸平滑化，而加热该端部。上述第二加热部用比上述第一加热部产生的加热温度低的温度对通过上述第一加热部而被实施平滑化的位置附近的上述脆性材料基板的板面进行加热。根据本公开的第二观点，提供一种脆性材料的端部精加工方法，其包含下述的平滑化工序：边用第二加热部加热脆性材料基板中的将要被平滑化的端部的位置附近的板面，边用第一加热部加热上述端部，将该端部熔融而使凹凸平滑化，该第一加热部用比上述第二加热部高的温度进行加热。根据上述第一观点或第二观点，通过用第一加热部进行加热而将脆性材料基板的端部熔融，从而能够使该端部的损伤等凹凸平滑化，提高端部的强度。此外，由于用比第一加热部产生的加热温度低的温度加热被实施平滑化的位置附近的板面，因此在为了平滑化而被加热为高温的部分与未被加热的部分之间存在用第二加热部加热为中间的温度的部分，变得难以产生残留拉伸应力。也可根据加热的条件，产生压缩应力。由此，能够防止脆性材料基板的破裂或缺口。专利技术的效果根据本公开的一个方面，能够提高脆性材料基板的强度，防止破裂或缺口。附图说明图1为概略地表示本公开的一个实施方式涉及的脆性材料基板的端部精加工装置及端部通过该端部精加工装置而被精加工的脆性材料基板的俯视图。图2为概略地表示端部精加工装置及脆性材料基板的前视图。图3为概略地表示端部精加工装置及脆性材料基板的侧视图。图4为示意地表示第一加热部及第二加热部的构成的图。图5为概略地表示修复用端部精加工装置及端部通过该修复用端部精加工装置而被修复的脆性材料基板的俯视图。图6为概略地表示第一变形例涉及的端部精加工装置的俯视图。图7为概略地表示第二变形例涉及的端部精加工装置的俯视图。图8为概略地表示第三变形例涉及的端部精加工装置的俯视图。图9为表示本公开的一个实施方式涉及的脆性材料基板的端部精加工方法的工序的流程的方块图。具体实施方式以下参照附图对本公开的实施方式进行说明。图1为概略地表示本公开的一个实施方式涉及的端部精加工装置90及端部通过该端部精加工装置90而被精加工的玻璃基板1的俯视图。图2为概略地表示端部精加工装置90及玻璃基板1的前视图。图3为概略地表示端部精加工装置90及玻璃基板1的侧视图。本实施方式的脆性材料基板的端部精加工装置(以下有时称为“端部精加工装置”)90是一种利用加热熔融法将作为脆性材料基板的一例的玻璃基板(玻璃板)1的端部(缘部)熔融、进行减小该端部的表面粗糙度的精加工作业的装置。玻璃基板1被形成为具有一定厚度的矩形的板，以水平的状态被夹持且支撑于成对配置的搬运辊2之间。再者，附图中，玻璃基板1的厚度等被夸大显示。搬运辊2与作为未图示的驱动源的电动马达连接。通过电动马达驱动搬运辊2，能够水平地搬运该玻璃基板1。在玻璃基板1的附近配置有本实施方式涉及的端部精加工装置90。端部精加工装置90主要具备第一加热部10及第二加热部20。在通过端部精加工装置90进行端部的精加工处理前，玻璃基板1根据产品尺寸等被切割成适宜的大小后，通过磨削加工对其端部(缘部)进行机械倒角。被倒角后的玻璃基板1的端部通过端部精加工装置90的第一加热部10用热进行熔融而被抛光加工，由此除去该端部的微小缺陷(使表面的凹凸平滑化)，以表面粗糙度变小的方式被精加工。玻璃基板1在以玻璃基板1的端面位于第一加热部10的激光光线照射位置(以下有时称为“抛光加工位置”)10a的方式被定位的状态下，通过搬运辊2被搬运。并且，通过搬运玻璃基板1，玻璃基板1中与第一加热部10面对面的端部的端面自搬运方向的一端至另一端而依次通过抛光加工位置10a。本实施方式中，通过在抛光加工位置10a对玻璃基板1的端面照射来自第一加热部10的激光光线，从而使玻璃基板1的端面变为高温(例如1000℃)而熔融，由此能够实现抛光加工。换言之，能够利用加热熔融法将玻璃基板1的端部熔融，对该端部进行平滑化，精加工成镜面。再者，第一加热部10也能够构成为包含振荡发射例如半导体激光或气体激光等适宜的激光光线的元件，或者也能够构成为包含使用气体或卤素加热器等的其他热源。在第一加热部10的附近，以与玻璃基板1的板面对向的方式配置有第二加热部20。第二加热部20能够在对玻璃基板1的端部被实施抛光加工的前后及与被实施抛光加工同步地，在一定的区域内加热该玻璃基板1的板面。本实施方式中，被构成为一面使玻璃基板1相对于被固定地设置的第一加热部10及第二加热部20进行移动，一面进行抛光加工(端部精加工处理)。因此，玻璃基板1能够相对于第一加热部10及第二加热部20相对地移动。以下的说明中，有时将玻璃基板1相对于第一加热部10及第二加热部20相对移动的方向(图1及图3中用粗线箭头表示的方向)称为“相对移动方向”。此外，关于第二加热部20加热玻璃基板1的区域，有时分别将位于上述相对移动方向的上游侧的端部称为“始端部”以及将位于下游侧的端部称为“终端部”。再者，搬运辊2在不同于通过第一加热部10对玻璃基板1被实施抛光加工的位置及通过第二加热部20进行加热的位置中的任一位置的位置，可移动地支撑玻璃基板1。即，搬运辊2支撑玻璃基板1中的温度较低的部分。由此，能够定位且搬运玻璃基板1。再者，也可替代搬运辊2而设为用移动滑梭或卡盘等其他构成来定位且搬运玻璃基板1。第二加热部20是一面使玻璃基板1相对移动、一面在一定的区域内加热其板面的装置。本实施方式的第二加热部20以在厚度方向两侧与玻璃基板1的板面对向的方式配置。更详细而言，第二加热部20具备主加热部30、周边加热部40和缓冷部50。再者，在例如玻璃基板1的厚度薄的情况等下，也可仅在玻璃基板1的厚度方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种脆性材料基板的端部精加工装置，其特征在于，具备：第一加热部，其为了将脆性材料基板的端部熔融、使凹凸平滑化而加热该端部；和第二加热部，其用比所述第一加热部产生的加热温度低的温度对通过所述第一加热部而被实施平滑化的位置附近的所述脆性材料基板的板面进行加热。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.01.16 JP 2017-0049191.一种脆性材料基板的端部精加工装置，其特征在于，具备：第一加热部，其为了将脆性材料基板的端部熔融、使凹凸平滑化而加热该端部；和第二加热部，其用比所述第一加热部产生的加热温度低的温度对通过所述第一加热部而被实施平滑化的位置附近的所述脆性材料基板的板面进行加热。2.根据权利要求1所述的脆性材料基板的端部精加工装置，其特征在于，所述脆性材料基板的端部在通过磨削加工而被倒角后，通过用所述第一加热部加热而被平滑化、精加工。3.根据权利要求1或2所述的脆性材料基板的端部精加工装置，其特征在于，在将所述脆性材料基板的端部加热而精加工后，该脆性材料基板的端部在事后产生有凹凸的情况下，通过用与所述第一加热部和所述第二加热部相同的构成的加热部再次进行加热，从而使所述在事后产生的凹凸平滑化。4.根据权利要求1或2所述的脆性材料基板的端部精加工装置，其特征在于，所述第二加热部将与被实施所述平滑化的位置附近的所述脆性材料基板的板面面对面的区域即主加热区域加热至该脆性材料的软化点附近的温度，将周边加热区域加热至所述脆性材料的应变点以下的温度，所述周边加热区域是在隔着该主加热区域而在被实施所述平滑化的位置的相反侧以与该主加热区域邻接的方式配置的、与所述脆性材料基板的板面面对面的区域。5.根据权利要求1至4中任一项所述的脆性材料基板的端部精加工装置，其特征在于，所述第二加热部对配置在绝热材料内部的状态下的所述脆性材料基板的被实施平滑化的位置附近的区域进行加热。6.根据权利要求5所述的脆性材料基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：大串修己，田中秀幸，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP